Способ определения механической прочности материалов

Номер патента: 1355897

Авторы: Бышок, Иванцова, Михайлов, Тюхин, Шестаков

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 01 И ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ТОРСКОМУ СВИДЕТ 25 Бюл. У 44ова, О.Ф.БышА.А.Тюхин к в826(088.8)технологии/Под ре . М.4 Энергия, 197 ЧЕСКО к испытать исполь в микро СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССС ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ(21) 4004108/ (22) 10.01.86 (46) 30. 11.87 (72) Г.А.Иван А.А.Шестаков, и А.И,Михайло (53) 621.375. (56) Лазеры в М.Ф,Стельмаха с. 192-202,(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МЕПРОЧНОСТИ МАТЕРИАЛОВ(57) Изобретение относитстельной технике и может бэовано для определения прматериала непосредственно схемах приборных устройств. С цельюрасширения возможностей за счет определения механической прочности полупроводниковых кристаллов в условияходномерного движения дрронта ударнойволны напряжений кристалл или структуру микросхемы закрепляют на плоскомосновании и экспонируют его под действием импульсов деЬокусированноголазерного излучения с диаметром фокусного пятна на 80-1003 больше максимального линейного размера кристалла. Плотность энергии импульсовувеличивают, регистрируют плотностьэнергии при разрушении кристалла и сее учетом определяют предел прочностикристалла.ВНИИПИ Заказ 5787/38 Тираж 776 Подписное Произв.-полигр. пр-тие, г, Ужгород, ул. Проектная 4 Изобретение относится к испытательной технике и может быть исполь зовано для определения прочностиматериалов для приборной техники, аименно подложек и структур микросхем,Цель изобретения - расширение возможностей способаза счет определениямеханической прочности полупроводниковых кристаллов в условиях одномерного движения Фронта ударной волнынапряжений.Способ осуществляют следующимобразом.Испытывают полупровоцниковые кристаллы, которые составляют подложкуили структуру приборных микросхем,Кристалл или структуру микросхемызакрепляют на плоском основании, Характер закрепления должен допускатьвозможность деформирования кристаллайри трансформации энергии ударнойволны в энергию движения, Например,кристал крепят к предметному столикус помощью клейкой прозрачной ленты.Затем экспонируют кристалл поцдействием импульсов лазерного излучения,Используют импульсы дефокусированного лазерного излучения с диаметром фокусного пятна на 80-1003 больше максимального линейного размера испытуемого кристалла. Импульсы направляют перпендикулярно к поверхности кристалла. Плотности энергии импульсов последовательно увеличивают и регистрируют мощность Р, в момент разрушения кристалла. Предел прочности определяют по Формуле 5 10 15 20 25 35 40 45 50 2о - линейный размер кристаллав направлении лазерногоизлучения;С, - удельная теплоемкость кристалла.П р и м е р. Испытывали кремниевые полированные кристаллы размером 5 х 5 х 0,45 мм, вырезанные из пластик монокристаллического кремния марок КЭФ 7,5 (111), КДБ 10 (111), КДБ 12 (100),Испольэовали лазер с длиной волны излучения 1,06 мкм и энергией в импульсе до 50 Дж, работающий в режиме модулированной добротности с длительностью импульса 20 нс, Значения используемых в расчете характеристикбсоставили: в= 4,15 10 град Е = 1,69 10" Па; 1 = 0,26; К = 1; С= 0,76 Дж/г рад; р = 2,33 г/см; Е = 0,045 см; 2 = 0,3.ОРазрушения кристаллов происходили при Р = 10,0 12,7 Дж/см .Предел прочности составил (35- 7,5) 10 Па, что соответствует ре 8зультатам традиционного определения прочностных свойств без применения лазера. Формула изобретения Способ огределения механической прочности материалов, по которому образец материала закрепляют на плоском основании, экспонируют под действием импульсов лазерного излучения до его разрушения, регистрируют плотность энергии импульса при разрушении образца и с ее учетом определяют предел прочности материала, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения возможностей способа за счет определения механической прочности полупроводвиковых кристаллов в условиях одновременного движения фронта ударной волны напряжений, используют импульсыдефокусированного лазерного излучения с диаметром фо" кусного пятна на 80-1007 больше максимального линейного размера испытуемого кристалла, которые направляют перпендикулярно к поверхности кристалла, а плотность энергии импульсов последовательно увеличивают.

Смотреть

Заявка

4004108, 10.01.1986

ВОЙСКОВАЯ ЧАСТЬ 67947

ИВАНЦОВА ГАЛИНА АЛЕКСАНДРОВНА, БЫШОК ОЛЕГ ФЕДОРОВИЧ, ШЕСТАКОВ АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ТЮХИН АЛЕКСАНДР АЛЕКСЕЕВИЧ, МИХАЙЛОВ АЛЕКСЕЙ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01N 3/00

Метки: механической, прочности

Опубликовано: 30.11.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1355897-sposob-opredeleniya-mekhanicheskojj-prochnosti-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения механической прочности материалов</a>

Похожие патенты