Способ изготовления фотошаблонов

Номер патента: 366450

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 366450ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Соеатскик Социалистическит РеслубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 08.11,1971 ( 162762226-9) М. Кл. 6 03 1/00 присоединением заявкиките оо делам оритет обретении и открытири Совете МинистровСССР 229(088.8 УЛ Опубликовано 16.1,1973. БюллетеньЛата опубликования описания 2.111.197 ор изобретсцц гбирское ление инст яв 1 тель ОТОШАБЛОНО ПОСОБ ИЗГОТОВЛЕН 2 нные слои борцда металла обладают высокими адге мц ц менее хрупки вследсмцкрогряцул борцдаборя. Такие смсшаццыс ойчцвы к цстцраццю, т 1 к к еющцй структуру графита, ощцми свойствами,ц цитрционными вце цемсталлацлецкц к ццтрцд обладает Смеша да бора свойства мецтяцц 1 итрцдо.более уст бора, цм смазыва Пр едм изобретен 1 аблоцов, ность подл оя методом ержащих с литографич бчоца от,г ышеция изфотошабл и изготавл 1 итрида бор Способ изготовления фото чающий цацесецце ца поверх сплошцого маскирующего сл мического разложения борсод цеций и последующее фото изготовление рисуцка фотоша игийся тем, что, с целью пов устойчивости и качества сплошной маскирующии сло цз смеси борида металла и ц вклюожкитер- оедиеское ичаю- цосоонов,вают о разложе(цапример,о схемеН,2+ЗН,Изобретение отцосится к области техцологии изготовления радиоэлектроццых пленочных устройств,Известен спосоо изготовления фотошаблоцов, включающий 1 ацесецие на поверхцость подложки сплошного маскирующего слоя методом термического разложения борида металла и последующее фотолитогра фическое изготовление рисунка фотошаблоца.Цель изобретения - повышение изцосоустойчивостц и качества фотошаблоцов.Оца достигается тем, что сплошной маскирующий слой изготавливают из смеси борида металла и боразица.Лля этого по предлагаемому способу цаносят пленки, содержащие смесь борида металла и цитрида бора, методом термического разложения ца нагретой до 250 - б 00 С поверхности подложки смеси паров борогидрида металла и боразица.Основные процессы термическогция паров борогидрида металловциркоция) и боразица проходят пХг(ВН 4)4 - ЕгВг+ ВгН, + 5В,И,Н, - ЗВИНх+ УН, - .ЗВИ ригорьевцеоргацической химии АН СССР Фотошаблоцы, изготовленные по предлагаемому способу, ооладают высокими мехацическцми свойствами,

Смотреть

Заявка

1627622

МПК / Метки

МПК: G03F 1/00

Метки: фотошаблонов

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-366450-sposob-izgotovleniya-fotoshablonov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления фотошаблонов</a>

Похожие патенты