Способ изготовления полуфабрикатов (труб, прутков, листов, штанг и т. п. ) из полупроводниковых материалов

ЛЬ 11 ЛМ Класс 31 с, 21 ССС 1 ЕТЕНИ ЕТЕЛЬС В, Степан ОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУФАБРИКАТОВ (ТРУБ ПРУТКОВ, ЛИСТОВ, аТАНГ и, .) ИЗ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВПри изготовлении полуфабрикатов (проволоки, пластин, прутков и т. п.) из полупроводниковых материалов, например из германия, сначала получают методом вытягивания из расплава монокристаллы, зятем разрезают их на пластины, прутки и т. и. При этом образуется много отходов, а выход годной продукции весьма невелик.Описываемый способ получения полуфабрикатов (труб, прутков, листов, штанг и т. п.) из полупроводниковых материалов путем непосредственного вытягивания или выппессовывания из расплава с применением держателей-затравок различной формы и фильер с отверстиями различного профиля позволяет сократить до минимума образование отходов, повысить выход годной продукции и степень полезного использования исходных полупроводниковых материалов.Описываемый способ отличается тем, что для придания полуфабрикату определенного профиля применяют погруженный в расплав экран с щелью илп фильеру, расположенную на поверхности расплава или плавающую по ней.Расплав через отверстие фильеры может продавливаться под давлением или же вытягиваться за счет капиллярных сил,Описываемый способ может выполняться в двух вариантах. Б расплав полупроводникового материала (германия, кремния и т. п), погружается, как и обычно, держатель- затравка, которой сообщается непрерывное поступательное движение вверх. Зя затравкой под действием капиллярных сил вытягивается вверх столб расплава, который над поверхностью расплавленной ван 1.ы подвергается охлажден:1 ю и кристаллизации.Нужные структура (в том числе и мочокристаллическая), профиль и форма вытягиваемому полуфабрикату придаются путем применения держателей.зятравок необходимой формы и создагп 1 я надлежащего температурного поля как непосредственно над рясплавом в зоне формирования11 Г)2-1 Предмет изобретения Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Отв. редактор Л. П, Ситников,Информационно-издательский отдел Поди. к печ. 5.Ъг. Объем 0,17 п. л. Зак. 1698. Тир. 800. Ц. 50 к.Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Пегровка, 14здели 51, тек и в епосредствео прилегающей к ней зоне расплава. Соответствующие температурные условия в этих зонах создаются системой холодильников и экраном, погруженным в расплав.В случае необходимости в зоне формирования изделия и плавления полупроводникового материала могут быть созданы вакуум или атмосфера инертного газа.Второй вариант спосооа отличается от первого тем, что, с целью придания соответствующего профиля изделию, оно непрерывно вытягивается вверх через отверстие фильеры, плавающей или укрепленной на поверхности расплава. Фильера нижней частью погружается в расплав; она устанавливается над экраном или заменяет его. Держатель- затравка погружается в расплав через отверстие (очко) фильеры,В этом варианте способа протягивание (продавливание) расплава через очко осуществляется не только за счет капиллярных сил, но и за счет сил гидростатического давления, создаваемого вследствие погружения нижней части фильеры в расплав, а также и за счет давления, оказываемого на расплав при помощи поршневых, пневматических или механических устройств.Полученные описываемым спосо. бом полупроводниковые полуфабрикаты могут потребовать незначитслшой обработки, например, шлифовки и полировки, с целью доведения их толщины или сечения до строго определенных размеров,Способ позволяет путем изменения условий вытягивания и кристаллизации получать изделия (по;уфабрикаты) любых размеров - от тончайших до крупногабаритных. 1. Способ изготовления полуфабрикатов (труб, прутков, листов, штанг и т. п.) из полупроводниковых материалов путем непосредственного вытягивания или выпрессовывания из расплава с применением держателей-затравок различной формы и фильер с отверстияви различного профиля, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью придания полуфабрикату определенного профиля, применяют погруженный в расплав экран с щелью или расположенную на поверхности расплава или плавающую по ней фильеру.2, Прием выполнения способа по п. 1, отличающийся тем, что подачу расплава через отверстие фильеры осуществляют под гидро- статическим давлением, создаваемым погружением фильеры в расплав или посредством поршневых, пневматических или механических ч стройств.