Способ формирования активного слоя металлосплавного катода

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ааБОаи 4 А Н 01 1 9/О ИЗОБРЕТЕН ИЕТЕЛЬСТВУ ельство ССС/04,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССС ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫ ОПИСАНИЕК АВТОРСКОМ,Ф СВИД(54) (57) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ АКТИВНОГО СЛОЯ МЕТАЛЛОСПЛАВН ГО КАТОДА, включающий ступенчатый подъем температуры катода до рабочейи отбор эмиссионного тока при заданном напряжении на близлежащем электроде с выдержкой на каждой температурной ступени до получения требуемогодавления, о т л и ч а ю щ и й с я темчто, с целью увеличения надежности катода, его обработку ведут при контролеприроста отбираемого эмиссионного тока на каждой температурной ступени изаканчивают обработку, когда отношениеприроста эмиссионного тока (вмА) к величине температурной ступени лежит впределах (2-5) 1070таллосплавного катода (Йапрнмер, иридий-цериевого) имеет плавный переходный участок иэ области температурного ограничения в обласгь пространственного заряда, Все эти недостатки снижают надежность.11 елью изобретения является увеличение надежности катода.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу формирования активного слоя металлосплавного катода, включаюшему ступенчатый подъем температуры катода до рабочей и отбор эмиссионного тока при заданном напряжении на близлежащем электроде с выдержкой на каждой температурной ступени до получения требуемого давления, обработку катода ведут при контроле прироста отбираемого эмиссионного тока на каждой температурной ступени и заканчивают обработку, когда отношение прироста эмиссионного тока (в мА) к величине температурной ступени лежит в предлак (2-5) 10 З.Был сформирован активный слой металлосплавного прямоканального катода, выполненного из иридиево-цериевой таблетки ф 0,6 мм и топщиной 0,5 мм, закрепленной на держателе.Устанавпивают заданную величину поо тенциала анода и ступенями 100 С увеличивают температуру накала, при этом регистрируют ток эмиссии, Подъем температуры прекращают при достижении отношения прироста эмиссионного (в мА) тока к величине температурной ступени 2.10 .После этого дополнительно увеличивают температуру катода на ъеличину нестабильности источника накала в условиях эксплуатации прибора и выдерживают до получения требуемого вакуума.Использование данного способа формирования эмиссионной поверхности катода в процессе изготовления прибора позволяет более точно определить индивидуальный рабочий температурный режим, увеличивает надежность катода эа счет исключения перегорашщ держателя катода и нарушения геометрической формы эмиссионной таблетки. 1 10864Изобретение относится к электроннойтехнике, в частносщ к технологии изготовления узлов электровакуумных прибор св.Известен способ активирования оксидных катодов электровакуумных приборов,который осуществляется путем отборатока при повышении ускоряющих напряжений на электродах и одновременном снижении температуры по мере улучшенияэмиссионных свойств катода в режимепространсгвенного заряда (,1 3.Указанный способ применяется только для катодов, прошедших первый этапформирования эмиссионноактивного слоясо значительным превышением температурного режима относительно рабочего(номинального). Такие превышения температурного режима для прямонакальногометаллосплавного катода недопустимывследствие плавления (нарушения геометрической формы) эмиссионной таблетки иперегорания подогреватедьной нити.Кроме того, второй этап - этап активирования катода отбором тока - начинают при известной рабочей (номинальной) температуре катода и понижают помера улучшения эмиссионных свойств, чтоневозможно применять для металлосплавных катодов на стадии откачки иначала формирования активного аия,так как неизвестна рабочая температура.Известен также способ активированияметаллосплавного катода, включаваай ступенчатый подъем температуры через каждые 80-100 С до рабочей и отбор эмиссионного тока при заданном напряжениина ближайшем электроде с выдержкой накаждой ступени в течение 30-60 мин дополучения требуемого давления2.Недосгаток данного способа в том, чтоотсутствует кригерий оценки активностикагода, который характеризовал бы то,что достигнута рабочая температура ичто можно приостановить дальнейшийподъем температуры. Кроме того, иэвест 5ный способ не позволяет правильно решйтьвопрос о выборе индивидуального рабочего (номинального) температурного режима для каждого прибора, вследствие того, что эмиссионная характеристика меСоставитель Л.йиковаРедактор М,Товтин Техред И.Метелева Корректор М.немчик Подписное Филиал ППП "Патент", г.Мкгород, ул.Проектная, 4 Заказ 2259/48 Тираж 683ВНИИ ПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5