Способ измерения ширины линий рисунка на объектах с прозрачными и непрозрачными зонами

488 в) Я 3 дг) ЯЦ 5 О 01 В 11 О Вйй мФ/л 7 юю сОт 03 сОВетскихСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИКГОСУДАРСТВЕННОЕПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ ССС К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ Р 1) 39722734 а22) О.т 135(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНЫШИРИНЫ ЛЙЧЛЙРИСУНКА НА ОБЕК 7 М С ПРОЗРАЧНЫМИ ИНБПРОЗР АЧНЫМИ ЗОНАМИ(57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам измерения ширинылиний рисунка на объектах содержащих прозрачные,и непрозрачные зоны, например на тЬотош:.б -лонах для литографии. Цель изобретения - измерение ширины линий субми.ронного диапазсна засч:т использования поляризованного излучения.Объект освещают линейно поляризованнь,м монохроматичным электромагнитным излрением,: аким,что вектор магнитной нгпряженчостп параллеленграницам измеряемой лини проводят измеренияинтенсивной линии, проводят измерения интенсив -ностей излучений, прошедших через три одинако 2. вых прямоугольных участка 1, 2, 3, причем один из них (1) находится на прозрачной зоне объекта, другой (2) на непрозрачной, а третий (3) включает часть измеряемой линии с частью эоны объекта, прилегающей к этому участку линии и противоположной ей по свойствам лропускания излучения, причем содержащаяся на третьем участке часть линии должна быль параллельна одной паре противоположных сторон участка и пересекать другую. Ширину пинии определяют по формуле сй - / -для непрос с мзрачной литии); а=-1 - Л - (для прозрачной ли -з мс мнии), где т - ширина измеряемой линии;- инте с сивность излучения, прошедшего через прозрачный участок 1 - интенсивность излцчени 1, прошедшего через нейрозрачный участок- интенсивность иззпрения, прошедшего через участок, содержащий часть измеряемой линии; Б - длина стороны участка, перпендикулярного измеряемой линии. 1 ил.Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам измерения ширины линий рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны, например, на Фотошаблонах для лито графии.Цель изобретения - измерение ширины линий субмикронного диапазона эа счет использования поляризованного излучения.На чертеже изображен пример выбора 0 участков для измедения на фотошаблоне,Осуществляется описываемый способ следующим образом.Объектом с прозрачными и непрозрачными зонами может быть, например, фото шаблон для литографии, состоящий иэ кварцевой подложки с тонким - 0,1 мкм хромовым покрытием.Измерения могут быть проведены с использованием микроскопа - фотометра 20 МРЧСД фирмы 1 е 1 и, оптического излучения с длиной волны 0,546 мкм (зеленая линия). линейно поляризованного так, что вектор магнитной напряженности излучения параллелен измеряемым линиям фотошаблона, лежащего на столике микроскопа, Прошедшее излучение собирают объективом микроскопа. Измеряют интенсивности излучений, прошедших через.три одинаковых по размерам прямоугольных участка объекта. Одлн участок 1 въ":бирают на не. прозрачной зоне обьекта, другой 2 - на прозрачной, а третий 3 включает частьФормула изобретения ЗБ Способ измерения ширины линий рисунка на обьектах с прозрачнымл и непрозрачными зонами, например на фотошаблонах для литографии, заключающийся в том, что освещают обьеа пучком электромагнитного 40 монохроматического излучения, измеря 1 отинтенсивность излучения, прошедшего через Обьект, и определяют ширину линий, о т.- л ич а ющийс я тем,что, с целью измерения ширины линий субмикронного диапазона, 45 осуществляют освещение обьекта линейно поляризованном излучением таким, что вектор магнитной напряженности излучения параллелен границам измеряемой линии, выбирают три одинаковых по размерам пря моуголвных участка обьекта; один на непрозрачной зоне обьекта, другой на прозрачной, а третий включает часть измеряемой лийиис частью зоны обьекта, контактирующей с атой частью линии, одна пара 55 измеряемой линии с частью эоны объекта,контактирующей с этой часть 1 о линии и противоположной ей по свойствам пропускания излучения, Причем одна пара сторонтретьего участка параллельна части линииэтом участке, другая пара пересекает ее, аширину линии определяют по формуле:1 з 1 мО =-Ь для прозрачной линии);1 с 1 м1 с 1 э,Ь для непрозрачной линии),1 с 1 мгде б - ширина измеряемой линии;1 с - интенсивность излучения, прошедшего через участок нв прозрачной зоне обьекта;1 - интенсивность излучения, прошедшего через участок на непрозрачной зонеобъекга;1, -. интенсивность излучения, прошедшего через участок, содержащий часть измеряемой линии;Ь - длина сторонь, участка, перпендикулярной измеряемой линии,56) Ю,1-1 осй Оав Е 1 е 1 тгопепэга 11 Нов 1 гоП- гпер-опО-Ье 11 с 11 Ьцпцв-цегдс ЕВН-",1 епа Рпс 1 эс 1 а 1", Д" 7, 14 р 1"Ц - 673,3 епэеп, О, азгпу( эоЬ-писгогпе 1 ег 1 епцй п 1 е;го 1 оцу; ргоЬ 1 егпэ, ес 11 п 1 сиеэ апд эо 1 М 1 опэ - 1 п всапп 1 пц Е 1 естгоп п 11 сгоэсору, СЬ 1 сацо. 1980, р, 3 Ц 5-;Ц 7,сторон третьего участка параллельна линии,а другая пара пересекает ее, измеряют интенсивность излучений, прошедших черезтри участка, а ширину линий определяют поФормуле1 э - 1 м,0 =Ь (для прозрачной линии),1 - 1 м1 с - 1 з ,о -" -, Ь (для непрозрачной линии),1 а 1 ьгде б - ширина измеряемой линии;1 с - интенсивность излучения, прошед"шего через участок на прозрачной зоне обьекта;1 - интенсивность излучения, прошедшего через участок на непрозрачной эонаобьекта;1 з - интенсивность излучения, прошедшего через участок, содержащий часть измеряемой ллнии;Ь - длина стороны участка, перпендикулярной измеряемой линии,