Способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи

1 А 09) (11) СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1) 0 01 М 3/О 3(5СРИЙИЗОБРЕТЕН И ИОАН ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ К АВТОРСКОМУ СВИД(71) Горьковский ордена ТрувовогКрасного Знамени политехническийтитут им. А.А. Жданова и Научноисследовательский институт химиипри Горьковском государственномверститете им. Н,И. Лобачевского(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОНИЦА ЕМОГО ЭЛЕМЕНТА КОНТРОЛЬНОЙ ТЕЧИ по. авт, св, Р 879344, о т л и ч а ю "щ и й с я тем, что, с целью обеспе"чения стабильности газового потока ли" через проницаемый элемент, индикаторный газ пропускают через отверс. тие пластины в направлении, противоинс- : положном направлению газового потока10403612 филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,Изобретение относится к техноло-гии изготовления контрольных течей,которые могут быть использованы длякалибровки течеискательной аппарату"ры при испытаниях на герметичность,По основному авт, св, У 879344известен способ изготовления прони"цаемого элемента контрольной течи,заключающийся в том, что используютпластину .с отверстием, помещают еев вакуумируемый объем, нагревают,осаждают металл путем пропусканиячерез отверстие пластины газообразного металлоорганического соединения, одновременно с осаждением металла пропускают через это отверстиеиндикаторный газ, измеряют пропускную способность отверстия по индикаторному газу и при достижении заданной величины пропускной способности прекращают осаждение металла,Индикаторный газ пропускают черезотверстие в том же направлении, чтои газообразное металлоорганическоесоединение 11,.Недостатком известного способа является нестабильность газового потокачерез проницаемый элемент, вызванная тем, что побочные продукты разложения металлоорганического соединения заносятся индикаторным газомвглубь отверстия пластины и в дальнейшем дестабилизируют пропускнуюспособность проницаемого элемента,Цель изобретения - обеспечениестабильности газового потока черезпроницаемый элемент,Поставленная цель достигается тем,что согласно способу изготовленияпроницаемого элемента контрольной течи, заключающемуся в том, что используют пластину с отверстием, помещаютее в вакуумируемый объем, нагревают,осаждают металл путем пропусканиячерез отверстие пластины газообразного металлоорганического соединения,одновременно с осаждением металлапропускают через это отверстие индикаторный газ, измеряют пропускную способность отверстия по индикаторномугазу и при достижении заданной вели"чины пропускной способности прекращают осаждение металла, индикаторныйгаз пропускают через отверстие пластины в направлении, противоположномнаправлению газового потока металлоВНИИПИ Заказ 6919/4 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 б органического соединения через этоотверстие, под давлением, превышающимдавление в объеме с газообразным металлоорганическим соединением,На чертеже представлена схема устройства для осуществления способа.Устройство содержит две вакуумныеполости 1 и 2, разделяемые пластиной3 с отверстием 4 и подключаемые коткачным насосам 5 и 6, дозатор 7,испаритель 8 с нагревателем 9 дляиспарения металлоорганического соединения и трубкой 10 для подачи паровметаллоорганического соединения непосредственно к месту осаждения, нагреватель 11 пластины 3 с терморегулятором 12, источник 13 индикаторногогаза и течеискатель 14,Способ осуществляют следующим образом,Пластину 3 с отверстием 4 диаметром 0,03 мм помещают между полостями1 и 2, откачивают их до 1-10 мм рт.ст.,подают в испаритель 8 из дозатора 7металлоорганическое соединение, в качестве которого используютоас -этилбензол хром, пары которого по трубке10 поступают к отверстию 4. Одновременно с подачей дозы металлоорганицеского соединения в испаритель 8 в полость 2 от источника 13 подают индикаторный газ (гелий) под давлением6-10 мм вод. ст превышающим суммарное давление в полости 1, Концентрацию гелия в полости 1 определяютс помощью масс-спектрометрического течеискателя 14. При достижении заданной величины потока гелия, т.епридостижении заданной величины пропуск"ной способности отверстия 4, прекращают подачу металлоорганицеского соединения в испаритель 8, Подача индикаторного газа относительно пластины3 со стороны, обратной объему с металлоорганическим соединением, препятствует проникновению побочных продуктов разложения последнего в полость отверстия 4, В то же время атомы металла, имеющие большие массу икинематическую энергию, осаждаютсяна поверхности отверстия, создаваяравное и прочное покрытие.Изобретение позволяет с высокойточностью получать проницаемые элементы со стабильной во времени пропускной способностью.Тираж 873 Подписное