Механотронный преобразователь перемещений

Номер патента: 1193443

Авторы: Васильев, Левин, Прунов, Селезнев, Черняев

ZIP архив

Текст

(9) А 4 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 57/25(088. льств 1/00,)СССР971ССР1979. 531. 71 видете О Ь детель 01 Ь 2 ство 1/12 АЗОВА- вакуум внутри ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54)(57) МЕХАНОТРОННЫЙ ПРЕО ТЕЛЬ ПЕРЕМЕЦЕНИЙ, содержащи рованный корпус, размещенны(51)4 0 01 В 7/00, 0 О 1 Ь 2 него измерительный подвижный ивспомогательный неподвижный аноды,расположенные на одной стороне изоляционной подложки измерительный ивспомогательный катоды, выполненныйв виде пленки на обратной сторонеподложки подогреватель катодов исистему температурной стабилизациитока эмиссии измерительного катодаподключенную между вспомогательнымкатодом и подогревателем, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения точности измерения перемещений, подогреватель катодовснабжен электродом в форме спиралирасположенным с зазором относительно пленки, выполненной в видесплошного металлического покрытия.1193443 Составитель С.ЛуначевТехред М, ПароцайКорректор С,Шекмар Редактор М,Бланар Заказ 7303/40 Тираж 650 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к конт"рольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения микроперемещений.Цель изобретения - повышение точности измерения перемещения путембслее равномерного разогрева подложки в механотронном преобразователе перемещений.На чертеже изображен механотронный преобразователь перемещений.Преобразователь содержит вакуумированный корпус 1, размещенные внутри него подвижный измерительный 2 инеподвижный вспомогательный 3 аноды, 15расположенные на одной сторонеизоляционный подложки .4 измерительный 5 и вспомогательный 6 катоды.Подогреватель катодов выполненв виде напыленной на обратной стороне подложки 4 металлической пленки7 и размещенном на расстоянии от нееэлектроде 8, имеющим форму спирали,Система 9 температурной стабилизации тока эмиссии измерительного катода 5 включена между вспомогательныманодом 3 и электродом 8, а также пленкой 7 подогревателя. В цепь источника 10 питания постоянного токаизмерительного катода и анода включенрегистрирующий прибор 11,Преобразователь работает следующим образом,При перемещении измерительногоанода 2 изменяется расстояние междуним и измерительным катодом 5. Ток между ними зависит от температуры окружающей среды и от перемещения измерительного анода 2. ь вспомогательных, неподвижных один относительно другого анода 3 и катода 6 ток зависит только от температуры. Поэтому при ее изменении изменяется ток между катодом 6 и анодом З,вследствие чего изменяется напряжение на выходе системы 9 температурной стабилизации между металлической пленкой 7 и электродом 8. Изменение этого напряжения меняет кинетическую энергию электронов, попадающих на сплошную металлическую пленку 7 с электрода 8. В результате меняется мощность подогревателя катодов 5 и 6, а следовательно, и температура подложки 4, компенсируя изменение температуры окружающей среды,Таким образом, ток, проникающий через измерительный катод 5 и анод 2 и регистрируемый прибором 11, не зависит от изменения температуры окружающей среды, что повышает точность измерения перемещений.Выполнение пленки 7 подогревателя катодов в виде сплошного металлического покрытия обеспечивает более равномерный разогрев подложки 4 бладаря устранению локальности ее подогрева в соответствии с рисунком подогревателя и из-за неравномерности толщины напыляемой пленки, что имеет место в известном техническом реше" нии.

Смотреть

Заявка

3704157, 27.02.1984

МОСКОВСКИЙ АВИАЦИОННО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. К. Э. ЦИОЛКОВСКОГО

ВАСИЛЬЕВ АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ, ЛЕВИН АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ, ЧЕРНЯЕВ ВЛАДИМИР НИКОЛАЕВИЧ, СЕЛЕЗНЕВ ВИКТОР АНДРЕЕВИЧ, ПРУНОВ ДМИТРИЙ ПАВЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 7/00, G01L 21/12

Метки: механотронный, перемещений

Опубликовано: 23.11.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1193443-mekhanotronnyjj-preobrazovatel-peremeshhenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Механотронный преобразователь перемещений</a>

Похожие патенты