Способ определения азота в кремнии
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 396603
Авторы: Вител, Павлов, Тетельбаум, Хохлов
Текст
О П И С А Н И Е 396603ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельствааявлено 12.7,1971 ( 1645345/26-25 1 п 23/ ис присоединенПриоритетОпубликовано и Гасударственный комитеСовета Миииотрав СССРпо делам изооретеиийи открытий ДК 539.219.1(088.8 9, 1(11.1973. БюллетеньДата опубликования описания 23.1.19( Авторыизобретения. И. Зорин, П, В. Павлов, Д, И, Тетельбаум и А. ф. Хохло Заявите рьковский исследовательский физико-технический инстит при Горьковском государственном университете им. Н. И. ЛобачевскогоПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АЗОТА В КРЕМНИИ лой, которыйс. плп люоымрацшо электрзяют;змеренцлц эффекта Изобретение относится к области исследования полупроводниковых материалов и кожет быть применено для определения примесей 111 и 7 групп, растворенных в кремнеи в виде электрически неактивных комплексов, например ЬЬе.Известные способы определения азота в кремнии, например спектральный, цс позволяют фиксировать то количество азота, которое может повлиять на характеристики приборов при получении цх цоццо-лучевым методом.Цель изобретения - устранение этого нсдос гатка.Для этого исследуемый образец кремтця, например, р-тица бомбардируют ускоренными ионами неона или любого другого инертного газа, Ускоренные ионы, проникая в крсмний, разбивают растворенные в нем электрически нейтральные азотсодержащие молекулы или 53 Х 4, переводя азот в атомарное состояние. Доза облучения должна быть близкой к граничной дозе аморфизации, Отжиг облученцого ооразца при 600 в 9 С кроме удаления радиационных дефектов приводит к переходу атомов азота из мсждоузлй в узлы кристаллической решетки, где азот проявляет свои донорные свойства, т. е. становится электрически активным. Таким образом, донорный азот создаст ца поверхности кремния р-тппа п-с термо-э. д,Концепт та опредс 5 тцвлецця слоя. Если ж цця азота тором аз О свойства цонно-луч Для оп образец и цце р-тцп 5 ионами бсяют по знаку способом. ктивного азольного сопрооблченного опреде,другиЧЕСКПЕМ УДХолла е п-слой В КРЕМЦ 1 от может прцбороз, свого леп ределсция редварцт отсутствует п меньше п оказыват полученн рования,азота в ельно пере о б л у ч е 11 и 51то концентраредела, при ковлияние на 1 Х С ПОМОЩЬЮ рсмнцц и-типа одят в состоясго, например,Предмет оретен О Способ определен ионной бомбардиров гом и опредслсцпем проводимости облч 5 ства азота. которое тсристцкц приборов ровании, ооразец к облучают понамц э элемента, я азота в кремнии путем кц с последующим отжцналичия азота по тшу ецного слоя, отлика(оп 1 нй- определения того колцчеможет влиять на харакпрц понцо-лучевом легиремнця, например, р-типа лектрцчески неактивного
СмотретьЗаявка
1645345
витель Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И. Тетельбаум, А. Ф. Хохлов Горьковский исследовательский физико технический институт при Горьковском государственном университете Н. И. Лобачевского
МПК / Метки
МПК: G01N 23/00
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-396603-sposob-opredeleniya-azota-v-kremnii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения азота в кремнии</a>
Мощный свч-прибор м-типа
Номер патента: 1840435
Опубликовано: 10.03.2007
Авторы: Постнова, Старец, Турнер, Фурсаев
МПК: H01J 25/50
Метки: м-типа, мощный, свч-прибор
1. Мощный СВЧ-прибор М-типа, содержащий катод, расположенный коаксиально ему анод с системой ламелей, расположенных со стороны катода, и магнитную систему, создающую постоянное магнитное поле в направлении оси прибора, отличающийся тем, что, с целью увеличения долговечности прибора, ламели выполнены так, что в проекции поперечного сечения прибора со стороны северного полюса магнитной системы соблюдены следующие соотношения:l>p, гдеl - расстояние между осью прибора и линией пересечения поверхности ламели, обращенной к катоду, и левой боковой поверхностью ламели; р - расстояние между осью прибора и пинией пересечения поверхности ламели, обращенной к катоду, и правой боковой поверхностью ламели. 2. Мощный...
Свч-прибор м-типа
Номер патента: 1840704
Опубликовано: 27.06.2008
Авторы: Постнова, Старец, Турнер, Фурсаев
МПК: H01J 25/34, H01J 25/50
Метки: м-типа, свч-прибор
1. СВЧ-прибор М-типа, содержащий катод и анод, образованный системой штырей и двойными связками, подключенными к штырям поочередно, отличающийся тем, что, с целью увеличения долговечности, штыри со стороны противоположной катоду, снабжен кольцевыми секторами, наружная поверзность которых выполнена из тугоплавкого металла. 2. СВЧ-прибор по п.1, отличающийся тем, что кольцевые секторы размещены по высоте штыря напротив неподключенной к нему связки.
Конденсатор с двойным электрическим слоем
Номер патента: 2004024
Опубликовано: 30.11.1993
МПК: H01G 9/04
Метки: двойным, конденсатор, слоем, электрическим
...разрез; на фиг. 2 показаны статические вольт-амперные характеристики20 тонкопленочных планарных конденсаторных струткур с твердым электролитомРЬАц 45 для угольного а) (прототип) и кремниевого (Ь) поляризуемых электродов; нафиг. 3 представлена эквивалентная электрическая схема изготовленной конденсаторной структуры, где В 1 - сопротивлениетвердого электролита, включенное последовательно с емкостью; Р 2 - сопротивлениеОл + л.электрохимической реакции Ао ЙАо + е,30 протекающей на серебряном электроде приработе конденсатора; С 1 - емкость границыкремний - твердый электролит; С 2 - емкостьграницы серебро - твердый электролит,П р и м е р. Конденсатор с двойным35 электрическим слоем фиг,1) содержит поля. ризуемый электрод 1 из...
Электрический нагревательный прибор индукционного типа, служащий для нагревания окружающего воздуха
Номер патента: 15109
Опубликовано: 30.04.1930
Автор: Попов
МПК: H05B 6/10
Метки: воздуха, индукционного, нагревания, нагревательный, окружающего, прибор, служащий, типа, электрический
...7 - 4, соединенных мелщу собою угольниками 3 и тройникаии или угольниками 5.На железную трубу 2 плотно насажены диски 1, отлитые из чугуна или из другого металла с хорошеи тепловодностью и большим удельным сопротивлением, Ба трубу 7 надета катушка 8 с первичной обмоткой, соответствующиж образом изолированной и "э защищенной от механических повреждений. Обмотка катушки может состоять из нескольких секций, ток к которым подводится чере посредство контактов, укрепленных на изо лирующем основании. Во избежание рассеи вания магнитных линий, магнитный конту предпочтительнее связывать угольниками,не тройниками.Для увеличения площади сечения магнитопровода, трубы 2 и 4 и угольники 3 и отчасти 5, образующие в своей совокупности наружную...
Прибор конденсаторного типа для контроля чистоты поверхности
Номер патента: 134435
Опубликовано: 01.01.1960
Автор: Щукин
МПК: G01B 7/34, H01G 13/00
Метки: конденсаторного, поверхности, прибор, типа, чистоты
...металлический лист, выполняющий роль вторых пластин для конденсаторов. Чувствительность такого прибора увеличивается за счет того, что контролируемая величина а учитывается дважды (обоими конденсаторами),При контроле криволинейных поверхностей аналогичную кривизну придают конденсаторным пластинам.Обычно прибор для контроля металлических поверхностей и пластины 1 и 2 устанавливают на диэлектрике 4, по краям которого смонтированы стальные шарики 5, опирающиеся на исследуемую поверхность 3.Контроль емкости щупа осуществляется по интерференционному методу электронным прибором. Триод Л является генератором колебаний высокой частоты, В сеточную цепь триода включен резонансный контур, состоящий из постоянной индуктивности 1, и...
Предыдущий патент: Способ измерения времени затухания люминесценции
Следующий патент: Способ исследования кристаллических поверхностей
Случайный патент: Ольфактометр