Способ определения толщины пленки

Номер патента: 279971

Авторы: Белевцев, Бесшапошников, Тницкий

ZIP архив

Текст

ПИСАНИЕ ЗОБ РЕТЕНИЯ Сома Советских Социалистических Республик, свидетельстваисимое от Заявлено 05.Х 1.1967 ( 1195183/25-28 Ь, 12/ присоединением заявкиКомитет по делам иасбретвний и открытий при Совете Министров СССРПриоритет МПК б 01 Ь 7/06Ь ДЬ, 531.717,11(088 бликовано 26.Ч 1.1970. Бюллетень2 ата опубликования описания 27,Х 1.197 Авторыизобретен А. Т, Белевцев,Пятницкий и Е. А. Бесшапошнико явитель СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ 1 Известен способ определения толщины пленки по величине ее омического сопротивле но-поступательном поверхности пленкОптимальной то личестве иеремещ шину участка, на тивления не прев зистивного элемен движении т госи контакта.лщиной при заданноний контакта считаю котором изменениеышает класса точнос ко- тол- опрои реПредлагаемый способ отличается от известного тем, что пленку наносят на подложку слоем переменной толщины, например клинообразным, и замеряют сопротивления участков пленки при возвратно-поступательном движении трущегося по ее поверхности кон такта. Оптимальной толщиной при заданном количестве перемещений контакта считают толщину участка, на котором изменение сопротивления не превышает класса точности резистивного элемента. 15Эти отличия создают условия для определения оптимальной толщины резистивной пленки при работе ее на истирание, например в переменных резистивных элементах. та.т изоб ения е 2 вную пленкуклинообразчастков пленпри возвратНанеся на подложку резист переменной толщины, например ную, замеряют сопротивления у ки между каждой парой выводо Способ определения толщины пленки по величине ее омического сопротивления, отличающийся тем, что, с целью определения оптимальной толщины резистивной пленки при работе ее на истирание, например, в переменных резистивных элементах, пленку наносят на подложку слоем переменной толщины, например клинообразным, производят замеры сопротивлений участков пленки при возвратно-поступательном движении трущегося по поверхности пленки контакта и оптимальной толщиной при заданном количестве перемещений контакта считают толщину участка, на котором изменение сопротивления не превышает класса точности резистивного элемента.

Смотреть

Заявка

1195183

А. Т. Белевцев, А. П. тницкий, Е. А. Бесшапошников

МПК / Метки

МПК: G01B 7/06

Метки: пленки, толщины

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-279971-sposob-opredeleniya-tolshhiny-plenki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения толщины пленки</a>

Похожие патенты