Мера толщины пленок

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветсиикСоцналнстнческмкРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 2809.81 (21) 3342508/25-28 (1 М. КП,з 6 01 В 7/06 с присоединением заявки Нов Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(23) ПриоритетРЗ) УДК 531. 717: 1620. 179. 142. . 5.6 (088.8) Опубликовано . 3001.83. Бюллетень йо 4 Дата опубликования описания 30.01.83 Р.А.Лаанеотс Таллинский политехнический институт(54 ) МЕРА ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК 10 20 Изобретение относится к метрологии, а именно к образцовым мерам для . поверки,и градуировки средств измерения толщины покрытийПо основному авт. св. Р 813129 известна мера толщины пленок (покрытий), содержащая подложку с участком для настройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, на верхней поверхности подложки выполнен паз, аттестованный по глубине, пленка внесена в упомянутый паэ, а верхняя поверхность пленки сов падает с верхней поверхностью подложки 1 1. Однако известная мера не обеспечивает возможности поверки и градуировки толщиномеров пленок покры" тий) на деталях, выполненных иэ разных материалов, например для замера толщины покрытия никеля на стали., латуни на алюминиевом. сплаве и т.д. Для поверки и градуировки толщиномеров необходимо иметь столько мер, сколько применяется разновидностей материалов для изготовления деталей иэделий ) с нанесенными на них покрьь тиями, поэтому комплект мер становится ся громоздким и дорогостоящим. Наиболее целесообразно иметь одну унифицированную меру для измерения толщины пленки покрытия), нанесенной на различные материалы, которые. могут быть использованы для иэготов ления деталей.Цель изобретения - унификация меры толщины пленок.Поставленная цель достигается тем, что мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для настрой" ки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, на верхней поверхности подложки выполнен паэ, аттестованный по глубине, пленка внесена в упомянутый паз, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки, снабжена основанием с пазом, а подложка выполнена иэ элементов разных материалов, которые запрессованы в паз основания.На фиг. 1 изображена мера толщины пленок, вид спереди; на фиг, 2 -то же, вид сверху.Мера толщины пленок содержит подложку 1, на верхней поверхности которой имеются участки 2 для настройки на ноль толщиномеров (не показаны) и . пленку 3, нанесенную на подложку993007 Формула изобретения д фие. Е НИИПИ Заказ 439/5 ираж 600 Подписно Фие Г На верхней поверхности подложки 1 выполнен паз, дно 4 которого удалено от верхней поверхности подложки 1 на величину И , равную требуемой .толщине пленки Епокрытия) 3Пленка 3 заполняет паз так, что 5 ее верхняя поверхность совпадает с верхней поверхностью подложки 1.Мера толщины пленок снабжена основанием 5 с пазом 6, в который запрессована подложка 1, выполненная из 10 элементов Е не обозначены) разных материалов.Прочие размеры меры определяются исходя из размеров измерительных головок толщиномеров, а также от раэ новидностей применяемых материалов для изготовления деталей ( иэделий), подлежащих контролю толщиномером.При изготовлении мер элементы из разных материалов, составляющие под- ро ложку 1, запрессовывают с натягом в паз 6 основания 5, затем, верхнюю поверхность подложки 1 и дно 4 основного паза доводят до высокого класса шероховатости, что озволяет с высокой точностью аттестовать глубину основного паза например, интерференционным способом.После нанесения пленки Епокрытия ) 3 в основной паз проверяют плоскоствость верхней поверхности подложки 1, что обеспечивает совпадение верхних поверхностей пленки 3 и подложки 1.Поверку и градуировку толщиномеров выполняют с помощью комплекта мер с различной толщиной пленок 3.Нулевую точку шкалы толщиномера поверяют, устанавливая датчик толщиномера на участок 2 подложки 1, который соответствует материалу из меряемой детали, т,е. материалу, иэ которого изготовлена деталь (изделие ). Толщиномер настраивают на нуль по поверхности подложки 1 на участке 2, где пленочное покрытие отсутствует, а подложка 1 выполнена из элементов разных материалов, которые могут быть применены для изготовления измеряемой детали (изделия). Затем датчик толщиномера перемещают на участок с пленкой (покрытием) 3.Показания толщиномера сравнивают с аттестованной толщиной пленки (покрытия). Далее проводят аналогичную поверку или градуировку толщиномера по другому элементу подложки.Комплект мер, состоящий из 2 или 3 мер, позволяет проверить характеристику толщиномера в различных точках шкалы.Унификация меры толщины пленок заключается в том, что при поверке и градуировке толщиномеров покрытий, измеряющих толщину одного вида покрытия на деталях, изготовленных иэ разных материалов, используется одна мера, что сокращает время поверки толщиномеров, а также исключает случайные ошибки, возникающие при обмене мер. При этом повышается точность поверки, так как погрешность изготовления данной меры является одинаковой для всех элементов подложки. Мера толщины пленок по авт. св. Р 813129, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью унификации, она снабжена основанием с пазом, а подложка выполнена иэ элементов разных материалов, которые запрессованы в паз основания.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР Р 813129, кл. С 01 В 7/06, 1981. лиал ППП "Патент",Ужгород, ул.Проектная,4