ZIP архив

Текст

(19). (11 7/00 З(59 НОМИТЕТ СССРНИЙ И ОТНРЬПЮ ГОСУДАРСТВЕННПО ДЕЛАМ ИЗ г,- с НИЕ ИЗОБРЕТОМУ СВЙДЕТВЪ 6 тВу В ТОРСИ 48 Бюл. 9икг В.ЕН.Тупик(54)(57) ТЕРИОРЕЗИСТОР, содержащийизолирующую подложку, на которойрасположены термочувствительныйэлемент из халькогенидного полу-.проводникового.материала и пленказащитного покрытия, о т л и,ч аю щ и й с я тем, что с целью,расюирения диапазона рабочих температур терморезисторов, в качестве халькогенидного полупроводникового материала.термочувствительного элемента использована пленкамоносульфида европия, при этом толщина пленки моносульфида европиясоставляет 15-30 толщины пленкизащитного покрытия.1064323 Изобретение относится к электрон.ной технике и может быть использовано в технологии изготовления терморезисторов с отрицательным температурным коэффициентом сопротивления ТКС).,Известен терморезистср, содержащий изолирующую подложку, на которой расположены термочувствительныйэлемент из нитрида галлия и пленказащитного . экрытия 11 .10Недостаток данного терморезисторасостоит в узком диапазоне рабочихтемператур до 350 С) .Наиболее близким к предлагаемомуявляется терморезистор, содержащий 15изолирующую подложку, на которойрасположены термочувствительный элемент из халькогенидного полупроводникового материала (565 1) и пленка защитного покрытия 2) 20Недостаток известного терморезистора заключается в узком диапазонерабочих температур (до 250 вС).Цель изобретения - расширениедиапазона рабочих температур терморезистора.Указанная цель достигается тем,что в герморезисторе, содержащемизолируюцую подложку, на которойрасположены термочувствительный элемент иэ халькогенидного полупроводникового материала и пленка защитного покрытия, в качестве халькогенидного полупроводникового материаГ Максимальная рабочая температура, СТолщина пленки, мкм ТКС1/град. Температура исп тания,ОС Подложка 510 Ец 5 0,04 800 0,02 0,45 Слюда 0,015 0,015 600 0,55 0,10, Лейкосапфир 0,01 0,60 1000 0,01 600 Лейкосапфир 0,008 Лейкосапфир 1000 0,01 0,60 900 изменения температуры окружающейсреды или поверхности, на которуюнанесена пленка из моносульфида60 европия. ВНИИПИ Заказ 10539/52 Тираж 703 Подписноефилиал ППП "Патент", г.ужгород,ул.Проектная,4. Изобретение позволяет расширить диапазон рабочих температур терморезисторов и область их использования и может быть использовано для ла термочувствительного элемента использована пленка моносульфйда ев. - ропия, при этом толщина пленки моносульфида европия составляет 15-30 толщины пленки защитного покрытия.Использование пленки моносульфида европия в качестве материала термочувствительного элемента позволяет расширить температурный диапазон терморезистора от температуры кипения жидкого азота до температуры сублимации моносульфида европия (Ец 5) в вакууме 10 Па. При изменении температуры от. -90 до 900 ОС злектропроводность пленки Ец 5 ихменяется по экспоненциальноьу закону на 10 порядков от 710 до 210 Ом. При температуре -90 С величина ТКС К = 1 10 1/град., при температуре 500 С ц 6 =110 1/град, Энергия активации проводимости при температурах выше 600 С составляет Е =0,88 эВ, что обеспечивает высокйй ТКС.Изготовлены терморезиаторы, состоящие из двух слоев - пленки Ео 5 толциной О;5-0,6 мкм диаметром 6 мм и защитной пленки 50 толщиной 0,01- 0,02 мкм диаметром 8 мм, нанесенных на подложки из лейкосапфира, слюды, ситалла.В таблице приведены характеристики терморезисторов и результаты их испытаний

Смотреть

Заявка

3463947, 05.07.1982

ХАРЬКОВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. В. И. ЛЕНИНА

ПАЛАТНИК ЛЕВ САМОЙЛОВИЧ, МАРИНЧЕВА ВАЛЕРИЯ ЕМЕЛЬЯНОВНА, НАБОКА МАРАТ НИКОЛАЕВИЧ, ТУПИКИНА ВАЛЕНТИНА НИКОЛАЕВНА

МПК / Метки

МПК: H01C 7/00

Метки: терморезистор

Опубликовано: 30.12.1983

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1064323-termorezistor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Терморезистор</a>

Похожие патенты