Источник многозарядных ионов

Номер патента: 1725687

Опубликовано: 20.08.1995

Автор: Манагадзе

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий расположенные соосно и последовательно в вакуумной камере катодный узел с осевым отверстием, кольцеобразный анод, коллектор электронов, систему извлечения ионов, источник электропитания, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности извлечения ионов за счет повышения выхода вторичных ионов и нейтральных атомов из мишени и ионизации нейтральных атомов, источник ионов снабжен дополнительным кольцеобразным анодом, расположенным соосно катодному узлу со стороны, противоположной поверхности катодного узла, обращенной к основному аноду, и подключенным к дополнительному источнику электропитания, и мишенью, расположенной за дополнительным анодом, соосно ему, при этом катодный узел выполнен в виде двух соосно...

Номер патента: 696556

Опубликовано: 05.11.1979

Авторы: Журавлев, Никитинский

МПК: H01J 3/04

Метки: ионов, источник

...на глубину, равную ширине щели между ярмоми стержнем, а анод выполнен в виде кольлен внутри магнитопровойа между полюсами магнитнойэлектрода 9 ионы ускоряются до необходимой энергии и формируются в пучок,Распыление атомов, их ионизация ипредварительное ускорение концентриру ются в одной и той же области; контрагирующей щели, что обеспечивает высокий коэффициент использования рабочегоматериала (20-30%) при высокой электрической экономичности.ОЗагрязнение пучка материалом ярмаустраняется постановкой в отверстии ярма втулки 12, выполненной из того жематериала, что и наконечник сердечника. 5Таким образом, изобретение обеспечивает достижение высокого коэффициентаиспользования рабочего вещества в источнике при работе на тугоплавких...

Номер патента: 1533563

Опубликовано: 27.04.1998

Авторы: Новикова, Носков, Орликов, Шангин

МПК: H01J 27/22

Метки: ионов, источник, металлов

Источник ионов металлов, содержащий ускоряющую систему с соосными цилиндрическими катодом и анодом, генератор плазмы, установленный в полости анода и выполненный в виде магниторазрядной камеры с магнитной системой, катодами, поджигающим электродом, и блоки электропитания, подключенные к электродам, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности за счет повышения стабильности разряда, поджигающий электрод выполнен в виде диска и установлен соосно с осью ускорителя, а катод генератора плазмы выполнен в виде стержней, установленных равномерно по окружности концентрично поджигающему электроду, при этом магниторазрядная камера отделена от ускоряющей системы плоской стенкой, соединенной по периметру с анодом, с отверстиями, симметричными...

Номер патента: 1514174

Опубликовано: 20.02.2000

Авторы: Лежнев, Сеняткина, Сихарулидзе

МПК: H01J 27/00

Метки: жидкометаллический, ионов, источник

Жидкометаллический источник ионов, содержащий острийный эмиттер, экстрактор в виде диафрагмы с отверстием, соосным эмиттеру, соединенные с источником высокого напряжения, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса источника, диафрагма экстрактора снабжена со стороны эмиттера осесимметричным кольцевым выступом, заканчивающимся острийной кромкой, при этом длина выступа 3 - 10 мм, а диаметр кромки 3 мм.

Номер патента: 818366

Опубликовано: 23.08.1987

Авторы: Виноградов, Карев, Обухов

МПК: H01J 27/04

Метки: ионов, источник

...полюс которого соединен с катодом, а положительный - с анодом, а также дополнительный источник питания, отрицательный полюс которого соединен с анодом.В известном источнике постоянные магниты введены внутрь газоразрядной камеры и электрически соединены . с боковой стенкой камеры, находящейся под потенциалом катода. Кроме того в. разряд, кроме основного анода, введены еще дополнительные (пристеночные) аноды, установленные в промежутках между полюсами магнитов. Положительный полюс дополнительного источника соединен с указанными пристеночными анодами. Таким образом, кро" ме основного разряда в пристеночной области газоразрядной камеры осуществляется несамостоятельный разряд в скрещенных Е х В полях.45 Цель эта достигается тем,...