Способ изготовления фотошаблонов

Номер патента: 375822

Автор: Авторы

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических РеспубликКомитет по делам изобретений и открытий при Сввете министров СССРУДК 621.3.049.75(088.8) Авторыизобретения В, А, Григорьев, В. В. Волков и Г, И. Багрянцев Заявитель Институт неорганической химии Сибирского отделения АН СССР СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ фОТОШАБЛОНОВ Изобретение относится к области технологии производства радиоэлектронных деталей и может быть использовано для изготовления фотошаблонов, используемых в фотолитографических процессах при производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов.Известен способ изготовления фотошаблонов, включающий операцию нанесения на фотошаблон защитной пленки методом вакуумного термического разложения исходного защитного материала. Однако,при этом способе получение тонких оптически прозрачных пленок происходит с разрушением исходного рисунка и ухудшением оптических свойств фото- шаблонов.Цель изобретения - получение оптически прозрачных износоустойчивых пленок.Это достигается тем, что в качестве исходного защитного материала используют боразол.П р и м е р. Одну или несколько соединенных пластин с готовым рисунком схемы,помещают (рисунком наружу) на нагреваемый тем или иным способом столик, находящийся в вакуумной камере. Образцы нагревают до 350 С в условиях вакуумной откачки 110 -- 10 -торр). После достижения равномерного прогрева образцов на их поверхность направляют дозированную разреженную струю паров боразола, При этом непрерывно удаляют (например, вакуумной откачкой) газообразные продукты его термического разложения. Термическое разложение боразола на нагретой поверхности происходит по схеме5В,ИвК, - ЗВИН+ уН, ЗВИ+ ЗН,.В зависимости от условий осуществленияпроцесса (температура поверхности и величина потока боразола) осаждаются близкие по 10 физико-химическим, оптическим и механическим свойствам аморфные пленки нитрида бора, содержащие переменные количества связанного водорода. Скорость роста пленоко1000 А/лтин.Толщина пленок, не изменяющих оптичеоских свойств фотошаблонов, 10 - 1000 А,Полный производственный цикл длится 1 -2 час, производительность технологического оборудования 100 в 1 фотошаблонов за рабочую смену на единицу оборудования. Предмет изобретенияСпособ изготовления фотошаблонов, вклю чающий операцию нанесения на фотошаблонзащитной пленки методом вакуумного термического разложения исходного защитного материала, отличающийся тем, что, с целью получения оптически прозрачных износоустойчи вых пленок, в качестве исходного защитногоматериала используют боразол.

Смотреть

Заявка

1627623

В. А. Григорьев, В. В. Волков, Г. И. Багр нцев Институт неорганической химии Сибирского отделени СССР

Авторы изобретени

МПК / Метки

МПК: G03F 7/26, H05K 3/28

Метки: фотошаблонов

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-375822-sposob-izgotovleniya-fotoshablonov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления фотошаблонов</a>

Похожие патенты