Способ определения параметров варизонных структур

Номер патента: 753313

Авторы: Коваленко, Марончук

Описание

1. Способ определения параметров варизонных структур, основанный на измерении зависимости интенсивности фотолюминесценции от энергии квантов в полосе, соответствующей краю фундаментального поглощения, отличающийся тем, что, с целью обеспечения экспрессности контроля параметров по площади варизонных структур с шириной запрещенной зоны, возрастающей от поверхности к указанной подложке, измеряют зависимость интенсивности фотолюминесценции в полосе, соответствующей краю фундаментального поглощения подложки и дифференциальных изменений интенсивности фотолюминесценции при модуляции длины волны возбуждающего излучения, от энергии возбуждающих квантов.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью контроля однородности состава на поверхности варизонных структур, измеряют амплитуду низкоэнергетического пика дифференциальных изменений фотолюминесценции.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью контроля однородности состава вблизи подложки измеряют амплитуду высокоэнергетического пика дифференциальных изменений фотолюминесценции.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью контроля однородности толщины структуры, измеряют относительную величину дифференциальных изменений фотолюминесценции при энергии возбуждающих квантов, большей максимального значения ширины запрещенной зоны.

Заявка

2661642/25, 05.09.1978

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирский государственный университет

Коваленко В. Ф, Марончук И. Е, Марончук Ю. Е

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: варизонных, параметров, структур

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-753313-sposob-opredeleniya-parametrov-varizonnykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения параметров варизонных структур</a>

Похожие патенты