171930

171930 ОПИСАНИЕ ИЗО БРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советских Социалистических Республикл. 21 д, 1 ства авцсимое от авт. свиде 21 п, 13 с 4 21 п, 13;,в 21 д, 132 в МПК Н ОЦН О 11 Н О 11 Н О 11 УДК 621.385(088,8 аявлецо 27, Ч.1963 ( 833408/26-25 исоедииецием заявкиоритет Государственны и комитет по делам изобретений и открытий СССРпубликовало 22.Ч 1.1965. БюллетеньДата опубликования описания 21.И 1.1965. В, Злагкис, В. Я, Плисковский, Ю. С. Пузырийский, . С. Назаров, В. М, Комиссарчик, Е, Я, Хоц, И. А, ЖиВ. Г. Аникии, Г, ф, Ивановский, А. А, Гаврилови С, А. Векшииский И, Пилко, С, Юрков,вописце аяви Подппсцпя груллп Л 6 9 Изготовление и сборку электронных приборов, цапример магцетроцов, производят обычцо ца разобщенном технологическом оборудовации в обычных помещениях или в помещециях с кондиционированным воздухом.На монтажных столах, сварочных и паяльцых установках осуществляют ручную сборку катодцого и ацодцого узлов. Катодцый узел центрируют с помощью жестких олравок и вваривают в ацодцый узел на высокочастотцой установке. Собранный прибор откачивают цд ицдивцдуальцых откачцых постах илц откачцых полуавтоматах, где в процессе откачки осуществляют обезгаживацие ацодцых ц катодцых узлов. В процессе обезгажцвация прибора производят и активировку катода. Качество катода ло его эмиссиоццым свойствам оцеццвается лишь в готовом приборе в колле процесса откачки, после чего прибор гсрмстизцруется, Прц проведеццц операции цд моцтджцых столах, лд цсгермстцзцроцд - цых установках сварки ц пайки ц лрц межоперациоццой транспортировке деталей и узлов цх цовсрхцостц подвергаются воздсйствшо атмосфсрцого воздуха (образоваццс цд поверхности окисцых пленок, ддсорбцця газов ц паров воды и т. д,) ц цецзбекцо коцтактцрукт с руками оператора, что приводит к обрд;шпдншо цд деталях жировых и других загрязцсций. Загрязнения деталей вызывают зцачительцое газовыделецие во время откачки прибора, удлиняют цикл откачки, снижают эмиссиоццые свойства катода и ухудшают каче ство прибора. Отсутствие оборудования дляраздельной откачки катодцого и ацодцого узлов и активировки катода до его постацовки в прибор вызывает необходимость провсдеция этих операций в собраццом приборе, О что, в конечном счете,увеличивает газовыделеиия и зачастую приводит к отравлецшо катода и выходу прибора из строя. Отсутствие оборудования для проверки катодцых узлов по их эмиссионным свойствам до постановки 5 в прибор це позволяет судить о качестве катода, а следовательно, и о цадежцости прибора и в ряде случаев приводит к цсисправимому браку полностью собраццого прибора.Прцмецецие жестких опрдвок при цецтрц.20 ровации катодцоп узла во время его вваркив ацодцый узел ца высокочастотцой устацовке исключает возмож цость получси ия мекэлектродцых зазоров требуемой точности, приводит к механическим попреклсчлгям анод ного блока ц нарушению его гсомстрцп, В результате этого большое количеств окоцчатсльцо собраццых приборов забраковыпается лс уходу параметров. 1 длцчцс рдзсбщеццого неполного комплекта техцологцческого обо Зо рудопдция, ца котором мцогие операции осу)Я аказ 1)ч)/ Тирал 1)I ) Фор)ат Г)уп. ЦИИИИИ Госулзрстггсииого копитста Москва, Центр, Р 61) , 90/ У, /8 Объсч 1,97 изл, и. Ценз 5 ко по лспач изобретений и открытий СССР пр. Серова, д, 40 ществляются в условиях неконтролируемойсреды, це позволяет создать устройства, обеспечивающие качественнуо сборку надежныхприборов в едином технологическом комплексее.5Прелложеццая установка обеспечивает изготовление электронных приборов повышенной надежности и долговечности.Сущность изобретения заключается в следуо щем,1Механизированная поточная установка дляизготовления электронных приборов выполнена в виде линии обработки и сборки катодного узла, линии обработки и сборки анодногоузла и линии окончательной сборки изделия, 15Линии состоят из герметичных, последовательно вакуумноплотно соединенных устройств,обработка в которых производится в вакуумеили иной контролируемой защитной среде.В состав линии для обработки и сборки 20катодного узла входят устройства для ультразвуковой очистки деталей, вакуумной сушки,высокочастотного вакуумного отжига, сицтерцровацпя катодов тяжелыми металлическими порошками способом катафореза, для 25нанесения металлической губки на керн катода, спекания губки, для контроля катодов,сборки и монтажа, точечной контактной сварки, электронно-лучевой сварки, аргоно-дуго.вой сварки, высокочастотной пайки узлов, 30проверки на герметичность, оксидировациякатодов, обжатця катодов, для активировкии проверки эмиссионных свойств катодцыхузлов.В состав линии для обработки и сборки 35анодного узла входят устройства для ультразвуковой очистки деталей, вакуумной сушки,высокочастотного вакуумного отжига, сборкиц монтажа, электроннолучевой сварки, устройство Лля аргоцо-дуговой сварки, высокочастотой пайки в вакууме, пайки сопротивлением в вакууме, лля контроля изделий, дляобезгаживания ацолцых узлов, для проверкина герметичность, для холодных измеренийпараметров прибора, 45В состав лицин окончательной сборки изделий входят устройства лля бескоцтактнойцентровки и сборки католцого узла с анолцым, бссштсцгсльцой откачки и герметизациип)ц 60)а и выходк)Й цлюз. 50На фиг. 1 изображеца пргцпициальпаясхема компоновки механизированной поточной установки; ца фиг. 2 - устройство лляультразвуковой очистки деталей; ца фцг. 3 -устройство для высокочастотного вакуумного 55отжцга; ца фиг. 4 - устройство лля сборкии монтажа; ца фцг. 5 - устроцство Лля сццтерцронания катодов тяжслымц металлическими порошками способом катафорсза; пацп. 6 - устройство Лля электроннолучевой 60сварки; ца фиг. 7 - устройство для арз)цодуговой сварки; ца фцг. 8 - устройство дляобжатия катодов; на фпг. 9 - устройстводл 5 1(тцровки ц п)Овсркц эмиссионныхсвойств католцых узлов; на фиг. О - устройст во для бесконтактной центровки и сборки катслного узла с ацодцым; ца фиг. 1 - устройство ля бесштецгельцой откачки ц герлетизации прибора,Работа ца установке осуществляется следующим образом.Окончательно изготовленные детали катод- ного узла через вакуумный шлюз лицин сборки катодного узла поступают в устройство 1 для ультразвуковой очистки, где производят их окончательную очистку в демцнерализованной воде. Очищенные детали проходят в устройство 2 для вакуумной сушки, а затем в устройство 3 для высокочастотного вакуумного отжига. На подготовленный керн катода в устройстве 4 для синтерированця катодов тяжелыми металлическими порошками и в устройстве 5 для нанесения металлической губки производят нанесение пористого метал. лического слоя, который затем спекается при залаццой температуре в устройстве 8. Проверенные в устройстве 6 для контроля керны катодов поступают на монтаж катодцого узла в устройство 7 для сборки и монтажа, После этого катодный узел сваривается и паяется в устройстве 8 для точечной контактной сварки; в устройстве 9 для электроццолучевой сварки; в устройстве 10 для аргоцодуговой сварки и в устройстве 11 лля высокочастотной пайки.Собранный катодный узел проверяют ца вакуумцуо плотность на устройстве 12 для проверки на герметичность. Годные католцые узлы поступают в устройство И для оксцлцровацця катодов, где производят введение активных материалов в металлцческуо губку катода. Затем катодные узлы в устроистве 14 для обжатпя катода прокатьшают до получения заданной геометрии ц плотности активной поверхности катода. Окончательно собранный катодный узел в устройстве 15 лля активировки и проверки эмиссионных свойств обезгаживаот прогревал в вакууме, активируют и оцеццвают по эмцссиоцньм характеристикам. Проверенные и отобранные катодцые узлы поступают в линио установки для окончательной сборки изделия.Окончательно изготовленные детали ацолного узла через вакуумцый шлюз поступают в лицио сборки ацодцого узла ц прохолят последовательную обработку в устройствах 1, 2, 3. Из подготовленных к сборке деталей в устройстве 7 монтируют ацодцый узел, который затем сварпваот в устройствах 9, 10 и паяот в устройстве 11 и в устройстве 16 лля пайки сопротивлением, Собранный ацолцый узел обезгаживаот в вакууме в устройстве 17.В устройстве 12 производят проверку ацодного узла ца вакуумцуо плотность, а в устройстве 18 лля холодньх измерений проверя.от его электрические параметры. Пр)верецнс и отобранные анолные узлы поступают в лццгцо установки для окончательной сборки изделия,Отобранные катодцые и анодные узлы прибора подаются в устройство 19 для бескоцтактной центровки и сборки катодного узла с анодцым линии окончательной сборки, где производят центровку катода по его активной части в отверстии анодного блока и вварку сцентрированного катодцого узла. Собранный прибор обезгаживают, откачивают, проверяют по параметрам и герметизируют в горячем состоянии в устройстве 20, 1 ерлетизированный прибор через выходной шлюз 21 выдают из установки.Т аким образом механизированная поточная установка позволяет производить в едином технологическом комплексе, начиная с операции окончательной очистки деталей и узлов и кончая откачкой и герметизацией, всю сборку приборов в контролируемой защитной среде, исключить контакт детаЛей и узлов с незащищенными руками оператора; полностью исключить влияние длительности межоперационного хранения; производить раздельное обезгаживание с откачкой катод- ного и ацодного узлов, значительно сократить газовыделение в процессе окончательной откачки прибора и исключить отравление катода, резко сократить время откачки; производить операцию активировки катода и проверки его эмиссионных свойств до постановки в прибор, что дает возмокцость отбирать катоды с лучшими параметрами и гарантировать их надежность; производить сборку особопадежцых приборов с точными межэлсктролцыми расстояниями и полностью исключить нарушение геометрии и механические поврекдения анодцого блока и катода. Все это обеспечивает изготовление долговечных и надежных электронных приборов.Механизированная поточная установка содержит устройство для ультразвуковой очистки деталей (фиг. 2), которое предназначено для окончательной очистки корпусных деталей и деталей типа трубок, имеющих большое отношение длины к диаметру внутреннего отверстия.Устройство состоит из герлетизироваццзго скафандра 22 и станицы 23. В скафацлр вмонтированы: верхний магццтострпкццоцш)й преобразователь 24 с групповым концентратором; ш(жций магпитострцк(цопцы 1 преобразователь 25 с вакуумными уплотнениями 26 и нижняя ванна 27 лля очистки корпусных деталеи; стол с механизмом 28 лля подъема верхней ванцы с рабочей жидкостью к концентратору; вакуумный шлюз 29 для загрузки деталей в скафандр; бак 30 лля подачи через систему трубок лсмицсралцзванной воЛь, Являопс 1)с 1 рс)Г)1 сЙ жид(Ость)о. В скафандре имсотс)1 лва отверстя для резиновых перчаток. При необходимости отверстия герметично закрьшаются вцсшпцмц колпаками 31. Наблюлсццс за раГ)отой осущссзцлястся через илл(олццатор. Магццтострцкццопцыс прсобразоват(лц питаются от ультразвукового генератора, Детали для очистки по 50 55 60 65 5 10 15 20 25 30 35 40 45 даются в установку через вакуумный шл 29. Верхняя и нижняя ванны заполня)о рабочеи жидкостью. Корпусные детали з; ладываются в ццжшою ванну, трубчатые, тали надеваются ца иглы концентратора. 1 воротом рукоятки, через рычажную систсл механизм подъема 28 устанавливает верхш( ванну в рабочее положение, Нажимом кцоц включается генератор. Наличие вакуума уплотнений магнцтострикциоцных преобра: вателей 24 и 26 обеспечивает возможнос проведения ультразвуковой очистки в контр лируемой защитной среде.Устройство для высокочастозцого вакуу ного отжига деталей (фиг. 3) предназцачс) для отжига деталей в вакууме при темцер туре 450 - 600"С. Устройство состоит цз з грузочной камеры 32, двух боковых бокс( 33, рабочей камеры 34, вакуумной системыи станины 36.Внутри загрузочной камеры смоцтирова колбинировапцый механизм 37 загрузки л талей, состоящий из шарнирного четырехзвс ника 38, кулачково-рычажной системы 39 двухкацавочцого кулачка 40.Механизм загрузки обеспечивает подъе салки 41 с изделиями в рабочую камеру возврат садки в камеру загрузки после око) чания процессов, а также отделение заслон кой 42 рабочей камеры от загрузочной камс ры ца время проведеция отжцга. Прслцарц тельос разрежение ц загрузочной кам( р осуп(сствлястся от (спалцзоцаццо) (01)1 куумцой магистрали через 1)лок 43 клапан(ЯБысоковакуумцая откачка рабочей кам( р осуществляется вакуумной сцст( мой. П цз а 11 ицдуктора 44 производится через вакуулц 1,1 коаксиальцый ш)од 46 от высокочаст(ц(ц ( генератора (ца чертеже це показано).Через отверстия в боковых боксах, уплот ценных резиновыми перчатками (на чсртск( не показано), оператор устанавливает в каме ре загрузки, заполненной коцтролирусмо) средой и отделенной от рабочей камеры ва куумцой заслонкой, детали ца садку меха. нцзма подъема. Затем оператор закр)васз боковые двери 46 камеры загрузки ц вклю. чает нрелварцтсльцую откачку. Прц лостцксццц в камере загрузки залаццого црелварительного разрскспця автоматически включается двигатель (ца чсртскс пе показано) привода распределительного вала 47. С распределительным валом кицематичсски жестко связаны шарнирный четырехзвсццик, кулачково-рычажная сцстсма ц Лвухкацавочцый кулачок. За врсмя одного п(ворота распрсл(- литс.)ьцого ил 1 ц 1 а)пири 11 чст 11)схзц(п 111)к открьц)аст 11 перси(щаст ц сториу вакуум)у)о заслонку; кулачкоцо-рычажная сцстсма с помшцью цпока 48 псрслспаст садку с летал- мц о вцугрсцц)о)о полость ццлуктора рабо)сй кую(1) ы, Д 1)ух к ца ю)ц 1 Й кул а 11к осу 1(с. стц;151 ст попо)от штока с салкОЙ ц от кулачково-рь)чажцой системы шток возвращается вниз, где двухкацавочным кулачком вновьповорачивается в исходное положение; шарнирный четырехзвенник закрывает вакуумную заслонку. При достижении в рабочей камере заданного разрежения включается высокочастотньш индуктор и производится отжиг деталей по установленной температурной кривой. В конце цикла обезгаживания выключается индуктор и с помощью комбинированного механизма осуществляется выгрузка сдлкн с деталями из рабочей камеры в каме. ру загрузки в последовательности, описанной выше. Затем камера загрузки заполняется контролируемой защитной средой и оператор, открыв двери, производит выгрузку и передачу деталей на следующее устроиство установки.Устройство для сборки и монтажа (фиг, 4) предназначено для монтажа узлов в условиях контролируемой среды, Устройство состоит из герметизированного скафандра 22 и станицы 23. Скафандр представляет собой тонкостенный металлический цилиндр. В скафандре имеются два отверстия для резиновых перчаток 49 и иллюминатор 50 для наблюдения за работой. Отверстия для перчаток с внешней стороны герметично закрываются внешними колпаками Л, которые уплотняются резиновыми прокладками 51 и прижимаются винтами 52. Внешние колпаки имеот патрубкц 53 для откачки. Внутри скафандра установлен стол 54, на котором осуществляется монтаж узлов. В верхней части скафандра смонтирован светильник 55, Сборка изделий в устройстве производится вручную с помощью специальной технологической оснастки, устацовленной на столе.Перед заполнением скафандра контролируемой защитной средои для удаления агрессивных газов, влаги и пыли производят его откачку до заданного разрекения. Для сохранения целостности перчаток одновременно с откачкой скафандра производят откачку внешних колпаков через цатрубок, Заполнение скафандра контролируемой средой также производится одновременно как с внутренней, так и с нарукной стороны герчаток,Устройстно лля сицтсрцрондция катодов тяжлымц мтдллическимц нрнкдлц способом катаорсзд (фц. 5) цренд;цдсно дл 5 сицтерировация керцов катодов в условиях контролируемой среды. Устройство состоит из герметцзированцого скафандра 22, узла 56 перемещения катода, узла 57 перемепивация суспецзци, ванны 58 парафцццрования, блока питания (на чертеже це показано) и станицы 23. В скафандре имеются лва отверстия для резиновых перчаток, иллюминатор и светильник. Через резиновые уплотнения 59 во внутренпоо полость скафандра введены узлы 56 и 57. Узел 56 перемещения катода обеспечивает погружение катода в ванну 58 цд заданную глубину ц подъем катода из ванны. Перемещение передается от кулачка 60 через систему рычагов ца шток б, в голосив 62 которого укрепляется катод. Велцчина перемещения катода определяется профилем кулачка. Узел 57 перемешивания суспецзии выполнен в виде рычага с вакуумным вводом 63 вращения. На конце рычага находится вращающаяся ванна 64, Во внутреннюю полость ванны введен цилиндрический полый анод 65, имеющий внешние спиральные лопасти 66 для церемешивация суспензии. Ванна парафинирования выполнена в виде цилиндра с двойными стенками, между которыми находится нагреватель 67.Блок питания обеспечивает подачу заданных режимов ца электроды, стабилизацию тока в процессе покрытия, поддержание режимов в заданных пределах времени и автоматическое отключение устройства, Катод с защищенными парафином местами, не подлежащими покрытию, закрепляется в головке 62. Включается вращение узла перемешивания порошка. Дальнейший цикл идет автоматически: погружение катода на заданную глубину; подача заданных режимов на электроды; выдержка в процессе покрытия; снятие напряжении; подъем катода в исходное положение и выключение устройства.Устройство для электроннолучевой сварки (фиг. 6) предназначено для сварки деталей и узлов прибора в условиях высокого вакуума. Устройство состоит из рабочей камеры 68, двух боковых боксов 33, электронной пушки 69 и вакуумной системы 70, Рабочая камера представляет собой сварную коробчатую конструкцию, в передней стенке которой имеется дверь 7 с иллюминатором. В рабочей камере устанавливается сменная технолопческая оснастка 72 (одноместная или многоместная), позволяющая осуществлять вращение деталей вокруг горизонтальной цлц вертикальной осей, Вращение на деталь передается с помощью вакуумного ввода (ца чертеже не показан). Откачка рабочей камеры до заданного давления производится вакуумной системой. В боковых стенках рабочей камеры имеются боковые двери 46. Боковые боксы соединены между собой каналом а, изолированным от рабочей камеры. На верхней части рабочей камеры черо; вакуумное уплотцеии смонтирован узел электронной пушки, Откдчкд пушки производится ндкуумцо системой, Во время смены катодцого узла 73 пушки его полость отделяется от рабочей камеры клапаном 74. К верхней части камеры пушки крепится мацшулятор 75 с тремя степенями свободы лля передвижения катодцого узла. Передача движения от манипулятора к католцому узлу пушки осуществляется через металлические гибкие сильфоцы, отделяющие вакуумную полость пушки от наружцои атмосферы.Катодцый узел црелцазндчается для созлация мощцого сфокусированного электронного луча. Лцоднь узел 76 служит для создания ускоряющего потока электронов и формирования луча ца выходе из анодного отверстия,10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65Фокусирующий и моделирующий электрод 77 формирует луч, а в случае подачи отрицательного заряда - запирает его. Электромагнитная фокусирующая система 78 фокусирует элсктроццыи луч, а электромагнитная откло. няющая система 79 отклоняет луч и направляет его на свариваемые кромки деталей.Работа устройства заключается в следующем.Детали из боковых боксов через двери ус. танавлцвают на приспособление рабочей камеры, которая отделена от электронной пуш. ки и заполнена защитной контролируемой средой, Двери закрывают и производят откачку рабочей камеры до заданного разрежения. После этого рабочая камера сообщается с камерой пушки. По достижении заданного давления автоматически включается питание пушки и производится сварка. После окончания цикла сварки рабочая камера отделяется от камеры пушки, заполняется контролируемой защитной средой и детали извлекаются в боковые боксы.Устройство для аргоно-дуговой сварки (фиг. 7) предназначено для вакуумноплотно; го соединения деталей и узлов прибора. Устройство состоит из рабочей камеры 68, двух боковых боксов Л и станины 23. В рабочей камере имеется карусель 80 со шпинделями 81, следящий механизм 82 с электродвигателем 83 и электрододержателем 84.Детали через боковые двери 46 устанавливают в шпиндели карусели, после чего откачивают рабочую камеру до заданного давления. Затем рабочую камеру заполняют аргоном избыточного давления и включают сварку. В процессе сварки автоматически поддерживается заранее выбранный дуговой промежуток между электродом 85 и кромками свариваемых деталей, Изменение дугового промежутка, возникающее из-за неточности изготовления свариваемых деталей, приводит к изменению электрического сопротивления в зазоре, которое регистрируется электрическим блоком (ца чертеже не показан). При изменении зазора включается электродвигатель, который через систему рычагов следящего механизма, совершающего плоскопараллсльцое перемещение, приближает или отводит от детали электрод, сохраняя тем самым постоянный дуговой промежуток, Наличие следящего механизма, совершающего плоско- параллельное перемещение, позволяет поддерживать заданный дуговой промежуток под любым углом к оси вращения детали.В коцце процесса сварки электрический блок осуществляет плавное гашение дуги, что исключает выплеск металла из сварного шва.По окончании цикла сварки одного изделия карусель автоматически поворачивается ц осуществлястся сварка следующего изделия,Устройство для обжатця катодов (фцг. 8)предназначено для уплотнения губки сц 1 гп рцроваццых катодов и получения се задаццой геометрии. Устройство состоит из герметцзц 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 рованного скафандра 22, узла 86 привода,узла д 7 прокатки и станины 28, В скафандреимеются два отверстия для резиновых перчаток, иллюминатор 50, светильник 55. Черезрезиновое уциотцсцце к флаццу скафандракрепится узел привода, который представляетсобоц вакуумцьш ввод вращения, передающий движение через конические шестерни 88на узел прокатки.Узел прокатки выполнен в виде жесткой,замкнутой рамы 89, установленной на двухколонках 90 на столе скафандра. Б среднейчасти рамы неподвижно укреплена сменнаяплоская плашка 91. Подвижная плоскаяплашка 92 при вращении винта 98 перемещается вдоль рамы по направляющим, Подвижная плашка имеет заходцую, рабочую икалибровочную части. Ширина плашек соответствует размеру обжимасмого катода. Вторцах рамы установлены микроцереключатели 94, обеспечивающие реверс двигателя привода в левом крайнем положении плашки 92и останов его в правом крайнем положении.Катод устанавливают вертикально междузаходноц частью цлашек. Нажимом кнопкивключается вращение винта 93 ц плашка 92,перемещаясь, обжимает катод. Катод, вращаясь вокруг своей оси, проходит всю длинуплашки 91 ц снимается оператором, Плашка92, дойдя до микропереключателя, переключает двигатель на реверс и возвращается висходное правое полокение. Привод автоматически выключается,Устройство для актцвировки ц проверкиэмиссионных свойств катодных узлов (фцг. 9)предназначено для обезгажцвацця, актцвцровки и проверки эмиссионных характеристиккатодов. Устройство состоит из загрузочнойкамеры 32, промежуточной камеры 95, рабочей камеры 96 и вакуумной системы 97. Загрузочная камера имеет два боковых бокса 88с дверями. В боковых боксах предусмотреныпатрубки 98 с отверстиями для резццовыхперчаток. В камере 82 имеются направляющие 99, в которые устанавливают кассеты 100с катодными узлами 101. Снизу в камеру 95введен рычаг 102 механизма 1 Я перемещения, а сверху - вакуумная заслоцка 104,Рабочая камера 96 имеет наружную и внутреннюю стенки, пространство между которыми откачцвается, В полости 6 рабочей каме.ры 96 смонтированы ленточные нагреватели105, контакты 106 подачи тока накала, цстлеобразцые аноды 107 для проверки эмиссии црычаг (02 механизма 109 псремецицця кассеты. В полость о введена заслонив 1/О дляразделения цолостсй рабочей кампры.Работа устройства состоит в слсдук 1 щсм,Загрузка катодцых узлов и кастету, устцовлеццую ца направляящцх ц камс р .Л,заполненной .контролируемой цапицой ср.доц, Осуциствлястся оцсрц гором чс)ил двери.Затем камера откачшиется до задаццго дацлсцця, Лвтоматц госки открывается заслонка104 ц камера сообщастся с полостью в. Послеустановления требуемого давления в полости в открывается заслонка 110 и кассета рычагами 102 последовательно работающих шагаощих механизмов перемещается в полость б рабочей камеры. Заслонки закрываются и п 1 нн)вводится откачка полости 6 до заданного рабочего давлс 31351. С помощью контактов 106 на катоды подастся питаш 3 с для их активировкп, а нагреватели 105 производят нагрев и; чд 3 ых узлов для обезгажнвания, По окончании процесса обезгаживания и активировки механизм 108 подводит к катодам петле- образные аноды, находящиеся под высоким наирикснием; производится замер эмиссионных свойств катода. Затем кассета транспортнруетс 51 33 полос 3 б и камеру, осле закры" тия заслонок камера заполняется контролируемой защитной средой и катодные узлы вынимаются из кассеты и переда 1 отся оператором на следующую операцно,Устройство для бесконтактной центровки и сборки катодного узла с анодным (фиг. 10) предназначено для точной установки и вварки катодпого узла в анодный узел, Устройство состоит из рабочей камеры б 8, двух боковых боксов 38, оптической системы 111 с проекторами 112, манипулятора 1 И с вакуумными вводами движения.В рабочей камере на рычаге манипулятора укреплена суппортная группа 114. В эту ке камеру введена вертикально перемещаощаяся штанга с высокочастотным концентратором 115, по оси которой расположен охлакдаемый водой коаксиал для подвода энергии от высокочастотного генератора к концентратору, Штанга с концентратором имеет две степени свободы , что обеспечивает центрирование концентратора относительно места разогрева.Установка концентратора осуществляется снаружи камеры через вакуумные вводы движения.На нижней стенке рабочей камеры закреплена суппортная группа 116 анодного узла, объектив и осветитель оптической системы центрирования анодного узла, прпчем осве.титель вынесен из камеры и освещает анод сн.РСЗ ИЛЛОМИПатОР (На ЧСРТСже НС НОКаэаПО).Нс 3 боковьх стс 3 ках рабосс 3 кал 3 ср 11 имеются двери, через которые оператор загружает катодиый и анодный узлы. На этих же стенках укреплены элементы оптической системы, предназначенные для центрирования катод.ного узла, причем соответствующие осветители вынесены из камеры. На передней стснкс камеры укреплен окуляр оптической системы цснтрировашя анодного узла и иллюминатор для наблюдения за выполнением операции, Зсе перемещения, за исклочснисм вертикаль.ного перемещения штанги с коинсптратором, осуществляются вручнуо.В патрон, закрепленный па всрхнсй супиортной группе 1 И, зажимастся катодныи узел, ;ятем суппортну 1 о группу с помощью ман - пулпора опускают до нижнсго упора и в этом положении по оптической системе сос 2тоящей из двух проекторов, объективы которых просматривают активную часть катода в двух взаимно перпендикулярных направлепиях, производят совмещение активной части 5 катода с осями оптических систем проекторов. Это совмещение так же производится с помощью машшулятора 1 И, имеющего пять степеней свободы (две поступательные в горизонтальной плоскости, две вращательные 10 относительно горизонтальных осей и однапоступательная вдоль вертикальной оси).Для облегчения операции центрированиякатодного узла оптические системы проекторов снабжены призмами двойного изображс ния, что своди опсрац)но цс 13 ги 1 саии 53 кпростому совмсщсншо двух изоГракони 1, 1 осле того как катод отцснрирован, со поднимают вверх. В цашовое гнездо 17, установленное на шжнсй суппортной группе, име ощсй три степени свободы (две поступательные в горизонтальной плоскости и одна вращательная относительно горизонтальной оси), устанавливается и закрепляется анодный узел. Поворотом на 180 (от упора до упора) 25 анодный узел опрокидывается вниз открытойчастьо, которая таким образом становится доступной для наблюдения с помощью окулярной оптической системы, предназначенной для центрирования анодного отверстия. Сов мещение анодного отверстия с осью оптической системы, также снабженной призмой двойного изображения, осуществляется путем перемещения анодного узла и горизонтально 1 плоскости. Положение анодпого узла по всрЗ 5 тикали определяется его установкой по упорув цанговом гнезде.Отцентрированный анодный узел возвращается в положение, при котором его открытая часть обращена в сторону поднятого ка тодного узла. Нижняя суппортная группа на.страивается таким образом, чтобы ось поворота ее совпадала с центром анодного блока после его центрирования, В результате центр анодного блока и после поворота находится 45 на оси оптической системы. Так как оптнчс.ские системы центрирования катодного и анодного узлов настроены таким образом, чтоНСРСССКс)ЮСЯ и ОДНОН ТОЧКС, ТО НРИопускании катодного узла в нижнее положе.50 ние центр активной части катодного узла совмещается с цсптрол центрального отверстия анодпого узла. Послс совмещспня катодного и анодпого узлов закрывают двери, производят откачку камеры до заданного давления, 55 включают высокочастотный концентратор ипроизводят пварку катодпого узла. После ос.тыванпя прпоора рабочая камера отделяется от вакуумной системы, наполняется контроли- русл)ой защитной средой и оператор через60 двери извлекает изделие.Устройство ",1 л 51 бесштснгельной откачки игерметизации прнбора (3 нг. 11) прсдназначено для откачки и герметизации приборов в горячем состоянии. Устройство состоит из 65 загрузочноп камеры 82, промежуточной каме.куумной обработки деталец и узлов электронного прибора и его сборки в контролируемойзащитной среде, в едином техцологтю 1 тескохюкомплексе, с бесштецгельной откачкой прцбо.ра, герметтюзатттеюю прибора в горячем состоя.ццц в условиях глубокого вакуума и приме.нецием глубоковакуумцых безмасляцыхсредств откачки, отличающаяся тем, что, с це 10 лыо повьццеция надежности ц долговечностиэлектронных приборов, например магцетро.цов, путем проведения всех технологическихопераций в затцитцой контролируемой среде,установка состоит цз линии обработки и сбор 15 ки катодного узла, содержащей терметичцыс,последовательно вакуумноплотцо соединенные устройства для ультразвуковой очистки,вакуумной сушки, вакуумного отжцга, длянанесения губки и ее обработки, для введения20 активного материала, для сборки катодцогоузла, для проверки на герметичность, дляактцвировкц и проверки эмиссионных своцствкатодцых узлов; лицин обработки ц сборкттацодного узла, содержащей герметичные пос 25 ледовательно вакуулттюоплотююо соедтютюстюттю,тсустройства для ультразвуковой очистки, влкуумной сушки, вакуумного отжцга, для сборки ацодного узла, для проверки ца герхтеттю тность, для обезгакивация ацодцого узла цЗ 0 линии окончательцой сборки изделия, содержащей герметичные, последовательцо, влкуумноплотно соединенные устройства,члябесконтактной центровки и сборки катодцогоузла с анодным ц устройства для бесштсцЗ 5 гельной откачки и герметизйтюююю прибора, цэтц линии вакуумцоплотцо соедтпюецы междусобой.2. Установка по п. , отлтитаютцаяся тс,что, с цельюо проведения ультразвуковой об 40 работки в условиях контролируемой среды,устройство для ультразвуковоц очистки ,чета.лей содержит магнитострикииоццые преобрл.зователц с вакуулюттьтми уплотцеццямц,3, Установка по пп.- 2, птличаюиюпягя45 тем, что, с цельто ооеспечецця целостностирезтюютотютюх пертаток, устройство для сборки цмотттакд содержит герметтютююо уплоттюястю юсвттеттттютте колплкц с плтрубклмц дчя отклчкцперчаток,50 4. Установка по пц.- -3, лтлтфчптщпютем, что, с целью созчацця рлтютюомгрююосю рлз.вствлеццой поверхности активной части катода. устройство для сццтерцровация катодовтяжелыми металлическими пороттюттдтютю спогоЫ бом катафореза имеет мсхатттюзм ттерлюетютюювююция суспецзии, сочертсдтюютююю тюрлщлююцуюсяванну с вакчумттю,тм вводом врлтцецця и ци.лююттдртютестюююю ттолюттт лцод с вююлтттттюлттю сютцрлльцымц лоплстямц.60 5. Установка по пп,- 4, отличалиастем, что, с целью точной юстцропкц клтодлэлектронной пуцюки, устройство для элсктоютттол 71 тсв(51 сллркют годерю(юют люЗттилчзяор стрел.я степстюялююю свободы ц ллкуумцоцлотб 5 цымц вподдмц лвиксцця. Предмет изобретения, Мехдюттюзююроиаююююдтт поточная установка для изготовления электронных приборов, ры 96, рабочей камеры 96 и вакуумной системы 97.Загрузочная камера имеет два боковыхбоксас дверями 46. В боковых боксахпредусмотрены патрубки 98 с отверстиямидля резиновых перчаток, В камере иметотсянаправляющие 99, в которые устацавлцваюоткасссту 100 с изделиями 118. Снизу в камерувведен рычаг 102 механизма перемещения 103,а сверху - вакуумная заслонка 104.Рабочая камера имеет наружную и внут.рецшою стенки, пространство между которыми откачивается, В полости б рабочей камеры смонтированы ленточные нагреватели 105,контакты 106 подачи тока накала, рычагмеханизма перемещения 109 и механизм герметизации изделия. Механизм герметизацииизделия имеет две штанги с вакуумноплотными подвижными уплотнениями в двух стенках рабочей камеры. На штангах укрепленыдве пары пуацсонов с рабочими поверхностями, расположенными в двух пересекающихсяплоскостях.В полость в введеца заслонка 110 для раз.деления полостей камер рабочец камеры ирычаг 102 механизма перемещения для передачи кассеты из промекуточцой камеры вполость б,Работа устройства состоит в следующем.Загрузка изделий в кассету 100 осуществляется оператором через двери 46. Камера 33откачивается до заданного давления. Автоматически открывается заслонка 104 и камерасообщается с полостью в. После установлеютттятребуемого давления открывается заслонкаПО и кассета рычагами ттоследовательно работающих шагающих механизмов перемешается в полость б рабочей камеры, Заслонкизакрываются и производится откачка полости б до заданного раоочего давления, С помощью контактов 106 ца изделия подаетсяэлектрическое питание. Нагрев изделий дляобезгаживания осуществляется нагревателями 105. По окоцчдции процесса обезгажцвация и откачки кассета с изделиями перемещается в сторону камеры загрузки и, выходяиз зоцьт нагрева, периодически останавливается у мехацизма герметизации тюздслтюя,которьюй поочередно путем сблттжстюююя пуансонов осуществляет ттрмсттюздюютюто тюздслттй. Поскольку герметизация прибора производитсянепосредственно после выхода его из зоютьтнагрева, изделия в момент герметизации остаются горячими, что снижает давление в изделии при его остывации. По окончании герметизации всех изделий, находящихся в кассете,механизмы перемещают кассету в камеру 32.После закрытия заслонок камера заполняется контролируемой заюттитютой средой ц изделия вынимаются цз кассеты ц передаютсяоператором в вттходттотю шлюоз. предназначенная для техно-химической и ва7193 Фиг 1 Ноиробление гборли 6, Установка по пп. 1 - 5, отличающаяся тем, что, с цсльзо поддержания заданного лугового промежутка пол любым углом к оси ззращенззя детали, устройство для аргоцо-дуговой сварки имеет следящий механизм, содеркащззй электролодержатель с плоскопараллельцым перемещением от одного электродвигателя.7. Установка по пп.- 6, отличающаяся тем, что устройство для обжатия катодов содержит две плашки с плоскими рабочими поверхностями, одна из которых имеет заходную, рабочую и калибровочную части.8, Установка по пп. 1 - 7, отличающаяся тем, что, с целью проведения процессов обезгажцвания, актнвировки и проверки эмиссионных свойств катодов до их сборки с анолным узлом, устройство для активцровки и проверки эмиссионных свойств катодных узлов содержит механизм с петлеобразными, пзолированцыми лруг от друга анодами, блок подачи напряжения на аноды и шагающий механизм перемещения катодных узлов с вакуумноплотньзм подвижным уплотнением в двух стенках устройства.1 9, Установка по пп. 1 - 8, отличающаясятем, что, с целью исключения мсхаццческих поззреклеций ламелеи ацодцого блока и активной части катода и обеспечения точной 5 центровки, устройство для бесконтактнойцентровки и сборки катодцого узла с анодным солержит оптическую систему и маципу лятор с пятью степенями своболы и вакуумноплотцыми вводами движения.10 10. Установка по пп. 1 - 9, отличающаясятем, что устройство для бесштенгельцой откачки ц герметизации прибора имеет механизм герметизации, содержащий лве пары пуацсоцов с рабочими поверхностями, распо ложецными в двух пересекающихся плоскостях и закрепленными на двух штангах с вакуумцоплотными вводами движения в двух стенках устройства.11. Установка по пп, 1 - 10, отличающаяся 20 тем, что устройство лля высокочастотного вакуумного отжига имеет комбинированный механизм загрузки с жесткой кинематической связью и единым приводом, состоящий пз шарнирного четырехзвенника, кулачково-ры чажной системы и двухканавочного кулачка.