Способ изготовления датчика холла

(19) (и 1) 4 С 01 К 33 0 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ АТЧИКА) СПОСОБ ИЗГОТОВЛ ХОЛЛА(57) Изобретение относи измерения магнитных пол повьппение точности изм шение его стабильности товления датчика Холла устройстве, имеющем пл 2, на которой размещень тся к технике ей. Цель - рения и повыСпособ изгореализован в стяну Холлатоковые (Т)ф 3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ(71) Отделение Всесоюзного научноисследовательского института электромеханики(56) Соге ВЕ, ег а 1 "ЕНесгя ой 1 аяег гг 1 шпппд оп гас гь 1 ш гея 1 ягог ясаЬ 1 гу", Сгсмгя шапоГасгцгдп 8, 1977, ч. 17, У 7, р р.14-23.Овсеевич В.Л., Портной Г,я. и др. Электротехническая промьппленность. - Сер, "Технология электротехнического производства". 1979, Р 10 с.9- 1 О. электроды 1, холловские (Х) электроды 3 и Х контакты 4, внешний источник питания, датчик, измеритель напряжения (Н), Цель достигается тем, что, определяя Х контакт 4 с большим потенциалом, проводят лазерный рез (ЛР) 5 в сторону Т электрода 1 с большим потенциалом при одновременном измерении остаточного Н Холла, начиная ЛР 5 от середины Х электрода 3 перпендикулярно линиям тока и заканчивая его вдоль линий тока при достижении остаточного Н Холла заданной минимальной величины, Если при этом оно не достигнуто то до- Вс полнительно проводят ЛР 5 от середи- В ны Х электрода 3 с меньшим потенциалом в сторону Т электрода 1 с меньшим потенциалом, начиная его перпендикулярно линиям тока и заканчивая, как в первом случае. Тем самым добиваются сбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика Холла. Изобретение позволяет снизить остаточное Е Холла до 0,01 мВ и в два раза увеличить его стабильность.1290215 Изобретение относится к техникеизмерения магнитных полей и можетбыть использовано для изготовлениявысокоточных и стабильных датчиковХолла. 5Целью изобретения является повышение точности путем снижения остаточного напряжения Холла и повышение его стабильности.На чертеже представлена схема СОдатчика Холла.К токовым контактам 1, расположенным на пластине Холла 2, подключен внешний источник питания, создающий ток через датчик, а к холловским электродам 3, расположеннымв области холловских контактов 4, подключен измеритель напряжения; лазерный рез показан цйфрой 5В отсутствие внешнего магнитногополя датчик Холла беэ лазерного реза 5, включенный в измерительную схему, имеет остаточное напряжения Холла, связанное с неэквипотенциальностью Холловских контактов 4, чтотакже эквивалентно несбалансированности моста внутренних сопротивленийдатчика,Определяя холловский контакт 4 сбольшим потенциалом, проводят лазер 30ный реэ 5 в сторону токового электрода 1 с большим потенциалом при одновременном измерении остаточного напряжения Холла, начиная лазерный реэ5 от середины холловского электрода 353 перпендикулярно линиям тока и заканчивая его вдоль линий тока придостижении остаточного напряженияХолла заданной минимальной величины,Если при этом не достигнуто минималь Оное значение остаточного напряженияХолла, то дополнительно проводят лазерный реэ 5 от середины холловскогоэлектрода 3 с меньшим потенциаломв сторону токового электрода 1 с 45меньшим потенциалом, начиная его перпендикулярно линиям тока и заканчивая вдоль линий тока при достиженииостаточного напряжения Холла заданной минимальной величины. Тем самым 50добиваются сбалансированности моставнутренних сопротивлений датчикаХолла. Лазерные резы проводят внеактивной области пластины Холла, ненарушая входного сопротивления дат ВНИИПИ Заказ 7896/42 Произв.-полигр, пр-тие, г. чика и соответственно его режимработы.Начало лазерного реза перпендикулярно линиям тока позволяет болееэффективно уменьшать остаточное напряжение Холла, Кроме того, окончание лазерного реза вдоль линий токапозволяет повысить временную и температурную стабильность датчика Холла, связанную с возникновением иразвитиеммикротрещин при проведениилазерного реза. Микротрещины, имеющие преимущественное направлениевдоль направления лазерного реза,особенно в области его окончания,оказывают меньшее влияние на входное сопротивление датчика Холла,если лазерный рез заканчивают вдольлиний тока.Таким образом, проведение лазерного реза в соответствии с изобретением позволяет снизить остаточное напряжение Холла до 0,01 мВ,что в 5 раз меньше, чем у прототипа, а также не менее чем в 2 разапозволяет увеличить стабильностьдатчика. Холла.Изобретение допускает автоматизацию изготовления датчика Холла.,иформула изобретения1Способ изготовления датчика Холла, включающий изготовление пластины Холла, проведение лазерного резана пластине Холла при одновременномизмерении остаточного напряженияХолла, отличающий с я тем,что, с целью повышения точности путем снижения остаточного напряженияХолла и повышения его стабильности,лазерный реэ ведут от центра холлов(/ского электрода с большим потенциалом остаточного напряжения Холла,начиная его перпендикулярно линиямтока и направляя в сторону токовогоГэлектрода с большим потенциалом,или лазерный рез ведут от центрахолловского электрода с меньшимпотенциалом остаточного напряженияХолла, начиная его перпендикулярнолиниям тока и направляя в сторонутокового электрода с меньшим потенциалом, причем лазерный рез проводятвне активного участка пластины Холла,Тираж 52 Подписное Ужгород, улПроектная, 4