Пьезорезонансный датчик давления

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1, 9/О 13фМ 1 А р ПИСА ЕНИЯ ОБ У Сд ЬР 1 Риг ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЬРП К АВТОРСКОМУ СВИДЕТ(71) Московский ордена Трудового Красного Знамени инженерно-физический институт(56) Авторское свидетельство СССРк 922553, кл. С 01 1, 9/08, 1979.Малов В. В. Пьезорезонансные датчики. М.: Энергия, 1978, с. 173.(54)(57) ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий цилиндрический корпус с закрепленными на его торцах, ЯО 1195200 идентичными мембранами, выполненными с жесткими центрами, в пазах которых соосно цилиндрическому корпусуустановлен кварцевый пьезорезонатор,о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения точностиизмерений за счет снижения температурных погрешностей, кварцевый пьезорезонатор выполнен в виде прямоугольной плоской пластины ух 1 з(+350 30 )+35 среза, а каждая мембрана и цилиндрический корпус выполнены из монокристаллического кварцахгзЬ (+35 30)+35 среза и идентично ориентированы по их кристаллофизическим осям, при этом каждыйпаз жесткого центра расположен параллельно кристаллографической осиЕсоответствующей мембраны,195200,15 Заказ 7407/46Подписное ВНИИПИ Тираж 8 1 1Изобретение относится к измерительной технике, а именно к измерению давления газообразных и жидких веществ.. Целью изобретения является повышение точности измерений за счет снижения температурных погрешностей.На фиг. 1 и 2 представлена кон-. ,струкция датчика.Датчик давления содержит цилиндрический корпус 1, две мембраны 2 и 3 и кварцевый пьезорезонатор 4, расположенный между мембранами 2 и 3 и жестко соединенный с ними, например, с помощью легкоплавкого стекла. Мембраны имеют утолщения 5 и 6 на периферии и жесткие центры 7 и 8 с выступами 9 и 1 О в центре, выполненными с пазами,11 и 12.Выполнение кварцевого пьезорезонатора .4 в виде прямоугольной пластины ух 1 з (+35 30)+35 среза обеспечивает минимальную температурнуюпогрешность преобразователя, при условии одновременного согласования по температурным коэффициентам линейного расширения пьезорезонатора 4, цилиндрического корпуса 1 и мембран 2 и 3, находящихся в жесткой механической связи, вдоль длины, ширины и толщины пьезореэонатора 4. Для обеспечения согласования по температурным коэффициентам линейного расширения мембран и цилиндрического корпуса с пьезорезонатором по направлению его толщины, ширины и длины мембраны 2 и 3 цилиндрический корпус 1 выполнен из.пластин монокристаллического кварца хгзЬ (+35 30 )+35 среза, причем образующая цилиндрического корпуса 1 совпадает с направлением толщины мембраны, а ориентация пазов в выступах жестких центров 7 и 8 мембраны 2 и 3, где крепится резонатор 4, совпадает с кристаллофизической осью гмебран 2 и 3.Выполнение из монокристаллического кварца цилиндрического корпуса и мембран 2 и 3 с утолщением по периферии обеспечивает эффективное снижение погрешности гистериэиса . предлагаемого преобразователя. 20 Устройство работает следующимобразом.Измеряемое давление воздействуетна мембраны 2 и 3, преобразующиеизменения внешнего давления в изменение сжимающей силы, котораяподводится к пьеэорезонатору 4 иприводит к его деформации. Деформа-,ция пьезорезонатора 4 приводит кизменению его резонансной частоты.Для преобразования механическойчастоты в частоту выходного сигналапьезорезонатор 4 может быть, например, включен в качестве частотозадающего элемента цепей атогенератора. Филиал ППП "Патент",г.Ужгород,ул.Проектная,

Смотреть

Заявка

3767011, 11.06.1984

МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ИНЖЕНЕРНО ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

ПЛУЖНИКОВ ВИКТОР МИХАЙЛОВИЧ, БАБКИНА НИНА НИКОЛАЕВНА, ГЛАЗУНОВА ВАЛЕНТИНА ПЕТРОВНА, КОЗЛОВСКИЙ ВЛАДИМИР ДАВИДОВИЧ, МАЛОВ ВЛАДИМИР ВЛАДИМИРОВИЧ, МАКАРОВ ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, МОРОЗОВ СЕРГЕЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 9/08

Метки: давления, датчик, пьезорезонансный

Опубликовано: 30.11.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1195200-pezorezonansnyjj-datchik-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Пьезорезонансный датчик давления</a>

Похожие патенты