Измерительный ртутный зонд
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1320757
Авторы: Григорьев, Зотов, Петровский, Шведова
Текст
(71) Государственный научно-исследовательский и проектный институт ред 11 кометаллической промьппленности Гиредмет"(56) Авторское свидетельство СССР860360, кл. С 01 К 1/06, 1983,Авторское свидетельство СССР1287723, кл. Н 01 Ь 2/66, 1984. (54) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ РТУТНЫЙ ЗОНД (57) Изобретение может быть использовано для исследования и контроля электрофизических параметров полупроводниковых и диэлектрических матерна лов и. структур на их основе. Цельизобретения - снижение погрешностиизмерения путем сохранения постоянства контактного пятна. При соприкосновении толкателя 7 с измеряемым образцом 8 втулка б посредством мембраны 4 опускается. Ртуть 2 вдавливается в калиброванное отверстие втулки6 до получения контакта заданнойплощади с измеряемым образцом 8, определяемой диаметром калибровочногоотверстия с 1. Контактный элемент,частично погружаясь в ртуть 2, выполняет функцию штока, уменьшающегообъем чаши. Предложенная компоновкисключает возможность выхода ртутиза пределы калиброванного отверстинезависимо от изменений усилия прижима образца 8. 1 ил,7 2ное отверстие втулки 6 вплоть до получения контакта заданной площади с измеряемым образцом 8, определяемой диаметром калиброванного отверстия д.Механизм прижима осуществляет силовое замыкание между толкателем и корпусом через образец, контактный элемент, ртуть и мембрану.При этом контактный элемент, частично погружаясь в ртуть, выполняет дополнительную функцию штока, уйеньшающего объем чашеобразной полости.В предлагаемом измерительном ртутном зонде исключается возможность выхода ртути за пределы калиброванного отверстия независимо от изменений усилия прижима образца. 132075Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в измерительных устройствахдля исследования и контроля электрофизических параметров полупроводниковых и диэлектрических материалов иструктур на их основе.Цель изобретения - снижение погрешности измерения путем сохраненияпостоянства контактного пятна, что 10достигается исключением выхода ртутиза пределы калиброванного отверстияпри измерениях условия контактирования и вибрациях.На чертеже изображен измерительный ртутный зонд, общий вид.Измерительный ртутный зонд представляет собой контактное устройство,состоящее из корпуса 1 с предметнымстоликом с чашеобразной полостью,заполненной ртутью 2, механизма прижима (не показан). Сверху корпуса 1закреплена с помощью кольца 3 гибкаямембрана 4. В центральной частимембраны 4 с помощью кольца 5 закреплена втулка 6 с калиброванным отверстием. Над контактным устройствомсоосно с калиброванным отверстием,расположен толкатель 7, а между толкателем 7 и втулкой 6 установлен .30испытуемый образец 8.Зонд работает следующим образом,После установки измеряемого образца 8 на втулку 6 контактного устройства приводится в движение толкатель 7 путем осевой подачи еговниз к измеряемому образцу 8. После соприкосновения толкателя 7 с измеряе-.мым образцом 8 втулка 6 начинаетопускаться за счет гибкой мембраны 4, 40а ртуть 2 вдавливается в калиброванформула20 из обретения Измерительный ртутный зонд, содержащий корпус, предметный столик с чашеобразной полостью, залитой ртутью и закрытой мембраной, сопряженной со штоком с возможносгью изменения объема полости, диэлектрический контактный элемент с калибровочным отверстием, выполненный из несмачиваемого ртутью материала, расположенный с возможностью заполнения отверстия ртутью при уменьшении объема полости, токоподвод и механизм зажима контролируемого образца,между контактной частью и предметным столиком, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения погрешности измерений путем исключения выхода ртути за пределы калиброванного отверстия, контактирующий элемент закреплен в мембране с возможностью частичного погружения в ртуть. Составитель Н.ШмелевТехред М.Ходанич Корректор В.Бутяга Редактор Е.Копча Заказ 2656/49 Тираж 730 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
СмотретьЗаявка
3682210, 28.11.1983
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ И ПРОЕКТНЫЙ ИНСТИТУТ РЕДКОМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ "ГИРЕДМЕТ"
ПЕТРОВСКИЙ ВЛАДИМИР ИГОРЕВИЧ, ЗОТОВ ЛЕОНИД ВИТАЛЬЕВИЧ, ШВЕДОВА ОЛЬГА ИВАНОВНА, ГРИГОРЬЕВ ВЛАДИМИР КАЛИСТРАТОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01R 1/06
Метки: зонд, измерительный, ртутный
Опубликовано: 30.06.1987
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1320757-izmeritelnyjj-rtutnyjj-zond.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Измерительный ртутный зонд</a>
Предыдущий патент: Способ определения спектра жирных кислот в биологической жидкости
Следующий патент: Делитель напряжения
Случайный патент: Манипулятор для изготовления сферических изделий