Алмазно-абразивная паста

Номер патента: 441274

Авторы: Гольдман, Кипнис, Крук, Скрипко

ZIP архив

Текст

Республик АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 61) Зависимое от авт. свидетельст(51) М Кл С 09 д 1/02 2) Заявлено 17.07.65 (21) 1019164/2 аявки Ме присоеди,нениех Государствеииыи камит Совета Министров ССИзобретение касается составов для полирования, в частности паст для полирования полупроводниковых материалов.Известны алмазно-абразивные пасты, в состав которых входят стеарин и жиры или различные масла.Однако наличие жиров и масел в этих пастах затрудняет отмывание деталей после их обработки от шлама и пасты. Кроме того, наличие большого числа компонентов в пасте 10 делает ее малоустойчивой, как химическая система.Целью изобретения является повышение чистоты поверхности при обработке полупроводниковых материалов, 1 дЭто достигается тем, что в состав пасты введен поверхностно-активный емачив атель ОП, компоненты входят в следующем составе, вес, ,: 2,5 - 7,55 50 еари 7 2,5 - 52,5. Предмет изобретени Алмазно-абразивная пания, содержащая алмаз иющаяся тем, что, с цетойчивости системы, а тастоты поверхности при обрниковых материалов, в неено-активный смачивательненты входят в следующезАлмазный порошок та для полировастеарин, о т л и ч алью повышения усже повышения чиаботке полупроводвведен поверхност- ОП, и все компосоставе, вес. 5 - 50 2,5 - 52,еарин

Смотреть

Заявка

1019164, 17.07.1965

ИНСТИТУТ СВЕРХТВЕРДЫХ МАТЕРИАЛОВ АН УССР

СКРИПКО ГЕЛИЙ ФОМИЧ, КИПНИС ЦИРЛЯ АВРАМОВНА, КРУК ВАЛЕНТИНА БЕНЦИОНОВНА, ГОЛЬДМАН АЛЕКСАНДР БОРИСОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C09G 1/02

Метки: алмазно-абразивная, паста

Опубликовано: 30.08.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-441274-almazno-abrazivnaya-pasta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Алмазно-абразивная паста</a>

Похожие патенты