Загрузочное устройство шиберного типа

СОЮЗ СОВЕтСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 6 К 51 02 АНИЕ ИЭОБРЕТЕ Я,ИДЕТЕЛЬСТВУ 19 ЬР Ю ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Авторское свидетельство СССР В 966373, кл. 1 16 К 3/18, 1980.Патент СИА 9 4044993, кл. 251-15877.Авторское свидетельство СССР М 1066851, кл, Р 16 К 3/18, 1982, (54) ЗАГРУЗОЧНОЕ УСТРОЙСТВО ШИБЕРНОГО ТИНА(57) Изобретение относится к трубопроводной арматуре и можут быть использовано в высоковакуумцой аппаратуре. Цель изобретения - повышение производительности за счет создания условий раздельного получения вакуЯ 0127517 ума в переходах соединений: шлюзовый патрубок - корпус устройства икорпус устройства - технологическаякамера, что достигается благодаря использованию двух автономных односторонних затворов 30 и 31. Размещениеопорно-присоединительных вилок 25 смеханизмами перемещения затворов 30,31 и их внешних патрубков на одномсъемном заднем фланце 24 по диагонали позволяет сократить габаритныеразмеры устройства, уменьшить металлоемкость, упростить условия изготовления и снизить трудоемкость изготовления и обслуживания, улучшитьвнешний вид и условия обслуживанияпо требованиям техники безопасности.Перенос зацепа 23 корпуса, опорногоролика 46 и зацепа 45 ползуна затво 1275176127517 б Составитель И Техред И.Хода ераэская Тупи Корректор А. Зимокосоведактор 9 Тирах 880ВНИИПИ Государственного комитета СССпо делам изобретений и открытий3035 Москва, Ж, Раушская на 6., д аказ б 7 дписн Проект оизводственно-полиграйическое предприятие, г. Ужгор1275176 ра на задний торец ползуна 39 и задний съемный Фланец изменяет порядокработы затвора 30 - закрывает его вкрайнем заднем положении, освобождаяпри этом соосно расположенные передИзобретение относится к арматуростроению и может быть использовано в устройствах высоковакуумной аппаратуры.Цель изобретения - повышение производительности за счет раздельного получения вакуума в переходах соеди" нений.На Фиг. 1 показано устройство, общий вид; на Фиг. 2 - разрез А-А на Фиг1; на Фиг. 3 - разрез Б-Б нг фиг, 2 (загрузка подложкодержателей); на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг. 2 (перегрузка подложкодержателей); на Фиг. 5 - разрез В-В на фиг. 1 (кинематическая схема механизмов затвора запирания выходного патрубка); на Фиг. 6 - вид Г на фиг. 1 (расположение внешних цилиндрических патрубков с закрепленными на них электроприводами на съемном заднем герметизирующем Фланце корпу. са ); на Фиг . 7 - разрез Д-Д на фиг. 4 (схема откачки газов из шлюзовогопатрика); на Фиг. 8 - разрез Д-Д на Фиг. 4 (схема продувкигазов через шлюзовой патрубок).Устройство содержит коробчатый корпус 1 прямоугольного сечения, образованный двумя боковыми 2, верхней 3 и нижней 4 стенками.На верхней стенке 3 выполнены два параллельных патрубка - задний загрузочный 5 с герметизируемыми фланцами и элементами герметизации, наружным 6 и внутренним 7, и дв,мя радиальными отверстиями, большим 8 вакуумирования и малым 9 продувки инертными газами, и передний 1 О с присоедини- тельным Ьланцем 11.На нижней стенке 4 выполнен присоединительный патрубок 12 соосно с передним патрубком 10 верхней стенки 3. Он имеет внутренний герметиэиние патрубки для сквозного перемещения механизмов манипулятора-перегрузчика 109 и создает резервную позицию перегрузки на каретке запорногозатвора, 3 з.п. Ф-лы, 8 ил. 1рующий фланец 13 с элементом герметизации и наружный присоединительный 14,На одной из боковых стенок 2 выполнен Фланец 15, к которому присоединено средство 16 вакуумированиякорпуса 1 (Фиг, 1-5),На внутренней стороне боковыхстенок 2 корпуса 1 в зеркальном отоб 10 ражении закреплены две направляющие17, каждаяиз которых имеет параллельные взаимно и внутреннему фланцу 7 загрузочного патрубка 5 два продольных, верхний 18 и нижний 19, па 15 за с двумя опорными поверхностямикаждый и, соответственно, по верхней20 и нижней 21 опорной поверхности,которые расположены пе 1.пекдикулярнофланцу 7 патрубка 5 (Фиг8).20 На передней стенке корпуса 1 закреплен упорный вкладыш 22 с зацепом 23, опорная плоскость которогорасположена параллельно оси патруб,ков 1 О и 12 (фиг. 1, 3 и 4).25 В задней части корпус 1 закрытгерметиэирующим фланцем 24, расположенным перпендикулярно направляющим17 боковых стенок 2 (фиг. 1-6).На внутренней поверхности фланЗ 0 ца 24 выполнены две опорно-присоединительные вилки 25, на наружной, соосно с вилками 25 - два патрубка 26с резьбой 27 на концах (Фиг. 1, 2 и 5).Вилки 25 и натрубки 26 расположе"иы по диагонали Фланца 24, перпенди 35кулярно к его плоскости, На внутрен-ней поверхности Фланца 24 закрепленвторой упорный вкладьпп 28 с зацепом29, опорная плоскость которого параллельна плоскости вкладыша 22 иФланца 24 (фиг. 1-6).Внутри корпусаустановлены дваавтономных затвора, перегрузочный30 и герметизирующий 31.3 12751Каретка 32 перегрузочного затвора 30 соединена посредством двух го - ризонтальных осей 33 и четырех роликов 34, закрепленных на их концах, с верхними продольными пазами 18 и четырех вертикальных осей 35 с четырьмя роликами 36 на них - с верхними опорными плоскостями 20 направляющих 17 (фиг. 2 и 8).К каретке 32 посредством четырех 1 О серег 37, закрепленных вращательноподвижно на осях 33 каретки 32 и осях 38, присоединен ползун 39, на наружной стороне которого закреплен клапан 40 с загрузочным гнездом 41 15 и держателем 42 подложкодержателей 43,На заднем торце каретки 32 смонтирован упор 44, на заднем торце ползуна 39 - зацеп 45 и опорный ролик 46, закрепленный на оси 47 проушины 48 (фиг. 1, 3 и 4).В центре каретки 32 вмонтирован регулируемый вертикальный упор 49 положения ползуна 39 в открытом положении затвора 30 (фиг, 8).25На переднем торце каретки 32 имеется стойка 50 с горизонтальным упором 51, ограничивающим смещение ползуна 39 в крайнее переднее положение, (фиг. 3).30Клапан 40, полэун 39 и каретка 32 расположены параллельно внутреннему герметиэируемому фланцу 7 загрузочного патрубка 5 корпуса 1 (фиг. 3).Каретка 32 и полэун 39 соединены между собой двумя растянутыми пружи 35 нами 52 (фиг, 3).На заднем торце каретки 32 имеется проушина 53, ось 54 которой вращательно-подвижно соединена с меха 40 низмом перемещения затвора 30, включающим серьгу 55, Г-образный двуплечий рычаг 56, соединенный осью с верхней опорно-присоединительной вилкой 25 фланца 24, дугообразную серь-,45 гу 57, шток 58 с направляющими опорными роликами 59 расположенными в направляющих пазах верхней вилки 25, и ходовым винтом 60, соединенныи и взаимодействующим с маточной гайкой50 61 редуктора 62 электропривода 63 (фиг. 1 и 2).Основание штока 58 соединено с торцом патрубка 26 сильфоном 64, герметизирувщим корпус 1 (фиг. 2). 55Каретка 65 герметизирувщего затвора 3 соединена посредством двух горизонтальных осей ЬЬ и четырех ро 76 4ликов 67, закрепленных ня их концах, с нижними продольными пазами 19 и четырех вертикальных осей 68 с четырьмя роликами 69 на них - с нижними опорными поверхностями 21 направляющих 17 (фиг. 8).К каретке 65 посредством четырех. серег 70, закрепленных вращятельноподвижно на осях 66 и осях 71, со стороны присоединительного патрубка 12 присоединен полэун 72. На противоположной стороне каретки 65, соосно с передним патрубком 10 верхней стенки 3 корпуса 1 в крайчем переднем пОложении затвора 31, закреплен второй держатель 42 подпожкодержателей 43 (фиг. 1, 3, 4 и 5).К полэуну 72 прикреплен герметиэирувщий клапан 73, расположенный параллельно,герметизирувщему сланцу 13 патрубка 12 (фиг. 1, 3 и 8),На переднем торце каретки 65 смонтирован регулируемый упор 74, на переднем торце ползуна 72 - зацеп 75 и опорный ролик 76, закрепленный на оси 77 проушины 78 (фиг. 1, 3 и 4).На заднем торце каретки 65 имеется стойка 79 с горизонтальным упором 80, ограничивающим смещение полэуна 72 в крайнее заднее положение, и горизонтальная проушина 81.Каретка 65 соединена с ползуном 72 двумя растянутыии пружинами 82 (фиг. 1, 3, 4 и 5 ).Горизонтальная проушина 81 каретки 65 соединена осью вращательно-подвижно: с механизмом перемещения затвора 31, включающим серьгу 83, Г-образный двуплечий рычаг 84, соединенный осью с нижней опорно-присоедини- .тельной вилкой 25 -фланца 24, дугообразную серьгу 85, шток 86 с направляющими опорными роликами 87, расположенныии в направляющих пазах нижней вилки 25, и ходовым винтом 88, соединенным и взаимодействующим с маточной гайкой 89 редуктора 90 злектропривода 91.Основание штока 86 соедгнено с торцом нижнего патрубка 26 сильфоном 92, гериетизирующим корпус 1.Наружный Аланец 6 заднего загрузочного патрубка 5 верхней стенки 3 корпуса 1 имеет нарущый герметизирувщий шлюзовый клапан 93 с механизиом запирания, включающим двуплечий Г-образный рычаг 94, вращательноподвижно закрепленный посредствомоси 95 и проушин 96 на стенке 3 корпуса 1 (,фиг. 1, 3 и 4).К одному плечу 97 рычага 94 шарнирно-подвижно присоединен клапан 93,а его другое плечо 98 посредствомшатуна 99 соединено осью 100 с проушиной 101 штока 102, имеющего дваопорно-направляющих ролика 103, расположенные в направляющих пазах 104корпуса электропривода 105, и ходовой винт 106, соединенный с маточнойгайкой электропривода 105.Электропривод 105 закреплен накидной гайкой 107 на кронштейне 108заднего герметизирующего Фланца 24.К присоединительному сланцу 11переднего патрубка 10, соосно с ним,герметично присоединен автоматический манипулятор-перегрузчик 109 соштангой 110, механизмом 111 захвата.и тремя захватами 112,К патрубку большего радиальногоотверстия 8 патрубка 5 присоединенысредства 113 вакуумирования (Аи:г7и 8). 1 О 80 Своим присоединительным сланцем 14 патрубка 12 нижней стенки 4 корпуса 1 устройство герметично присоединено к вакуумной технологической камере 114, имеющей многопозиционное транспортное технологическое устройство 115 с держателями 42 подложкодержателей 43 (Фиг. 1). На подложкодержателях 43 закреплены подложки 116 З 5Электроприводы 63 и 91 с электродвигателями 117 и 118 и коммутаторами 119 и 120 закреплены на патрубках 26 фланцев 24 быстросъемными накидными гайками 12 (Фиг. 2, 5 и 6).Механизмы перемещения и запираниязатворов 30 и 31 с их электроприводами 63 и 91, механизм запирания шлюзового клапана 93 с электроприводом.10545 и механизмы перемещения штанги 110 и захватов 112 манипулятора-перегрузчика 109 с их электроприводами имеют структуру гибкой кинематической связи и работают автономно от блока управления, снабженного микропроцессо 50 ром или электронно-вычислительной машиной (ЭВМ), которая выдает сигналы на включение и выключение соответствующих электродвигателей по заданной в нее программе.Сигналы обратной связи о выполнении механизмами команд ЭВИ выдают в ЭВМ коммутаторы 119 и 120 и другие,которыми снабжен каждый электропривод (Аиг. 1, 2 и 5).Устройство работает следующим образом.Механизмы перемещения и закрывания перегрузочного затвора 30 работают следующим образом (фиг. 1, 2,3, 4 и 8), После включения питанияэлектродвигателя 117 электропривода63 вращение якоря двигателя 117 передается посредством редуктора 62 маточной гайке 61, которая, вращаясьвокруг своей оси, ввинчивает в себяходовой винт 60 (фиг, 1, 2 и 5).Ходовой винт 60 со штоком 58 инаправляющими опорными роликами 59,закрепленными на торцах оси, соединяющей шток 59 с дугообразной серьгой 57, совершает прямолинейное поступательное перемещение. При этомролики 59 перемещаются перекатыванием по направляющим пазам опорно-присоединительной вилки 25 и исключаютвозможность вращательных колебанийходового винта 60, штока 58 и сильфона 64,Задний конец дугообразной серьги57 совершает прямолинейные перемещения вместе со штоком 58, а передний -вращательные перемещения вокруг осивращения Г-образного двуплечего рычага 56, вращая при этом рычаг 56 ивместе с ним задний конец серьги 55.Передний конец серьги 55 вместес осью 54, проушиной 53, кареткой 32и смонтированным на ней затвором 30совершает прямолинейные перемещениязатвора 30 и всех деталей, входящихв его сбстав: две горизонтальные оси33 с четырьмя роликами 34, четыревертикальные оси 35 с роликами 36,четыре серьги 37 и две оси 38 с ползунами 39, клапан 40 с гнездом 41 идержателем 42, подложкодержатель 43с подложкой 116, зацеп 45 и опорныйролик 46 ползуна 39, упоры 44, 49и 51 каретки, две пружины 52, прижимающие ползун 39 к каретке 32. Вертикальный упор 49 удерживает ползун 39 и клапан 40 на заданном расстоянии от дшанца 7 и предотвращает возможность произвольного, неконтролируемого смещения его вперед.При этом четыре горизонтальных ролика 34 перемещаются по верхним продольным лазам 18, а четыре верти 1275176кальных - по верхним опорным поверхностям 20 направляющих 17,В таком положении происходит перемещение затвора 30 до момента сопри 5 косновения опорных роликов 59 штока 58 с задними опорными поверхностями пазов опорно-присоединительной вилки 25.ОКоммутатор 119 выдает сигнал в блокуправления, по которому электродвигатель 117 выключается. Затвор 30 останавливается в крайнем переднем положении. При этом происходит15 совмещение .осей манипулятора 109 и клапана 40 с загрузочным гнездом 41 и держателя 42 с подложкодержателем 43.Подачей реверсного питания на электродвигатель 117 осуществляется20 движение всех подвижных деталей механизмов в обратном направлении и возвратно-поступательное перемещение затвора 30 в сторону заднего загрузочного патрубка 5 вдоль верхней стенки 3 корпусаПервым касается опорной поверхностиупорного вкладыша 28 опорный ролик 46 ползуна 39. Его зацеп 45 в этот момент находится ниже зацепа,29 вкладыша 28.Каретка 32 продолжает перемещение до момента касания упора 44 о поверхность вкладыша 28, подкатываясь под ползун 39.Серьги 37 поворачиваются на осях 33 и 38 до вертикального положения.11 олзун 39 и клапан 40 перемещаются в сторону фланца 7 патрубка 5. Клапан 40 своей герметиэирующей поверхностью деформирует элемент герметизации фланца 7 и образует с ним герметичное соединение, через которое исключена воэможность проникновения газов в корпус 1. При этом ро 45 лик 46, вращаясь на оси 47 проушины 48 перекатыванием по опорной поверхности вкладыша 28, поднимается вверх вместе с ползуном 39, а зацеп 45 входит в зацепление с зацепом 29 (фиг.Э)ОПолзун 39 упирается задним торцом в горизонтальный упор 51 стойки 50 каретки 32. Пружины 52 растягиваются. Коммутатор 119 выдает сигнал о положейии затвора 30 "Закрыто", и элект-родвигатель 117 выключается.Такое положение механизмов соответствует крайнему заднему положению затвора 30, при котором совмещены оси клапана 40 загрузочного гнезда 4 и держателя 42 подложкодержателей 43 с осью фланца 7 загрузочного патрубка 5 (фиг. 4).Механизм перемещения и закрывания затвора Э работает так же, как и механизм затвора 30, с той разницей, что занирание затвора 31 происходит не в крайнем заднем положении его, а в крайнем переднем (фиг. , 3, 4, 5 и 8).После включения питания электродвигателя 118 электропривода 91 вращения якоря двигателя 118 передается посредством червячного редуктора 90 маточной гайке 89, которая, вращаясь вокруг своей оси, ввинчивает ходовой вивт 88.Ходовой винт 88 со штоком 86 иопорными направляющими роликами 87,закрепленными на торцах оси, соединяющей шток 86 с дугообразной серьгой 85, совершает прямолинейное поступательное перемещение,При этом ролики 87 перемещаютсяперекатыванием по направляющим паэамнижней опорно-присоединительной вилки 25 (фнг. 5).Задний конец серьги 85 совершает прямолинейные перемещения вместе со штоком 86, а передний - вращательные вокруг оси вращения Г-образного двуплечего рычага 84,. вращая при этом рычаг 84 и вместе с ним задний конец серьги 83 (фиг. 5).Передний конец серьги 83 вместе с проушиной 81, кареткой 65 и сионтированным на ней затвором 31 совер-шает прямолинейные перемещения затвора 31 и всех деталей, входящих в его состав: держателя 42 с подложкодержателем 43 и подложкой 116, горизонтальных осей 66 с четырьмя роликами 67, четырех вертикальных осей 68 с роликами 69, четырех серег 70 и двух осей 7 с ползуном 72, клапана .73, зацепа 75, опорного ролика 76, упоров 74 и 80 каретки 65, двух пружин 82, прижимаацих полэун 72 к каретке 65 (фиг. 1, 3, 4 и 5). При этом четыре горизонтальных ролика 67 перемещаются по нижним продольным лазам 19, а четыре вертикальных - по ниж-и ним опорным поверхностям 21 направляющих 7 (фиг, 8).В таком положении происходит леремещенйе затвора 31 до момента касания ролика 76 поверхности упорного вкладыша 22. Зацеп 75 в это время 5 находится над зацепом 23 и не касается его при перемещении затвора 31.Перемещение ползуна 72 и клапана 73: прекращается, а каретка 65 продолжает двигаться вперед, подкатываясь 10 под полэуны 72 (фиг. 1 и 3).Серьги 70 поворачиваются на осях 66 и 71 до вертикального положения, Нолзун 72 и клапан 73 смещаются в .сторону фланца 13 патрубка 12 (фиг. 4 15 и 3). Клапан 73 своей герметизирующей поверхностью деформирует элемент герметизации фланца 13 и образует с ним герметичное соединение, через ко" торое исключена воэможность проник новения газов из камеры 114 в корпус 1 и,обратно (фиг, 3 и 1).Ролик 76, вращаясь. на оси 77 проушины 78, опускается перекатыванием по опорной поверхности вкладыша 22 вниз вместе с ползуном 72, а зацеп 75 входит в зацепление с зацепом 23 (фиг. 4 и 3).Ползун 72 упирается задним торцом в горизонтальный упор 80 стойки 79 каретки 65. Пружины 82 растягиваются. Коммутатор 120 выдает сигнал о положении затвора 31 "Закрыто". Электродвигатель 118 выключается (фиг. 1, 3 и 5).Перемещение каретки 65 вперед происходит до момента касания роликами87 задних упорных поверхностей направляющих пазов нижней опорно-присоединительной вилки 25 и разворота40угла соединения рычага 84 с серьгой85 до 180 ф (фиг. 5).Такое положение механизмов соответствует крайнему переднему положению затвора 31, при котором совмещены ось клапана 73 с осями фланцев 14и 13 патрубка Ы, держателя 42, подложкодержателя 43, расположенных накаретке 65 затвора 31 и манипулятоЭ50ра"перегрузчика 109 (фиг. 3),Перемещение затвора 31 в крайнеезаднее положение осуществляется подачей реверсивного питания на электродвигатель 118 электропривода 91.Все подвижные детали электропривода 9 и механизма перемещения затвора 31 двигаются при этом в обратном направлении (фиг. 5). Каретка 65 выкатывается иэ-подползуна 72 в то время, как зацеп 75,находящийся в зацеплении с зацепом23, удерживает полэун 72 в крайнем;.переднем положении, Серьги 70 вращаются на осях бб и 71 и переводятсяв наклонное положение (фиг. 1, 3, 4и 5),11 од действием сил сжатия пружин82, взаимного давления скосов зацепов 75 и 23 и наклоняемих серег 70клапан 73 преодолевает сопротивлениеизбыточного давления газов Р внутрикорпуса 1, если оно есть, отсоединяется от фланца 13 патрубка 12 и отводится от него на расстояние, установленное вертикальным упором каретки 65 (фиг. 8, 3 и 4). В таком положении затвор 31 вместе с клапаном 73,держателем 42, подложкодержателем 43и подложкой 116 отводится механизмомперемещения в направлении фланца 24,освобождает пространство между патрубками 10 и 12 для выполнения операции перегрузки подложкодержателя 43из технологической камеры 114 манипулятором 109 (фиг. 4).Манипулятор-перегрузчик 109 покомандам ЭВМ выполняет операции возвратно-поступательного перемещенияштанги 110 с механизмом 111 захватови тремя захватами 112 вдоль оси патрубков 10 и 12, зажима подложкодержателей 43, удержания их в зажатомположении и освобождения их захватами 112.штанга 110 и механизм 111 захва" тов с .захватами 112 занимают одно из четырех фиксированных положений: исходное, крайнее заднее, при котором механизм 111 находится в патрубке 10 корпуса 1 и захваты 112 не касаются клапана 40 во время вывода его в положение перегрузки (фнг. 1, 3 и 4). Положение перегрузки клапана 40, при котором механизм 111 перемещен вперед настолько, что его захвати 112 во время сжатия захватывают своими выступами подложкодержатель 43, закрепленный на держателе 42 в эагру" зочном гнезде 41 клапана 40. Положение резервной перегрузки, при котором механизм 111 перемещен вперед настолько, что захваты 112 во.время сжатия захватывают подложкодержатель 43, закрепленный на держателе 42 каретки б 5 затвора 31. Крайнеепереднее, при котором механизм 111 находится в технологической камере 114, а его захваты 112 зажимают подложкодержатель 43, закрепленный на держателе 42 транспортно-технологического устройства 115 технологической камеры 114.Захваты 112 могут находиться в одном из двух Фиксированных положений: разжатом, при котором подложкодержатель 43 входит свободно между выступами захватов 112, и в сжатом, при котором выступы захватов 112 входят в кольцевой паз внешней стороны обечайки подложкодержателя 43 и с заданным усилием давят на его дно,Наружный герметиэирующий шлюзовый клапан 93 действием электропривода 105 и механизма запирания может занять одно из двух крайних положений: "Закрыто", при котором клапан 93 прижат герметизирующей поверхностью к фланцу б патрубка 5, деформирует элемент герметизации и образует с Фланцем 6 герметичное соединение, исключающее проникновение газовых компонентов из атмосферы в патрубок 5; "Открыто", при котором клапан 93 расположен перпендикулярно верхней стенке 3 корпуса 1, а патрубок 5 открыт для ручной или машинной загрузки подложкодержателей 43 с подложками 116 в гнездо 41 клапана 40. Операция закрывания клагана 93 выполняется следующим образом, После включения питания электропривод 105 посредством червячного редуктора приводит в поступательное перемещение ходовой винт 106, шток 102 с проушиной 101 и два ролика 103, которые перемещаются качением по направляющим паэам 104 (фиг. 1, 3 и 4),Шатун 99 вращается на оси 100 проушины 101 и толкает вперед плечо 98 Г-образного рычага 94, который при этом поворачивается на оси 95 проушины 96, по стрелке с 1, поворачивая плечо 97 вместе с клапаном 93 до положения "Закрыто", и создает герметичное соединение клапана 93 с Фланцем 6 патрубка 5 в результате деформации элемента герметизации. Коммутатор электропривода 105 выдает в блок управления сигнал "Закрыто", и электродвигатель автоматически выключается. 5 0 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Операция открывания клапана 93 выполняется подачей реверсивного питания на электропривод 105. Все подвижные детали электропривода 105, механизма запирания и клапан 93 движутся в обратном направлении до моментавыдачи коммутатором сигнала "Открыто , после чего питание электропривода 105 автоматически выключается.Управление работой загрузочногоустройства выполняется в системе гибкого автоматического управления производственными процессами (ГАУПП)и построено в соответствии с требованиями конкретной технологии,В условиях обеспечения сверхвысо"кого вакуума в камере 114 и наличияограниченного количества позиций перегрузки на транспортном устройстве115.устройство работает следующимобразом.Исходное положение клапана 93 "Открыто", затвора 30 - "Закрыто",манипулятора 109 : крайнее заднее, затвора 31 - "Закрыто". Внутри камеры114 происходит процесс обработки подложек 116, все позиции 115 занятыподложкодержателями 43, средства 16вакуумирования поддерживают вакуумв корпусе 1 и манипуляторе 109 - Р(фиг. 3),Последовательность операций, выполняемых устройством за цикл перегрузки подложки 116 иэ атмосферы в технологическую камеру 114. Подложкодержатель 43 с подложкой 16 надевают на держатель 42 в загрузочном гнезде 41 клапана 40. Закрывают клапаном 93 фланец 6 патрубка 5, откачивают газы из патрубка 5 через радиальные отверстия 8 средством 113 вакуумирования до величины остаточного давления газов Р открывают затвор 30 и переводят его в крайнее переднее положение, вводят механизм 111 с захватами 112 в положение перегрузки клапана 40, извлекают подложкодержатель 43 и переворят манипулятор 109 в исходное положение, возвращают затвор 30 в положение Закрыто", переводят манипулятор 109 в положение резервной перегрузки, надевают подложкодержатель на держатель 42 затвора 31, возвращают манипулятор 109 с разжатыми захватами 112 в исходное положение, После окончания обработки подложки 116 в каме1275176 14 13 Еще в большей степени упрощаетсяработа устройства с камерами 14, вкоторых обработка подложек происходит в условиях низкого или среднеговакуума, т.е. Р равно Р и РНеобходимость эапирания Фланца 13патрубка 12 на стенке 4 корпуса 1затвором 31 в этих случаях отпадает,10 и операции. перегрузки подложкодержателей 43 выполняются механизмами затвора 30 и манипулятора 109,На время прогрева корпуса 1 элект"роприводы 63, 91 и 105 снимаются отвинчиванием накидных гаек 107 и 121с резьбы 27 патрубков 26 кронштейна 108, На их место временно устанавливают и закрепляют гайками 107и 121 ручные механизмы.Вместо электроприводов 63, 91и 105 могут быть установлены пневмоили гидроприводы. Схема управления ипринцип работы механизмов при этомне меняются. В устройстве имеются элементы ре-.гулирования для получения оптимальных условий работы устройства.Положение клапанов 40 и 73 относительно герметизируемых ими Фланцев7 и 13 регулируется ввинчиванием винтовых выступов этих клапанов в телаползунов 39 и 72 и проставкой калиброванных прокладов между клапанами 40и 73 и полэунами 39 и 72 и ввинчива 35нием вертикальных упоров 49 в отверстия кареток 32 и 65.Положение ползунов 39 и 72 относительно кареток 32 и 65 регулируют40ввинчиванием горизонтальных упоров51 и 80 в отверстия стоек 50 и 79кареток 32 и 65,Положение кареток 32 и 65 относительно корпуса 1 и патрубков 5, 1045и 12 регулируется ввинчиванием упоров 44 и 74 в торцы кареток 32 и 65.Положение клапана 93 относительногерметизируемой поверхности Фланца 6патрубка 5 регулируется перемещениемшарнирной опоры клапана 93 в отверсОтии плеча 97 рычага 94,Операции загрузки очередного подложкодержателя 43 и выгрузки обработанной подложки 116 выполняются за 55 одно открывание затвора 31,и разовый перевод манипулятора 109 в крайнее ;переднее положение. Ъре 14 затвор 31 переводят в положение "Открыто", а манипулятор 109 - в крайнее переднее, зажимают захвал тами 112 подложкодержатель 4- с подложкой 116 и возььращают манипулятор 09 в исходное положение, Переводят затвор 31 в положение "Закрыто", а затвор 30 - в положение "Открыто". Вводят манипулятор 109 в гнездо 41 клапана 40 и надевают подложкодержатель 43 на держатель 42, возвращают манипулятор 109 в исходное положение, а затвор 30 - вположение "Закрыто". Откачивают из корпуса 1 газы до остаточного давления Р, выводят манипулятор 109 в положение резервной перегрузки, зажимают захватами 112 подложкодержатель 43 и возвращают манипулятор 109 в исходное положение, переводят затвор 31 в положение "Открыто" а манипулятор 109 - в крайнее переднее положение. Надевают подложкодержатель 43 на держатель 42 устройства 115, возвращают манипулятор 109 в исходное положение, а затвор 31 - в положение "Закрыто"Одновременно в патрубок 5 через отверстие 9 напускают инертный газ, например азот,и переводят клапан 93 в положение Открыто". Вручную или роботом снимают подложкодержатель 43 с держателя 42 клапана 40 и удаляют его, а на его место надевают очередной подложкодержатель 43 с подложкой 116. Далее цикл перегрузки повторяется. Средства 113 вакууинрования включаются в , работу только на время вакуумирования патрубка 5 при закрытых клапанах 40 и 93 и отключаются и изолируются перед открытием клапана 40 и перед напуском инертного гара через отверстие 9. Значительно упрощается перегрузка подложкодержателей в условиях, когда транспортное технологическое устройство 115, например карусель, имеет резервный держатель 42, Тогда резервная позиция перегрузкь. на затворе 31 не нужна. Все регулируемые упоры стопорят контргайками или другими известными стогорными деталями.Монтаж, наладку и ремонт механизмов и затворов устройства производят после отсоединейия Фланца 24 от корпуса 1 и извлечения затворов 30 и 31/Б из корпуса 1 в условиях, удобных длявыполнения работы сборки и наладки,Ф о р м"у л а и з о б р е т е н и я5 1. Загрузочное устройство ниберного типа, содержащее корпус с перегрузочными патрубками, патрубками вакуумирования и входным шлюзовым патруб ком, имеющим герметизирующий наружный клапан и два отверстия вакуумирования, задним герметизирующим 4 щанцем с присоединительным патрубком на внешней стороне и опорно-присоедини 15 тельной вилкой на внутренней стороне и с присоединительным фланцем на выходном патрубке, а также с элементами герметизации входного шлюзового патрубка, в котором установлены затвор, содержащий имеющие зацепы каретку и ползун, соединенный с ней четырьмя серьгами, и опорный ролик, взаимодействующий с вкладышем корпуса, и клапан с вмонтированным в нем держателем подложкодержателей, а также механизм перемещения затвора с электроприводом, манипулятор перегрузки подложкодержателей и щщозовой клапан, о т л и ч а ю щ е е с я тем,30 что, с целью повышения производительности, в корпусе установлены два автономных затвора с механизмами перемещения и электроприводами, причем первый затвор снабжен клапаном с гнездом и держателем подложкодержателей, установлен соосно с манипулятором перегрузки и с возможностью герметизации входного шлюзового патрубка в крайнем заднем положении, а второй затвор снабжен герметизирую" щим клапаном, установлен параллельно первому затвору и ориентирован герметизирующим клапаном в сторону выходного патрубка корпуса, а также снабжен держателем подложкодержателей, закрепленным на каретке со стороны манипулятора соосно с ним и ус-. тановлен с воэможностью герметизации выходного патрубка при крайнем пе- реднем положении2. Устройство по п. 1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что опорноприсоединительная вилка и механизмы перемещения затворов с патрубками и закрепленными на них электроприводами расположены по диагонали на заднем герметизирующем фланце корпуса.3, Устройство по пп. 1 и 2, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что зацеп каретки, опорный ролик и зацеп полэуна затвора, содержащего клапан с гнездом и держателем подложкодержателей, выполнены на задних торцах каретки и ползуна, а взаимодействую-. щий с ними вкладыш корпуса закреплен на внутренней стороне заднего герметизирующего Фланца корпуса.4. Устройство по и. 1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что шлюзовой клапан снабжен механизмом запирания с электроприводом.