ZIP архив

Текст

О Л И С А Н И Е 35754 УИЗОБРЕТЕНИЯ Сеюа Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ М. Кл. 6 0317/О11 05 к 3/О б 05 с 1/5 Заявлено 02.Х 11.1970 ( 1607392/26-9) с присоединением заявки орнт Комитет по деламизобретений и открытипри Сове 1 е МинистровСССР Опубликовано 31,Х,1972, Бюллетень3 Дата опубликования описания 1,Х 11.972ОТОРЕЗИСТ При прароматичческимилучаютнераствоких растлочнымннзобрауке мет изоо ретен и я Фоторезист, состоящий нз щей основы, светочувствнтел ты н растворителя, отлпчаюпп целью получения негативного наряду с позитивным и упро пш изготовления фоторезиста, точувствительной компоненты ароматические ортонитроальде пленкообразуюьной компонепЙся тем, что, сизображения щения технолов качестве свеиспользованы гиды, "сно со Зависимое от авт. свидетельстваИзобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении печатных плат, твердых схем, пленочных пассивных элементов и т. д.Известны фоторезисты, состоящие из пленкообразующей основы, светочувствительной компоненты и растворителя,Цель изобретения - получение негативного изображения наряду с позитивным н упрощение технологии изготовления фоторезнста.Цель достигается тем, что в качестве светочувствительной компоненты фоторезнста испол ьзовангп ароматические ортонитроальдеИзвестно фотохимическое превращение ароматических ортонитроальдегндов г, нитрозокарбоновые кислоты.ю, ю оявлении фоторезистов, содерхкащт 1 х еские ортонитроальдегиды, органнароматическими растворителями по. егативное изображение вследствие римости нитрозокислот в органичесворнтелях. В случае обраооткн щепроявнтслямн получают позитивное нне.

Смотреть

Заявка

1607392

Н. В. Макаров, В. Г. Никольский, Н. Д. Тимерова, Д. Д. Мозжухин

МПК / Метки

МПК: G03C 1/72, G03F 7/016

Метки: 357547

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-357547-357547.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">357547</a>

Похожие патенты