160337
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 160337
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОц иА 7 хистич еских РЕСПЛЛИККласс 42 Ь, 35 МПК б 020; Заявлено 08.Ъ 1.1962 (М 781880/26-10) ГОСЬДАРСТВЕННЫ ИКОМИТЕТ ПО ДЕЛАМИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙСССР Опубликовано 16.1.1964. Бюллетень йе 3 УДК 1 1 ГФ Г. Т, Пономаренко г:" "И 0 Г,;СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ТОЛЩИН СД 44 ьй ВЕЩЕСТВПодписная группа М 1 бЗ Предмет изобретения Известные способы контроля оптических толщин слоев веществ в процессе вакуумного осаждения не позволяют производить непрерывньш контроль спектральной характеристики осахкдаемых слоев в процессе их нанесения и требуют для своего осуществления серии э 1 алонных фильтров.В предлагаемом способе в отличие от известных модулированньш световой пучок направляют через испытуемый образец в монох ром атор, а из него - на регистрирующий прибор, используя огибающую электрических импульсов на регистрирующем приборе. Огибающая в этом случае представляет спект. ральную характеристику пропускания слоя в области некоторой длины волны, для которой требуе 1 ся получить максимум пропускания многослойной системы. Наблюдения нзменешш энергетического баланса светового пучка н его спектра ведут непосредственно в процессе вакуумного осаждения оптических слоев веществ. Способ контроля оптических толщнн слоев веществ в процессе вакуумного осаждения, осуществляемого с помо 1 цью модулированного светового пучка, проходящего через образец, отличающийся тем, что, с целью непрерывного наблюдения спектральной харак теристики слоев в процессе их нанесения, в качестве характеристики оптического слоя используют огибающую электрических импульсов.
СмотретьЗаявка
781880
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06
Метки: 160337
Опубликовано: 01.01.1964
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-160337-160337.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">160337</a>
Предыдущий патент: 160336
Следующий патент: 160338
Случайный патент: Способ регулирования производительности центробежной форсунки