Способ окисления кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 427426
Авторы: Гордин, Изобретени, Маршаков, Миттова, Угай
Текст
Союз Советских Социалистицеских Республик427426 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51) М. Кл. Н 0117 г 00 Гасударственный комитетСовета Министров СССРае делам изобретенийи отирытий(54) СПОСОБ ОКИСЛЕНИЯ КРЕМНИЯ 10 15 Предмет изобретения Изобретение относится к технологии производства ,полупроводниковых приборов, в частности, кремниевых интегральных схем. Оно может быть применено для изготовления легирующих окисных пленок на кремнии, при создании полевых приборов с изолированным затвором и т. д,Известен способ окисления кремния в открытой системе на воздухе в присутствии окиси свинца при температуре 725 С. Увеличение температуры до 800 С и выше не ускоряет процесса роста окисной пленки.Предлагаемый способ отличается тем, что в окислительную среду водят пары соединений элементов 111 а группы, например хлоридов галлия и индия. Это ускоряет процесс.Окисление проводят в реакторе, аналогичном тому, который применяется при известном способе. В качестве окислительной среды используют смесь сухого и влажного кислорода.П р и м е р. Кремниевые пластины помешают в кварцевую трубу с двумя газовыми вводами. Один служит для подачи увлажненного кислорода непосредственно в зону окисления кремния, другой - для ввода сухого кислорода, транспортирующего пары хлоридов галлия и индия к окисляемой поверхности.Трубу помещают в двухзонную печь так, чтоб бы лодочка с хлоридом, расположенная в непосредственной близости от ввода сухого кислорода, нагревалась до 750 в 8 С, а окпсляемые пластины - до 1050 - 1150 С. Скорость роста окисных пленок на кремнии увеличивается в присутствии хлорпдов галлия и индия примерно в 2 раза по сравнению с окислением в увлажненном кислороде и в 1,7 раза по сравнению с окислением известным способом. Способ окисления кремния, предусматрно вающий введение соединений примесных элементов в окислительну 1 о среду, отгичающггг 1- ся тем, что, с целью повышения скорости окисления, в окислительную среду вводят пары соединений элементов 111 а группынапример 2 хлорида галлия и индия.
СмотретьЗаявка
1813765, 26.07.1972
ФОНЯ ЗНСОЕРТОВ
изобретени В. Анохин, В. Л. Гордин, И. К. Маршаков, И. Я. Миттова, Я. А. Угай
МПК / Метки
МПК: H01L 21/316
Опубликовано: 05.05.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-427426-sposob-okisleniya-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ окисления кремния</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления керамических оснований корпусов интегральных схем
Следующий патент: Травитель для пленок окиси железа
Случайный патент: Датчик давления