Турбомолекулярный вакуумный насос

Номер патента: 1208318

Автор: Иванов

ZIP архив

Текст

СОЮЭ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 119) 111) 4 П 19/04 ОСУДАРСПО ДЕЛА ЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ/ асу ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ВТОР У СВИДЕТЕЛЬСТВУ нсти- ернеенномо 9.АКУУМо тс це(61) 918551(7 1) Научно-исследовательскийтут прикладной математики и китики при Горьковском государстуниверситете им.Н.И.Лобачевско(56) Авторское свидетельство СР 918551, кл, Р 04 П 19/04, 19(54)(57) 1. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙНЫЙ НАСОС по авт.св, В 918551,л и ч а ю щ и й с я тем, что,лью улучшения эксплуатационных харак теристик путем снижения обратного воздействия роторов на корпус,он дополнительно содержит регулятор питания двигателей и опорный упругий элемент, снабженный датчиком деформации, подключенным к регулятору, а вал закреплен на корпусе при помощи упругого элемента.2. Насос по п.1, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что опорный упругий элемент выполнен в виде подшипника качения и спиральной пружины, а датчик деформации - в виде тензодатчика закрепленного на пружине.12083,18 Составитель В,КряковкинРедактор Л.Повхан Техред А.Ач Корректор А.Зимокосов Заказ 226/46 ираж 587 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5 Филиал ППП "Патент", г,ужгород, ул.Проектная, 4 Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к конструкции турбомолекулярных вакуумных насосов,и является дополнительным к основному авт.св. У 918551,Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристикпутем снижения обратного воздействияроторов на корпус,На чертеже представлен насос, вер.тикальный разрез.Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и установленныев нем на валу 2 внешний 3 и внутренний 4 роторы встречного вращения,снабженные приводными двигателями 5и 6, причем внешний ротор 3 установлен на валу 2 посредством опорвыполненных в виде подшипников качения и расположенных по обе стороныот внутреннего ротора 4, вал 2 закреплен на корпусе 1, внутреннийротор 4 установлен на валу 2 посредством опор 8 в виде подшипников качения и приводной двигатель 6 внутреннего ротора 4 размещен между егоопорами 8. При этом насос дополнительно содержит регулятор 9 питания .двигателей 5 и 6 и опорный упругийэлемент, снабженный датчиком деформации, подключенным к регулятору 9,а вал 2 закреплен на корпусе 1 припомощи опорного упругого элемента,причем последний выполнен в видеподшипника качения 10 и спиральнойпружины 11, а датчик деформации в виде тензодатчика 12, закрепленного на пружине 11.Насос работает следующим образом.5 Приводные двигатели 5 и 6, установленные на валу 2, приводят вовращение в противоположных направленйях соответственно внешний 3 ивнутренний 4 роторы. Для того, чтобы 1 О обратное воздействие роторов на корпус в период их разгона отсутствовало, необходимо, чтобы воздействующие на вал 2 моменты сил инерциироторов компенсировали друг друга в 15 каждый момент времени. Это достигается регулированием ускорения роторов 3 и 4 путем реакции тензодатчика12 на деформацию пружины 11, имеющуюместо при нескомпенсированности мо ментов сил инерции роторов 3 и 4, исоответственное изМенение ускоренийрегулятором 9 питания двигателей 5 и6. Кроме того, в случае, если роторы3 и 4 сконструированы таким образом, 2; что их моменты инерции обратно пропорциональны их номинальным,скоростям вращения в рабочем режиме, времяразгона роторов до номинальных скоростей одинаково, и в процессе работы обратное воздействие роторов на ЗОкорпус сводится к минимуму.Таким образом, предлагаемый насос не воздействует на объекты, накоторые устанавливается, что улучшает его эксплуатационные характеристики.

Смотреть

Заявка

3778924, 09.08.1984

НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНОЙ МАТЕМАТИКИ И КИБЕРНЕТИКИ ПРИ ГОРЬКОВСКОМ ГОСУДАРСТВЕННОМ УНИВЕРСИТЕТЕ ИМ. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО

ИВАНОВ ВАДИМ ПАВЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

Опубликовано: 30.01.1986

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1208318-turbomolekulyarnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Турбомолекулярный вакуумный насос</a>

Похожие патенты