Устройство фиксации разрезаемой пластины

Номер патента: 1121723

Авторы: Лебедев, Слепов

ZIP архив

Текст

,112172 ЕСПУБЛИ Бай Н 01 Ь 21/ НОМИТЕТ СССР НИЙ И ОТНРЫТИ ГОСУДАРСТВЕННЫ ПО ДЕЛАМ ИЗОБР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ К.АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1(54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ фИКСЛЦИИРАЗРЕЗАЕМОЙ ПЛАСТИНЫ, содержащееоснование с элементами базированияразрезаемой пластины, крышку и узелкрепления крышки к основанао, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, сцелью повышения производительности,основание и крышка снабжены прорезями, расположенными во взаимноперпендикулярных направлениях, иупругими элементами, расположеннымимежду прорезями.7 б б Фиг.2 ВНИИПИ Закаэ 7989/40 Тираж 682 Подписное Филиал ППП "Патент", г. Узгород, ул.Проектная,4 1 11217Изобретение относится к механической обработке неметаллических материалов, в частности резке полупроподниковых пластин на кристаллы,Известно устройство фиксации раз 5оезаемой пластины в виде подложки,выполненной из незасаливающего алмазный круг материала, на которую наклеивается разрезаемая пластина 11 .Недостатками известного устройства 1 Оявляются быстрый выход подложек изстроя вследствие их частичного прорезания алмазным кругом и загрязнениеразрезаемой пластины клеящим веществом.15Наиболее близким к предложенномупо технической сущности являетсяустройство, содержащее основание сэлементами базирования разрезаемойпластины крышку и узел креплениякрышки к основанию, причем крышкаснабжена прорезями, между которымирасположены упругие элементы 21.Недостатками данного устройстваявляются обязательное наличие вакуумной системы, обеспечивающей крепление пластины к основанию, а такженизкая производительность ввиду необ.ходимости снятия, поворота и закрепления крышки, а также поворота всегоустойства,Цель изобретения - повышение проРизводительности с одновременным исключением потребности в вакуумнойсистеме.Поставленная цель достигается тем,З 5что в устройстве фиксации разрезаемойпластины, содержащем основание с эле 23 2ментами базирования разрезаемой пластины, крышку и узел крепления крышки к основанию, основание и крышка снабжены прорезями, расположенными во взаимно перпендикулярных направлениях, и упругими элементами, расположенными между прорезями.На фиг. 1 представлено устройство фиксации разрезаемой пластины в разъеме; на фиг, 2 - разрез устройства в сборе.Устройство содержит основание 1, крышку 2, узел крепления 3 крышки к основанию, упругие элементы 4, элементы 5 базирования разрезаемой пластины. Ь основании и крышке выполнень 1 прорези 6.Разрезаемая пластина 7 помещается на основание 1, базируясь по элементам 5, выполненным в виде штифтов. Крышка 2 прижимает пластину к основанию при помощи упругих элементов 4 и закрепляется узлом крепления 3. Сквозное прорезание пластины производится, например, алмазным кругом, после чего устройство переворачивается, поворачивается вокруг вертикальной оси на 90 , и пластина прорезаоется в другом направлении. Образующиеся кристаллы удерживаются упругими элементами.Использование предлагаемого устройства позволяет повысить производительность процесса разделения пластин на кристаллы при одновременном упрощении эксплуатации устройства за счет исключения потребности в вакуумной системе.

Смотреть

Заявка

3412858, 26.03.1982

ЯРОСЛАВСКОЕ НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ЭЛЕКТРОНПРИБОР"

ЛЕБЕДЕВ ВАЛЕНТИН НИКОЛАЕВИЧ, СЛЕПОВ ТИМОФЕЙ НИКОЛАЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01L 21/78

Метки: пластины, разрезаемой, фиксации

Опубликовано: 30.10.1984

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1121723-ustrojjstvo-fiksacii-razrezaemojj-plastiny.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство фиксации разрезаемой пластины</a>

Похожие патенты