Интерференционный фильтр

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК зы ( 02 В 5/28 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ОБРЕТЕНИ СА АВТОРСКОМУ ТЕЛЬСТ Назарова,ая промыш.интерферен"ния. Класси тры и техаслевой станотип) .Й ФИЛЬТР,многослой(21) 3588395/18-10(56) 1, Оптико-механичесленность". 1980, В 6, с.32. фильтры оптическиеционные вакуумного напылфикация, основные параменические требования. Отрдарт ОСТ 3-854-81 (прот(54)(57) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННсостоящий из подложки с 801094008 А ным покрытием, выполненным иэ чередующихся слоев материалов с высокими низким показателями преломпения 1 причем в качестве материала с высокипоказателем преломления использовангерманий, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью увеличения влагостойкости и механической прочности,слой с низким показателем преломления выполнен иэ фтористого иттрия,а слои с высоким и низким показателями преломления разделены прослойкой иэ трехсернистой сурьмы с оптической толщиной (0,02-0, 1) й /4,где й - расчетная длина волны.1094008 45 Таким образом, фильтр сохраняетоптические характеристики без герметизации в широком диапазоне эксплуатационных условий при воздействииповышенной влажности, температуры,времени и термоударов,тель П. ЯковлевЛ,Коцюбняк Корректор О.Билак Заказ 3422/38 Тираж 497ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к интерференционным фильтрам инфракрасной области спектра.Известен многослойный интерференционный фильтр, состоящий из подлож" ки с многослойным интерференционным покрытием, выполненным из материалов с чередующимся высоким и низким показателями преломления, В качестве слоев использованы пленки 555. и К В г Г 1 3Недостатками этого фильтра являются гигроскопичность слоев КВг, вследствие чего необходима герметизация фильтра, с помощью второй подложки, что приводит к увеличению массы фильтра, уменьшению его надежности, а также уменьшению коэффициента пропускания.Наиболее близким к изобретению является интерференционный фильтр, состоящий из подложки с многослойным покрытием, выполненным из чередующихся слоев материалов с высоким и низким показателями преломления 1 причем в качестве материала с высоким показателем преломления использован германий 1 21.Недостатком известного фильтра является то, что используемые в качестве слоев с низким показателем преломления пленки.С 53 гигроскопичны и поэтому необходима герметизация фильтра.Целью изобретения является увеличение влагостойкости и механической прочности фильтра.Цель достигается тем, что интерференционный фильтр, состоящий иэ подложки с многослойным покрытием, выполненным иэ чередующихся слоев материалов с высоким и низким показатепями преломления, причем в качестве материала с высоким показателем преломления использован германий,. слой с низким показателем преломления выполнен из фтористого иттрия, а слои с высоким и низким показателями преломления разделены прослойкой из трехсернистой суоьмы с оптиСостави. Редактор Аг.Шандор. Техред ческой толщиной (0,02-0, 1)Л/4,где Л - расчетная длина волны фильтра.На чертеже изображена структурапредлагаемого фильтра.Фильтр содержит подложку 1 и многослойное интерференционное покрытие,состоящее из чередующихся слоенс высоким 2 и низким 3 показателямипреломления, между которыми помеОщены прослойки 4 (5 Ь 5 З 1. Слой с высоким показателем преломления выполнен из германия, а слой с низким показателем преломления - иэ фтористого иттрия.15 Оптические характеристики фильтра определяются показателями преломления и толщиной слоев основной пары материалов - германия и фтористого иттрия Слои германия напыляются методом электроннолучевого испарения, а слои фтористого иттрия - путем резистивного испарения, Однако 25использование в качестве слоев с низким показателем преломления пленокфтористого иттрия не позволяет получить механически прочные фильтрыиз-за возникновения больших внутренних напряжений. Введение прослоектрехсернистой сурьмы между слоямигермания и фтористого иттрия компенсирует внутренние напряжения и позволяет получить фильтр с высокой механической прочностью. Оптическая 35 толщина прослоек составляет (0,02 О, 1) Л/4, где Л - расчетная длинаволны фильтра. Увеличение толщиныпрослоек принодит к искажениям оптических характеристик фильтра, а ис пользование прослоек с оптическойтолщиной менее 0,023/4 не обеспечивает необходимую механическую прочность и влагостойкость фильтра.