Способ функционального контроля интегральных схем

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ 9) (И БЛИК 31 28 ф;-"б 1) УЬб 3б ИОАН ЕН ЗСБРЕ ОМУ СОИ ЬНОГО КОНТРОЛЯ сит ся к кро- ние ь-по я. Она собе ф нкциоых схем устрой еграл ально ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(71) Московский институт электронного машиностроения(56) Практическая растровая электронная микроскопия. Сборник. Пер.с англ. - М.: Мир, 1978, с. 275.(54) СПОСОБ ФУНКЦИОНАЛИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ(57) Изобретение отнзондовой технике. Целдостоверности контролгается тем, что в спнального контроля ин(ИС) с помощью спец ства (У) из сигнала, несущего информацию о топологии и потенциалахобразца, исключается сигнал, соответствующий топографическому контрастусхемы, в результате чего на видеоконтрольное У микроскопа поступаетвидеосигнал, несущий информацию только о потенциалах образца, что повышает контрастность регистрируемойкарты логических состояний ИС. Способ реализуется в У, содержащемэлектронно-оптическую колонну РЭМс камерой образцов 1, буферный уси-.литель 2, блок (Б) 3 выборки-хранения, Б 4 вычитания, фильтр 5 низкихчастот, тактовый генератор 6, Б 7управления аналоговыми ключами ивидеоконтрольное У 8, Изобретениеможет быть испольвовеио Лля коитро- Сеыля работоспособности ИС. 1 ил.1285414 2 Тираж 730 Подписное ВНИИПИ Заказ 7 б 40/48 Произв.-полигр, пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к микроэондовой технике и может быть использовано для контроля работоспособности интегральных схем (ИС).Цель изобретения - повьппение до, - стоверности контроля за счет увели - , чения контрастности при регистрации карты логических состояний ИС,Поставленная цель достигается тем, что с помощью специального устройства из сигнала, несущего информацию о топологии и потенциалах образца, исключается сигнал, соответствующий топографическому контрасту схемы, в результате чего на видео- контрольное устройство микроскопа поступает видеосигнал, несущий информацию только о потенциалах образца, что повьппает контрастность регистрируемой карты логических состояний ИС. На чертеже приведена блок-схема устройства, реализующего предлагаемый способ. 25 Устройство содержит электронно- оптическую колонну 1 РЭМ с камерой образцов, буферный усилитель 2, блок 3 выборки-хранения (БВХ), блок 4 вы п читания, фильтр 5 низких частот (ФНЧ)1 тактовый генератор 6, блок 7 управления аналоговыми ключами, видео- контрольное устройство (ВКУ) 8.Блок 1 электрически связан с блоком 7 и усилителем 2, последний в свою очередь связан с блоками 4 и 3. Блок 3 управляется блоком 7, который работает от тактового генератора 6 и связан с блоком 4. Сигнал с блока 4 вычитания через ФНЧ 5 поступает на ВКУ 8. Тактовый генератор 6 вырабатывает импульсы частотой на несколько порядксв больше, чем частота разверт 45 киэлектронного луча, т,е. 80-150 кГц, Они поступают на блок 7 управления, который формирует последовательность управляющих импульсов, поступающих в противофазе на БВХ 3 исхему управления режимом исследуемой ИС. В момент, когда включен аналоговый ключ блока 3, на его выходе запоминаетсявеличина видеосигнала, соответствующая отключенной ИС и на выходе блока4 вычитания формируется нулевое на -пряжение вследствие того, что вход -ные величины, поступающие на негосовпадают. На следующем такте аналоговый ключ блока 3 размыкается иуправляющее напряжение поступает наисследуемую ИС. Величина видеосигнала, поступающая на вход блока 4 вычитания, изменяется согласно картелогических состояний ИС, а величинасигнала на выходе блока 3 остаетсяравной величине видеосигнала, соответствующего отключенной ИС, Поэтому на выходе блока 4 формируется напряжение, соответствующее разностивидеосигналов отключенной и включен -ной ИС. На следующем такте картинаповторяется, Таким образом, вычитание видеосигнала происходит практи-.чески в одной точке и формируемаякарта логических состояний содержитв себе информацию лишь о потенциалах ИС. Формула изобретения Способ функционального контроля интегральных схем, заключающийся в том, что на испытуемую интегральную схему подают напряжение питания и входное тестовое воздействие, сканируют поверхность интегральной схемы острофокусированным пучком электро-нов, регистрируют интенсивность вторичной электронной эмиссии и преобразовывают ее в электрический сигнал, формируют изображение карты логических состояний и контролируют ее параметры, о т л и ч а ю щ и й - с я тем, что, с целью повьппения достоверности контроля, запоминаютвеличину полученного электрического сигнала в каждой точке, отключаютпитание интегральной схемы, регистрируют вторичную электронную эмиссию, преобразуют ее в электрическийсигнал, который вычитают иэ запомненного, по полученной разности формируют изображение карты логическихсостояний,