Способ измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК П 9) П 1) 33/12 ЫЙ КОМИТЕТ СССРРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ГОСУДАРСТВЕН ПО ДЕЛАМ ИЗ ЕТЕНИ 4 К АВТОРСК МЕРЕНИЯ ПЕРИОДАДОМЕНОСОДЕРЖАОПИСАНИЕ ИЗ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54)(57) СПОСОБ ИЗСТРАЙП-СТРУКТУРЫ В ЩИХ ПЛЕНКАХ, заключакнаийся в том,что пленку помешают в переменноемагнитное поленаправление которогоперпендикулярно к плоскости пленки,о т л и ч а ю щ и й с я тем, чтос целью повышения быстродействия иточности измерений, плоскость пленки поворачивают параллельно направлению магнитного поля и уменьшаютамплитуду переменного магнитногополя до нуля.8659/45 Тираж 710 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо дерам изобретений и открытий1 13035 р Москва Ж 35 р Раушская наб р д 4/5г г гг Заказ Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к магнито-.метрической технике и может бытьиспользовано для определения периода страйп-структуры при производстве домендсодержащнх пленок.Самые производительные и точные 5измерения периода получают на прямой доменной структуре с шириной полосы,равной ширине полосы лабиринтной доменной структуры раэмагниченной пленки ЮНаиболее близким к предлагаемомуявляется способ измерения периодастрайп-структуры в доменосодержащихпленках, который заключается в том,что пленку помещают в постоянное маг.нитное поле, параллельное пло 8 кости пленки, и одновременно прикладываютперпендикулярно плоскости пленкипеременное магнитное поле, снижаютего амплитуду до нуля, снимают постоянное магнитное поле, затем прикладывают перпендикулярно плоскости пленки д,полнительное переменное магнитное поле, амплитуду и продолжительность действия которого подбираютр измеряют линейный размер участка плен ки со страйп-струксуройрподсчитыва-. ют количество прямас полосовйх доменов, находящихся на измеряемом участке, и определяют период страйп-структуры путем деле ння величины линейного размера на количество полосовых доменов Ц .Однако известному способу свойственны низкие быстродействие и точность измерения. 35Цель изобретения - повьыение быстродействия и точности измерений.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измере О ния периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках, заключающемуся в том, что пленку помещают в переменное магнитное поле, направление которого перпе"д"кулярно к пл кос ти пленки, плоскость пленки поворачивают параллельно направлению магнитного поля и уменьшают амплитуду переменного магнитного поля до нуля.Способ осуществляют следующим образом. Пленку помещают в переменное маг.нитное поле, направление которогоперпендикулярно к плоскости пленки. Затем пленку поворачивают в этомпеременном магнитном поле на угол90 таким образом, что ее плоскостьстановится параллельной направлениюполя. Во время поворота пленки нанее действуют две составляющиеполя - нормальная и тангенциальная.Причем во время поворота значениенормальной составляющей изменяетсяот максимального до нуля, а значениетангенциальной - наоборот. После поворота пленки она оказывается поддействием параллельного плоскостипеременного магнитного поля, амплитуда которого с этого момента начинает убывать до нуля. В результате данных операций в пленке образуется прямая полосовая структурас 1 ВУдоменами. Ширина прямых полосовых доменов равна шириряе лабиринтных полосовых доменов, что соответствует состоянию структуры в полностью размагниченной пленке.Следующая операция способа заключается в измерении линейногоразмера участка страйп-структуры. После измерения линейного размера подсчитывают количество прямых полосовых доменов на измеряемом участке. Процесс измерения завершаетсяопределением периода страйп-структуры путем деления величины линейного размера участка страйп-структуры на количество прямых полосовых доменов.формирование прямой полосовойструктуры осуществляется в соленоиде, в котором образе пленки может.доворачиваться на 90 относительнонап,равления переменного магнитного поля,Таким образом, предлагаемый способпозволяет повысить быстродействие иточность измерения периода эа счетФормирования прямой полосовой структуры переменным магнитным полем, устранения постоянного магнитного поляи дополнительных операций по многократному подбору амплитуды и длительностипеременного магнитного поля,