Кассета для транспортирования микросхем

Номер патента: 1250164

Авторы: Подобед, Пригожинский, Рычаго, Хомич

ZIP архив

Текст

1250164 кассеты между технологическими пози-,циями посредством автооператора. Паяц4 на корпусе 1 выполнены симметрично расположению магнитопроводов 4 % магнитной плиты 2 и снабжены заходными фасками 9 по профилю кромки паза 4.. Кассета используется следующимобразом.10 ФУР,РСоставитель Г. Падучинедактор Т, Янова ТехредЛ.ОлейникКорректор Л. Пилипенко дписноемитета СССРкрытийнаб , д. 4/ Тираж 503 П ВНИИПИ Государственного ко по делам изобретений и о 035, Москва, Ж, Раушская13 аказ 1 892 оизяодстнеино-полиграфическое предприятие, .г, Ужгород, ул. Проектндя Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов имикросхем и может быть использованодля их транспортирования при технологической обработке.Цель изобретения - улучшение эксплуатационных возможностей путем упрощения загрузки и выгрузки микросхеми расширения функциональных возможностей путем обеспечения осушки корпусов микросхем.На фиг 1 изображена кассета,общий вид; на фиг. 2 - поперечныйразрез А-А на фиг, 1; .на фиг. 3 вид Б на пазы кассеты со стороны заходных фасок ее пазов,Кассета содержит полый корпус 1,в котором размещена загерметизирован- "ная магнитная плита 2, состоящая иэпластин постоянных магнитов 3 и магнитопроводов 4 для удержания микро"схем 5 на кассете, На корпусе 1 выполнены параллельные пазы Й с отверстиями о в данкой части пазов 4 , иотверстие о для подачи сжатого воз"духа в полость Б корпуса 1сообща, 1 ощуюся с отверстиями 6 ; Крышка 6скреплена с корпусом 1 через герметизйрующую прокладку 7, На крьпщке 6иммеются базовые отверстиядля фиксации кассеты на технологичесвих по.зициях, Кронштейны 8, закрепленныена крышке 6, служат для перемещенияМееевИ Загрузка кассеты осуществляетсяотносительным продольным перемещением загружаемых микросхем 5 и корпуса1 кассеты. При этом микросхемы 515 ориентируются фасками 9 пазов 4 иудерживаются магнитными силами вэтих пазах выводами вниз.Загруженная кассета перемещаетсяавтьоператором.по технологическим20 позициям травления, флюсования, луженил, отмывки,.сушки и т.пПри сушке микросхем 5 поверхностикорпуса ййкросхемы, прилегающие кповерхностям стенок пазов 4 , остаИ ются влажными,Дпя осуществления кор"пусов микросхем 5 в полость Ь корпуса 1 через отверстиеподают. сжатыйвоздух, который, истекая через отверстке 8 , осушает корпуса микроЗО схем 5 и стенки пазов 4Выгрузка микросхем 5 из кассетыосуществляется относительным сдвига"вием микросхем 5 и корпуса 1.Ф

Смотреть

Заявка

3738091, 10.05.1984

ОРГАНИЗАЦИЯ ПЯ Р-6007

ПОДОБЕД Р. Д, ПРИГОЖИНСКИЙ А. М, ХОМИЧ В. И, РЫЧАГО А. Д

МПК / Метки

МПК: H01L 21/98, H05K 13/02

Метки: кассета, микросхем, транспортирования

Опубликовано: 15.04.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1250164-kasseta-dlya-transportirovaniya-mikroskhem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Кассета для транспортирования микросхем</a>

Похожие патенты