Устройство для определения скорости травления

Номер патента: 1176233

Авторы: Зубков, Малов, Прядко, Симонов

ZIP архив

Текст

(51)4 6 01 Я 29/00 Юргене "1 д ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯСКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ, содержащее источник заряженных частиц, кассету с набором образцов из пьезоэлементов иизмерительную камеру, состоящую из 801176233 А кожуха с окном для прохождения заряженных частиц, металлического основания, кварцевого пьезоэлемента, и автогенератора, соединенного с кварцевым пьезоэлементом, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, измерительная камера снабжена мишенью, выполненной из монокристаллического кварца, кристаллографическая ось 7 которого ориентирована вдоль направления распро- странения заряженных частиц, а ее плоскость ориентирована под углом 45-60 к поверхности кварцевого- пьезоэлемента и к направлению распространения заряженных частиц.1176233 Составитель Г. РыжаковаРедактор С.Тимохина Техред С.Мигунова Корректор С.Шекмар Заказ 5353/44 Тираж 897 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к йзмери-.тельной технике и может быть использовано в системе глубокого ионнохимического травления для контголяскорости удаления материала с поверхности монокристаллических кварцевыхпластин.Целью изобретения является повышение точности,На чертеже схематически изображено устройство для определения ско"рости травления.Устройство содержит источник 1заряженных частиц, кассету 2 с набором образцов 3 из кварцевых пьеэоэле-,15ментов, измерительную камеру 4, состоящую из кожуха 5 с окном 6 дляпрохождения заряженных частиц, металлического основания 7, кварцевогопьезоэлемента 8, автогенератора 9, 20соединенного с кварцевым пьезоэлементом 8, мишени 10, выполненнойиз монокристаллического кварца,кристаллографическая ось 2 которогоориентирована вдоль направления 25распространения заряженных частиц,а ее плоскость ориентирована подуглом 45-60 ОС" к поверхности кварцевого пьезоэлемента 8 и к направлениюраспространения заряженных частиц. 30Один конец кварцевого пьезоэлемента 8 предназначен для укрепленияего на держателе 11, на основание ко"торого устанавливается дополнительный кожух 12 с отверстием 13 для прохождения частиц стравленного слоя,внутри которого расположен кварцевыйпьезоэлемент 8.Устройство работает следующим образом.При возбуждении источника 1 заряженных частиц пучок ионов падает накассету 2 с набором образцов 3 изкварцевых пьезоэлементов, а черезокно 6 кожуха 5 - на мишень 10, выполненную из монокристаллическогокварца, причем кристаллографическаяось 2 мишени 10 и образцов 3 ориентирована вдоль направления распространения заряженных частиц.Происходит травление образцов 3из кварцевых пьезоэлементов и мишени 10, выполненной из монокристаллического кварца, и распыление материала с поверхности образцов 3 имишени 10. Распыленный материал через отверстие 13 в дополнительномкожухе 12 попадает на кварцевый пьезоэлемент 8 и оседает на нем, Резонансная частота кварцевого пьезоэлемента 8, соединенного с автогенератором 9, понижается. Изменение частоты дГ фиксируется на выходе автогенератора 9. По скорости изменениячастоты автогенератора судят о скорости травления материала образцов.Использование предлагаемого устройства позволяет повысить точностьизмерений за счет исключения нагрева пьезоэлемента,

Смотреть

Заявка

3616901, 05.07.1983

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5332

ЗУБКОВ ЛЕВ АЛЕКСАНДРОВИЧ, СИМОНОВ ВАЛЕРИЙ НИКОЛАЕВИЧ, МАЛОВ ВЛАДИМИР ВЛАДИМИРОВИЧ, ПРЯДКО ВАЛЕРИЙ ЕВГЕНЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01N 29/00

Метки: скорости, травления

Опубликовано: 30.08.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1176233-ustrojjstvo-dlya-opredeleniya-skorosti-travleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для определения скорости травления</a>

Похожие патенты