Способ химического никелирования полупроводников

Номер патента: 213512

Авторы: Стурова, Шаталова

ZIP архив

Текст

Союз СоветскихСомиалистимескихРеспублик 61) Дополнительное вт. свид-ву -г,51) М, Кл,С 23 С 3/02 22) Заявлено 08,07 Я 4. (21) 911241/2 ем заявкиприсоедин 3) Приори Государственный комнтет. Совета Министров СССР во лелем изооретений и открытий) Цата опубликования описания 12,0 72) Авторы изобретения Т. И, Стурова и Н. Ф, Шаталов(71) Заявитель Специальное конструкторское бюро иприборов водниковых 54) СПОСОБ ХИ ЕСКОГО НИКЕЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОИОДНИКО 21 24 30 45 Хлористый пофосфитммоний х атрий лим чатрияористыйоннокислыйдо= 8-9 - 87 ммиа емпература изо как ак тОываемой г Известные способы нанесения химичес-, ,ких покрытий на неметаллические материа,лы и полупроводники не дают возможности нанесения покрытия непосредственно на из 1 делие без предварительной активизации и сенсибилизации его поверхности.Предлагаемый способ позволяет значи:тельно интенсифицировать процесс нанесе,ния покрытия и исключить такие дорогостоящие предварительные операци тивизация и сенсибилизация покр ,поверхности.Согласно описываемому способу процесс химического никелирования полупроводников, например, типа теллур-висмут-селен или теллур-висмут-сурьма, ведут в присутствии катализатора путем кратковременного его соприкосновения с покрываемой поверхностью в начальной стадии осаждения. Так каккатализатор служит лишь для возбуждения реакции, то его следует извлечь из ванны при дальнейшем протекании процесса.Состав раствора (в /л) и режим нанесения покрытия: 1. Способ химического никелирования полупроводников, например, типа теллур+висмут-селен, о т л и ч а ю щ и й с я 1;гем, что, с целью интенсификации процес.са и исключения предварительной активизалии и сенсибилизации изделий, осаждение ведут в присутствии катализатора путем кратковременного его соприкоснове.1ния с покрываемой поверхностью в началь ,ной стадии процесса.2, Способ по п.1, о т л и ч а ю щ и и ;с я тем, что, в качестве катализатора используют металл или материал, на ко,тором происходит более активное восстановление никеля, чем на поверхности полупроводников.

Смотреть

Заявка

911241, 08.07.1964

СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

СТУРОВА Т. И, ШАТАЛОВА Н. Ф

МПК / Метки

МПК: C23C 3/02

Метки: никелирования, полупроводников, химического

Опубликовано: 25.03.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-213512-sposob-khimicheskogo-nikelirovaniya-poluprovodnikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ химического никелирования полупроводников</a>

Похожие патенты