Вакуумметр

(59 4 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ Н АВТОРСКОМУ( СВИДЕТЕЛЬСТВУ измерения. Сигнал термопары тертельного элемента 2 поступаетрующий элемент стабилизатора 7образом, чтобы изменение питаюобщего для термопар 5 и 6; пвосстановлению термоЭДС измтермопары 9. Вследствие одинакотера нелинейности температурнойти термочувствительных элеменсигнал измерительной термопарытолько от давления. Сравниваязначения тока питания при однозначении абсолютной температурразное время, можно судить о срения элементов. 1 ил.41 физически сследовательство С 1. 21/14, 19 льство ССС 1. 21/14, 19 осится к технике изме воляет уменьшить по и расширить диапазон СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(57) Изобретение отнрения вакуума и погрешность измерения мочувствина регулитока таким щего тока, риводило к ерительной вого харак- зависимостов 2 и 3 О зависит абсолютные м итом же ы корпуса в тепени ста1268980 Формула изобретения Составитель В, Казаков Текред И. Верес Корректор М. немчик Тираж 778 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Редактор А. ВоровичЗаказ 6026/44 Изобретение относится к технике измерения вакуума, а более конкретно к устройствам измерения вакуума тепловым способом.Целью изобретения является уменьшение погрешности измерения и расширение дипазона измерения.На чертеже изображен предлагаемый вакуумметр.Вакуумметр содержит корпус 1, объединяющий два идентичных термочувствительных элемента, один из которых 2 находится в герметизированном объеме, а другой 3 связан вакуумпроводом с исследуемым объемом. Ветви питающих термопар 5 и 6 включены последовательно и соединены с регулируемым стабилизатором 7 тока. Проводниками 8 измерительная термопара 9 термочувствительного элемента 2 подключается к входу стабилизатора 7. Измерительная термопара 10 соединена с регистрирующим устройством 11. Токоподводы 4, общее количество которых - восемь, обеспечивают электрическое соединение соответствующих ветвей термопар с внешними устройствами и обеспечивают их тепловой контакт с корпусом 1.Вакуумметр работает следующим образом.Сигнал термопары термочувствительного элемента 2 зависит только от температуры корпуса 1 и тока питания, так как давление в этом объеме фиксировано путем откачки и герметизации, Этот сигнал по проводникам 8 поступает на регулирующий элемент стабилизатора 7 тока таким образом, чтобы изменение питающего тока, общего для последовательно включенных термопар 5 и 6 приводило бы к восстановлению термо- ЭДС измерительной термопары 9, т. е. действовало по принципу обратной связи. Вследствие одинакового характера нелинейности температурной зависимости обоих термочувствительных элементов, сигнал измерительной термопары 1 О оказывается зависящим только от давления. Это обусловливает расширение диапазона измерений, а также устраняет необходимость контролировать абсолютное значение температуры корпуса.Сравнивая абсолютное значение тока питания при одном и том же значении абсолютной температуры корпуса в разное время, можно сделать заключение и о степени ста рения элементов, что повысит точность измерения. Вакуумметр, содержащий корпус, внутрикоторого установлен первый термочувствительный элемент в виде нагревательной и измерительной термопар из полупроводникового микропровода с токоподводами, подключенных соответственно к стабилизированному источнику тока с управляющим входом и регистрирующему устройству, отличаюиийея тем, что, с целью уменьшения погрешности измерения и расширения диапазона измерения, в него введен второй термо чувствительный элемент, идентичный первому, при этом корпус вакуумметра разделен герметичной перегородкой на две полости, в одной из которых, связанной с исследуемым объемом, установлен первый термочувствительный элемент, а в другой, выполненной герметичной вакуумированной, - второй термочувствительный элемент, причем разнесенные концы термопары через токоподводы имеют общий тепловой контакт с корпусом, нагревательные термопары соединены последовательно между собой и подключены к выходу источника тока, управляющий вход которого подключен к измерительной термопаре дополнительного термочувствительного элемента.