Способ получения вольфрамовых покрытий

Номер патента: 291995

Авторы: Емель, Королев, Мосалков, Соловьев, Стол

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 29 О 95 Союз Сосетские Социалисти теские РеоетбоисЗависимое от авт. свидетельстваМПК С 23 с 11/ Ло 1360288/22-1) Заявлено 09.1 Х.1969 вкис присоединением риоритетпубликовано 06.1,1971. Бюллстсиькомитет по делаю зооретеиий и открыти ври Сосете Юивиотрос СССР(088.8) Дата опубликован описания 23.1.1971 Авторыизобрете Ю. М. Королев, В. И. Столяров, В. Ф. Соловьев, А, б, Емельянов н А. Л, Мосалковаявите СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВОЛЬФРАМОВЫХ РЬТИ Предмет изобретения меси ге водород Изобретение относится к способам получения металлических покрытий из газовой фазы.Известен способ получения вольфрамовых покрытий путем восстановления гексафторида вольфрама водородом на нагретой подложке,С целью улучшения качества покрытия, предложено процесс вести циклически с попе- ременным чередованием осаждения и пассивации подложки, Пассивацию подложки можно осуществлять путем выдержки в среде одного из компонентов газовой смеси при температуре осаждения или путем выдержки в среде инертного газа при этой же температуре.Предложенный способ заключается в следующем. После осаждения вольфрама на толщину 80 - 120 лк подложку выдерживают в среде инертного газа или одного из компонентов газовой смеси, например водорода, в течение 5 - 10 мин. После этого опять наносят слой вольфрама.Вольфрамовые покрытия, полученные по предложенному способу, имеют микроструктуру, обуславли нающую повышение предела прочности на растяжение.Например, осадки, полученные из с ксафторида вольфрама с б мол. % а при температуре 550-С, имеют при комнатной температуре предел прочности на растяжение 18 кг/лл- и прп температуре - 31 кг/лл С.Осадки, полученные по предложенному способу, имеют предел прочности на расстяженпе соответственно 24 и 47 - 50 кг/ллем. 1. Способ получения вольфрамовых покрытий из газовой фазы путем восстановления гексафторида вольфрама водородом на нагре той подложке, отличающийся тем, что, с цельюулучшения качества покрытия, процесс ведут циклически с попеременным чередованием осаждения и пассивации подложки.2, Способ по л, 1, отличающийся тем, что 20 пассивацию подложки осуществляют путемвыдержки в среде одного из компонентов газовой смеси при температуре осаждения.3. Способ по п. 1, отличающийся тем, чтопассивацию подложки осуществляют путем вы держки в среде инертного газа при температуре осаждения.

Смотреть

Заявка

1360288

Ю. М. Королев, В. И. Стол ров, В. Ф. Соловьев, А. Б. Емель нов, А. Л. Мосалков

МПК / Метки

МПК: C23C 10/06

Метки: вольфрамовых, покрытий

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-291995-sposob-polucheniya-volframovykh-pokrytijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения вольфрамовых покрытий</a>

Похожие патенты