Способ получения тонких пленок

Номер патента: 254304

Авторы: Белышкин, Первеев

ZIP архив

Текст

ОП ИСАЙ ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 254304 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства М Кл. 485, 15,00 аявлецо 17.Ъ,1966 (Ле 1076099/22-1) ем заявки Л 0 присоедин МПК 23 Прцорит Комитет по деламизобретений и открытипри Совете Министров УД 07.Х.1969. Бюллетень Л 31вания описания 5.111.1970 публцкован а опубли Авторыизобретени елышкин и А. ф. Первеев аявител СОВ ПОЛУЧЕНИ ИХ ПЛЕНОК Известен способ получения тонкцк пленок путем катодного распыления с использованием многокомпонентного, например мозаичного, катода из набора пластинок распыляемьп веществ.К недостаткам этого способа относятся неоднородность имического состава пленок, трудность регулирования состава, а также сложность изготовления мозаичного катода,Предложенный способ позволяет получать пленки, однородные по химическому составу, и легко регулировать ик состав, Он отличается тем, что в качестве многокомпонентного катода используют порошкообразную смесь распыляемых веществ.Способ состоит в том, что тонкие пленки получают путем катодного распыления с использованием в качестве многокомпонентного катода порошкообразной смеси распыляемык веществ. Для изготовления пленок ц рошки распыляемык веществ смешивают в необходимойконцентрации ц полученную смесь насыпаюттонким слоем (2 - 5 лж) на проводящую под 5 ложку, после чего осуществляют катодноераспыление, Состав смеси необходимо регулировать в соответствии со скоростями распыления компонентов.Прц использовании катодов с большой плоО щадью возможно осажденце слоев цокрытцна больши: поверностяк.Предмет изобретенияСпособ получения тонки. пленок путем ка 5 тодного распыления с использованием мпогокомпонентного катода, отличпющийсл тем,что, с целью получения однородны.; по цмцческому составу пленок, в качестве многокомпонентного катода используют цорошкообраз 0 ную смесь распыляемых веществ,

Смотреть

Заявка

1076099

Д. В. Белышкин, А. Ф. Первеев

МПК / Метки

МПК: C23C 14/06, C23C 14/36

Метки: пленок, тонких

Опубликовано: 01.01.1969

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-254304-sposob-polucheniya-tonkikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения тонких пленок</a>

Похожие патенты