Патенты с меткой «171930»

Номер патента: 171930

Опубликовано: 01.01.1965

Авторы: Аникин, Векшинский, Гаврилов, Живописцев, Злагкис, Ивановский, Комиссарчик, Назаров, Пипко, Плисковский, Пузырийский, Хоц, Юрков

МПК: H01J 9/48

Метки: 171930

...производится вакуумной системой. В боковых стенках рабочей камеры имеются боковые двери 46. Боковые боксы соединены между собой каналом а, изолированным от рабочей камеры. На верхней части рабочей камеры черо; вакуумное уплотцеии смонтирован узел электронной пушки, Откдчкд пушки производится ндкуумцо системой, Во время смены катодцого узла 73 пушки его полость отделяется от рабочей камеры клапаном 74. К верхней части камеры пушки крепится мацшулятор 75 с тремя степенями свободы лля передвижения катодцого узла. Передача движения от манипулятора к католцому узлу пушки осуществляется через металлические гибкие сильфоцы, отделяющие вакуумную полость пушки от наружцои атмосферы.Катодцый узел црелцазндчается для созлация мощцого...