357621
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
35762 ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУВоаа Советоииа Социал истичвсюи РесптбливЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 19.Ч 1.1970 ( 145078626-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 31.Х.,1972, Бюллетень33Дата опубликования описания 25.1,1973 М. Кл, Н ОЦ 9/12Н 011 39/16 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРАвторыизобретения О, М. Сорокин, В. А. Бланк и Г. А, Лебедева Заявитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФТОРИСТЫХ ФОТОКАТОДОВ Изобретение относится к способам изготовления фотокатодов, в частности фтористых фотокатодов.Известны способы изготовления фтористыхфотокатодов, чувствительных в области вакуумного ультрафиолета, включающие термическое напыление слоев металлов и фторидов.Однако в таких способах имеет место нарушение стехиометрии получаемых фотокатодов,из-за чего не удается снизить чувствительность в области длин волн, превышающйх150 мм.Предлагаемый способ обеспечивает снижение длинноволновой чувствительности благодаря тому, что слой металла или фторида, заранее напыленный на подложку, фторируютс поверхности до полной стехиометрии фтором, образующимся при разложении фторосодержащего соединения, например вблизи поверхности подложки,Вакуумный объем, в котором установленаподложка с нанесенным на нее слоем металла(щелочного или щелочноземельного) или фторида одного из этих металлов, откачивают додавления 10 -мм рт. ст. с помощью безмасляного насоса (например, парортутного),Подложку нагревают до температуры300+ 10 С, перекрывают откачку и нагреваютбюксу с ХеР. до - 50 С, что приводит к созданию в объеме давления паров ХеР, 2 - 4 ммрт. ст. Вблизи горячей поверхности подложкипроисходит разложение (пиролиз) ХеРз, иатомарный фтор активно реагирует со слоем,5 компенсируя недостаток в нем фтора. Атомарное состояние фтора резко повышает его активность при фторировании; ксенон, выделяющийся при пиролизе, инертен и не вступаетво взаимодействие с веществом слоя. Удобным10 обстоятельством является и малая температура диссоциации ХеР, при большой упругостипара,Фотокатод, полученный по предлагаемомуспособу, обладает резко пониженной чувстви 15 тельностью в длинноволновой области (выше150 мм), что имеет большое значение для разработки солнечно-слепых фотоприемников,П р ед м ет изобретения20 Способ изготовления фтористых фотокато.дов, чувствительных в дальней ультрафиолетовой области спектра, включающий нагрев напыленных слоев металлов и фторидов, отличающийся тем, что, с целью снижения чувст вительности в видимой и ближней ультрафиолетовой области спектра, напыленные слои нагревают до температуры 290 - 310 С и на поверхности этих слоев разлагают пары фторосодержашего соединения, например ХеР.,
СмотретьЗаявка
1450786
О. М. Сорокин, В. А. Бланк, Г. А. Лебедева
МПК / Метки
МПК: H01J 40/16, H01J 9/12
Метки: 357621
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-357621-357621.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">357621</a>
Предыдущий патент: Устройство для отображения информации
Следующий патент: Мишень видикона
Случайный патент: Компенсационная муфта