Способ изготовления магнитодиодов

Номер патента: 1595272

Авторы: Зеленцов, Козин, Лазаренко, Циганкова

ZIP архив

Описание

Способ изготовления магнитодиодов, включающий формирование на лицевой стороне высокоомной полупроводниковой подложки первого типа проводимости инжекционных областей магнитодиодов второго типа проводимости, формирование приконтактных областей первого типа проводимости с повышенной концентрацией примеси и подготовку параметров магнитодиодов по чувствительности путем механической шлифовки обратной стороны подложки, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных за счет повышения точности подгонки параметров магнитодиодов по чувствительности, перед подгонкой на обратной стороне подложки между инжекционными и приконтактными областями поперек продольных осей магнитодиодов локальным травлением создают канавки глубиной 0,1-0,4 толщины подложки с соотношением ширины канавок и расстояния между ними 0,5-2.

Заявка

4682186/26, 20.04.1989

Козин С. А, Циганкова Т. Г, Лазаренко В. А, Зеленцов Ю. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/18

Метки: магнитодиодов

Опубликовано: 20.11.2005

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1595272-sposob-izgotovleniya-magnitodiodov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления магнитодиодов</a>

Похожие патенты