Способ измерения толщины металлических пленок

9) (11) СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ Й ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 25-28 мых т ерем юл. М 9и Ю.Е. Хорошайло ордена Трудового институт радиоРи 1,и. ч 1 ч- е 3 е 2(54) (57) СПОСОБ ИЗМЕТИ 1 ЛИЧЕСКИХ ПЛЕНв том, что измряелагают посерединеками экранного вихразователя, возбуждпосредством генераных колебаний и пожения на другой кателя определяют тол ич ающийсцелью расширения д(71) ХарьковсКрасного Знамэлектроники (53) 620.179. (56) 1, АвторР 375469, кл. (прототип). ЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ К, заключающийся ые пленки распоазора между катушетокового преобают одну из них ора высокочастотамплитуде напряушке преобразоващину пленок, о ттем, что, с апазона измеряеин, пленки толщиной Ъ ( Ьют к торцу катушкиь )"н,ч, -- еЧ Ка е, Ч 2 КаК - коэффициент связи между возбуждающей катушкой вихретокового измерительного преобразователя и ее зеркальным изображением при расстоянии откатушки до пленки;К - радиус катушкиЯ - эквивалентная добротностькатушки;ж - частота питающего тока;6 - удельная проводимость иемеряемой пленки;ц - абсолютная магнитная проницаемость/ Тираж 587 ВНИИПИ Государственного коми по делам изобретений и от 13035, Москва, Ж, Раушская нказ 928 Подписноеета СССРрытийб д, 4/5 Филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная,Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для электромагнитной толщинометрии.Известен способ измерения толщины неферромагнитных металлических пле нок, заключающийся в том, что метал" лическую пленку располагают на фиксированном расстоянии от катушек экранного преобразователя, и устройство для его реализации, содержа щее генератор переменного тока, вихретоковый преобразователь экранного типа, измерительный усилитель, индикатор и систему ориентации. Для рас" ширения пределов измеряемых параметров, например толщины металлических материалов, устройство снабжено четырьмя управляемыми ключами, образующими плечи мостовой схемы, в одну из диагоналей которой включен индуктивный возбудитель магнитного поля, а в другую " генератор намагничивающего тока, ключи противоположных плеч мостовой схемы попарно соединены между собой, включающий вход одной пары соединен с цепью сброса, выключающий вход - с включающим входом второй пары и выходом первой схемы временной задержки, а выключающий вход второй пары соединен с выходом третьей .схемы временной задержки 13.Недостатками способа являются узкий диапазон измеряемых толщин металлических пленок и его сложность.Целью изобретения является рас- З 5 ширение диапазона измеряемых толщин.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измерения толщины металлических пленок, заключающемуся в том, что измеряемые 40 пленки располагают посередине зазора между катушками экранного вихре- токового преобразователя, возбуждают одну иэ них посредством генератора высокочастотных колебаний и по амплитуде напряжения на другой катушке преобразователя определяют толщину пленок, пленки толщиной ЪЬ перемещают к торцу катушки, где- - е3 -р,Ч= Кае д "; ЧкаеК - коэффициент связи между возбуждающей катушкой вихретокового преобразователя и еезеркальным иэображением прирасстоянии от катушки до пленки, равном 0;И,11 - радиус катушки и ее эквивалентная добротность;м - частота питающего тока;6 и - удельная электропроводностьметаллической пленки и еемагнитная нроницаемосты01,02 - расстояния от пленки до катушек экранного вихретоковогопреобразователя.Способ реализуется с помощью устройства, содержащего последовательно соединенные генератор высокочастотных колебаний, вихретоковый преобразователь экранного типа, амплитудный детектор и индикаторВихретоковый преобразователь содержитизмерительную и возбуждающую катушки, включенные в контуры с трансформаторной связью.Измеряемую пленку располагают взазоре между катушками резонансногоэкранного преобразователя, возбуждают одну из катушек переменным током и по амплитуде напряжения надругой судят о толщине измеряемойпленки. При этом металлическую пленку размещают посередине зазора между катушками и производят отсчетпо шкале для толстых пленок вторичного прибора, а если указательприбора расположен вначале шкалы,пленку перемещают к торцу одной иэкатушек преобразователя и производятотсчет по шкале для тонких пленок,Таким образом, способ измеренийтолщины металлических пленок позволяет расширить диапазон измеряемыхтолщин.