Патенты с меткой «357621»

Номер патента: 357621

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Бланк, Лебедева, Сорокин

МПК: H01J 40/16, H01J 9/12

Метки: 357621

...благодаря тому, что слой металла или фторида, заранее напыленный на подложку, фторируютс поверхности до полной стехиометрии фтором, образующимся при разложении фторосодержащего соединения, например вблизи поверхности подложки,Вакуумный объем, в котором установленаподложка с нанесенным на нее слоем металла(щелочного или щелочноземельного) или фторида одного из этих металлов, откачивают додавления 10 -мм рт. ст. с помощью безмасляного насоса (например, парортутного),Подложку нагревают до температуры300+ 10 С, перекрывают откачку и нагреваютбюксу с ХеР. до - 50 С, что приводит к созданию в объеме давления паров ХеР, 2 - 4 ммрт. ст. Вблизи горячей поверхности подложкипроисходит разложение (пиролиз) ХеРз, иатомарный фтор активно...