Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(19) (11) 51 Н 01 Л 372 ЮС 12ф з КСАН НИ ТЕЛЬ 5.72 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОНИТЕТ СССР ПО ДЕЛАН ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ(71) Московский институт электроннго машиностроения(54)(57) СНОСОВ КЗСТИРОВКИ ЭЛЕКТРО"МАГНИТНОЙ. ЗОНДОФОРМИРУЮЩЕИ СИСТЕИИ включающий перемещение юстируемыхэлементов до положений, при которыхизображения в плоскости объектодержателя, полученные для прямой и об"ратной полярностей тока возбуждениясистемы, совмещены, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повыве"ния точности юстировки при уменьшениивремени ее проведения, перед получе,нием изображений между юстируемымиэлементами и обьектодержателем уста"навливают вспомогательную электромагнитную линзу, а изменение полярности тока осуществляют только вовспомогательной линзе.Составитель В.ГаврюшинРедактор А.Рншкина Техред М.Надь Корректор И.Эрдейи Заказ 3383/50 Тираж 679 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул, Проектная, 4 Ф1 11 5758Изобретение относится к микрозондовой технике и может быть использовано при эксплуатации приборов в электронной и ионной микроскопии.Целью изобретения является повышение точности юстировки при уменьшении времени ее проведения.Сущность способа заключается в следующем.Электронный зонд, генерированный 10 источником электронов, Фокусируют в плоскости объектодержателя неюстируемой вспомогательной электромагнитной линзой н формируют растр с помощью отклоняющей системы. Яа эк ране индикатора формируют изображение участка обьекта с характеристи ческим элементом топологии в центре растра.После этого включают первый юсти руемый элемент, производят подфокусировку электронного зонда на объекте и изменяют полярность тока возбуждения обмоток вспомогательной линзы. При этом на экране регистрируется 25 смещение изображения на величину а соответствующую величине разъюстировки осей вспомогательной линзы и юстируемого элемента, С помощью какого-либо устройства юстируемый элемент перемещают на величину, вызывающую соответствуюшее перемещение изображения на экране: а 2 ="0,5 а,. Эти операции повторяют до того момента, когда а.дМ, где дМ- погрешность1 35 определения перемещения иэображения на экране при данном масштабе увеличения. После этого увеличивают силу тока возбуждения поля юстируемого элемента и масштаб увеличения изображения и повторяют все операции до того момента, когда а сй.1Аналогичным образом осуществляют юстировку остальных элементов ЭЭС,Примером конкретной реализации способа является юстировка растрового микроскопа. В качестве неюстируемой вспомогательной линзы использована последняя по ходу пучка формирующая лияза. Юстировку койденсоров проводят; начиная от ближайшего к источни" ку электронов для значений тока возбуждения. Е 0,1 1, Т 0 е 51 макс 1 ф з макс ф где 1 , - максимальное значение тока возбуждения конденсора. Соответственно выбирают масштабы увеличения М,50, М 250 и М 1250. Для каждого следующего конденсора масштабы увеличения увеличиваются в 5 раа. Таким образом, проведение юстировки с введением вспомогательной линзы, фиксирующей минимальное расстояние от ее центра до плоскости объектодержателя, позволяет поддерживать его постояннью независимо от того, какой элемент Э 4 С юстируется. Это и позволяет увеличить точность юстировкн за счет соизмеримости смещений изображений растра ) относительно базовой вспомогательной линзы. Кроме того, поскольку центр качания зонда находится выше главной плоскости вспомогательяой линзы, то уменьшается общая величияа смещения растра при разъюстировке, что снижает общее время юстировкн за счет уменьшения времени на перенастройку возбуждения.
СмотретьЗаявка
3615078, 01.07.1983
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
ПАНКРАТОВ ВЛАДИМИР ВИКТОРОВИЧ, РЫБАЛКО ВЛАДИМИР ВИТАЛЬЕВИЧ, ТИХОНОВ АЛЕКСАНДР НИКОЛАЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/26
Метки: зондоформирующей, системы, электромагнитной, юстировки
Опубликовано: 23.05.1985
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1157589-sposob-yustirovki-ehlektromagnitnojj-zondoformiruyushhejj-sistemy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы</a>
Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы
Номер патента: 1307490
Опубликовано: 30.04.1987
Автор: Рыбалко
МПК: H01J 37/26
Метки: зондоформирующей, системы, электромагнитной, юстировки
...поля этои45жение будет иметь вид ровного кругапри горизонтальном положении о ъектоонтальном положении объекто- тоДержателЯ наклонЯют в стоРонУ придержателя. такого емного окна преобРажения не представляется слож- чения сим етрич изным как при ручном, так и при авто- верстия диафрагмы,Составитель В.ГаврюшинРедактор А.Гулько Техред В.Кадар Корректор М.Шароши Заказ 1 б 37/50 Тираж 699 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д,4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,4 Изобретение относится к микрозондовой технике, может быть использовано в электронной и ионной микроскопии, и является дополнительным к авт. св. У 1157589. 5Целью...
Устройство для юстировки квадрупольных магнитных линз
Номер патента: 884004
Опубликовано: 23.11.1981
МПК: H01J 3/20
Метки: квадрупольных, линз, магнитных, юстировки
...но в первом случае они равны пб"знаку, а во втором - противоположны.Вследствие этого, наблюдаемый сигнал имеет форму, близкую к синусоиде с четырьмя полупериолами (по количеству полюсов) чередующейся полярности. В случае, когда магнитная ось линзы совпадает с осью вращения катушки (и, следовательно, с геометрической осью линзы), амплитудные значения полупернодов синусоиды равны, и линза считается отъюстированной. Если же магнитная ось линзы не совпадает с осью вращения катушки, полупериоды синусоиды отличаются по амплитуде. Чем больше ось вращения к какому-либо из полюсов линзы, тем больше амплитуда соответствующего полупериода синусоиды, так как витки катушки пересекают магнитное поле с большей напряженностью (и наоборот), Для...
Ступенчатая линза типа линзы френеля и способ изготовления пуансона для ее прессования
Номер патента: 102950
Опубликовано: 01.01.1956
Автор: Большаков
МПК: F21V 5/00
Метки: линза, линзы, прессования, пуансона, ступенчатая, типа, френеля
...1 фО(1 п)л 10 Обжп)ки (гриба или чашки), пзготовлснной по расчетной кривой; затем производятся шлиФовка, полировка и хроми 1)ованис торцев в соответствия с расчетной к 1 во) и обратнос обжГмание спи ради так, чтобы выступоющие точки торцев ленты расположились в одной плоскости. Заключенная в кольцевую оправу спиральна)1 лента служ)т пуансоно)1 для прессования линз, на торце которого имеется спиральная канавка с элемснта 1)- ными поверхностями, соответствующими расчетноп.Изготовленная ири помощи такого пуансона спирально-ступенчатая линза имеет преимущество перед ступенчатокольцсвой, так как обеспечивает более плавное преломление лучей, идущих в различныс зоны л)онзы.На Фиг. 1 схематично показана установка для прессования линз: здесь...
Способ увеличения долговечности электролюминесцентных элементов
Номер патента: 312395
Опубликовано: 01.01.1971
Автор: Вдовенков
МПК: H05B 33/10
Метки: долговечности, увеличения, электролюминесцентных, элементов
...чем порошковые. Способ 5 стабилизации путем предварительного старения к пленочным элементам неприменим, поскольку относительно медленное изменение яркости для них и стабильная работа в течение сотен часов наблюдается лишь при уров нях яркости порядка единиц Нцгп.Способ увеличения долговечности путем повышения напряжеия на элементе по мере старения усложняет систему управления электролюминесцентными элементами, не исклю чает процесса старения самого электролюминесцентного слоя, а делает жестче режим его работы по мере старения и приводит к повышению вероятности катастрофического отказа, например пробоя.20 Исследование механизма старения пленокХпЯ с высоким содержанием меди, электролюминесцирующпх при возбуждении постоянным...
Светосильный зеркально-линзовый объектив
Номер патента: 470776
Опубликовано: 15.05.1975
Авторы: Гончаренко, Красавина, Пухов, Соколенко
МПК: G02B 17/08
Метки: зеркально-линзовый, объектив, светосильный
...одиночных линз из материалов со средними дисперсиями не ниже 95 и 67 соответственно, например из флюорита и кварца. нутой 5 линз со сферическими поверхностями, Обе линзы выполнены из одного и того же материала, например из кварцевого стекла. Двухлинзовый компонент расположен в параллельном пучке лучей впереди сферического зеркала и служит для компенсации сферической абфракции и комы сферического зеркала 2.Компенсатор выполнен в виде двояковогнутой отрицательной 6 и двояковыпуклой положительной 7 линз из материалов разных марок, прозрачных в указанных областях спектра со средними дисперсиями не ниже 95 и 67 соответственно, например из флюорита и кварца. Компенсатор расположен в сходящемся гучке лучей вблизи плоскости 8 изображения,...
Предыдущий патент: Коммутатор
Следующий патент: Приводное устройство намоточной машины
Случайный патент: Установка для насыщения воды углекислымгазом и ee резервирования