Миттова

Номер патента: 427426

Опубликовано: 05.05.1974

Авторы: Гордин, Изобретени, Маршаков, Миттова, Угай

МПК: H01L 21/316

Метки: кремния, окисления

...до 800 С и выше не ускоряет процесса роста окисной пленки.Предлагаемый способ отличается тем, что в окислительную среду водят пары соединений элементов 111 а группы, например хлоридов галлия и индия. Это ускоряет процесс.Окисление проводят в реакторе, аналогичном тому, который применяется при известном способе. В качестве окислительной среды используют смесь сухого и влажного кислорода.П р и м е р. Кремниевые пластины помешают в кварцевую трубу с двумя газовыми вводами. Один служит для подачи увлажненного кислорода непосредственно в зону окисления кремния, другой - для ввода сухого кислорода, транспортирующего пары хлоридов галлия и индия к окисляемой поверхности.Трубу помещают в двухзонную печь так, чтоб бы лодочка с хлоридом,...