Способ получения покрытий

Номер патента: 307090

Авторы: Бобылева, Воронина, Озол, Попкова, Хакуринов, Чудесова

ZIP архив

Текст

О А Н-И Е 307090 Согоэ Соеетских Социалистических РеспубликИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЪСТВУ висимое от авт. свидетельства Ме явлено 06.1 У,19 ле 141992/23-5 ПК С 09 д 38 исоединением заявки 3 Че Комитет по деламиэобретеиий и открыт иорите Опубликовано 21.У 1.1971. Бюллетень Хе 20 Дата опубликования описания ЗОХ 111.1971 УДК 678.026.3 (088 при Совете Министре СССРаявитель КРЫТИй СПОСОБ ПОЛУЧЕНИ 2 ия ий гения тий из кремний- подложке путем исходного крем- в зону тлеющего что, с целью поной диэлектричетве кремнийорга- рганоаминосилаПредмет изобре1. Способ получения покрь органических соединений на введения подложки и паров нийорганического соединения разряда, от.гичаюгцийся тем, лучения покрытий с повышен ской проницаемостью, в качес нического соединения берут о ны общей формулыК,51(МК 2) кил а ил, К где гг=О - 3, К - ал, р в смеси с инертным газом.2, Способ по п. 1, от.гичаю в качестве инертного газа бер гциися т арг м, что Изобретение относится к способу получен покрытий из кремнийорганических соединен на подложке.Известен способ получения покрытий - тог ких пленок на подложке - путем введения в зону тлеющего разряда паров силана 5 гН аммиака и подложки.Получают покрытия с диэлектрической проницаемостью 7 - 11.Согласно предлагаемому способу с целью 1 получения покрытий с повышенной диэлектрической проницаемостью в зону тлеющего разряда подают пары аминосилана общей формулы К 51(1 йг;) где и=0 - 3, К - алкил, арил, К - алкил, в смеси с инертным газом. 1 В качестве инертного газа используют, например, аргон.Общее давление в рабочей камере при по. стоянной откачке поддерживают напуском смеси силана и газа-носителя (аргона) в пре делах 0,2 - 0,5 лл рт. ст. Параметры разряда (напряжение и плотность тока) поддерживают такими, чтобы в зоне между электродами было видно равномерное свечение.П р и м е р. В зону разряда подают пары ди метилбис-(диэтиламино)-силана в смеси с аргоном в объемном отношении 1: 1.Общее давление поддерживают на уровне 0,23 лл рт. ст. Параметры разряда следующие: 3 частота, гц 5000 плотность тока, ига/с.иг 1,42 напряжение, в 710 - -730.Расстояние между электродами-подложками 12 - 13 лл. Пленки, полученные полимерпзацией в тлеющем разряде при дапных условиях на стальных полированных подложках, имеют диэлектрическую постоянную 6 - 8,8; тангенс угла диэлектрических потерь 3,10"; удельное объемное сопротивление 1 10- ол с.и, пробивное напряжение 15 в. Толщина пленки при времени включения разряда 20 - 40 сек составляет 0,127 - 0,148 лкл.

Смотреть

Заявка

1419927

Т. Т. Хакуринов, Л. М. Чудесова, Т. Н. Попкова, В. И. Бобылева, В. Н. Воронина, Э. Я. Озол

МПК / Метки

МПК: C09D 3/82

Метки: покрытий

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-307090-sposob-polucheniya-pokrytijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения покрытий</a>

Похожие патенты