Устройство для непрерывного получения кремния

Номер патента: 745069

Авторы: Гранков, Захаров-Черенков, Котин

Описание

1. Устройство для непрерывного получения кремния осаждением его из газовой фазы на исходную основу, включающее реакционную камеру, снабженную нагревателями, штуцерами для подачи и отвода газов и механизмом перемещения получаемого кремния, отличающееся тем, что, с целью повышения чистоты процесса, нагреватели выполнены в виде экранов из теплопроводящего материала, установлены внутри реакционной камеры, закреплены в ее боковых стенках и снабжены приводами горизонтального перемещения и управления, размещенными вне реакционной камеры, и над ней установлены шлюзовая и промежуточная камеры для подачи и ввода в реакционную камеру исходной основы, выполненной в виде стержня из кремния.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что шлюзовая камера снабжена люком для загрузки, захватным приспособлением для закрепления исходной основы, установленным с возможностью вертикального перемещения, и отделена шибером от промежуточной камеры, которая снабжена дополнительным нагревателем для сваривания торца исходной основы с торцом кремния, получаемого в реакционной камере.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что механизм перемещения получаемого кремния размещен под реакционной камерой, соединен с ней охлаждаемой трубой и выполнен в виде двух гидрозажимов, один из которых неподвижен, а другой установлен под первым с возможностью вертикального перемещения.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что нагреватели установлены в реакционной камере ярусами друг над другом и каждый ярус содержит их четное число.

Заявка

2660991/26, 28.08.1978

Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности

Захаров-Черенков В. К, Котин Н. Н, Гранков И. В

МПК / Метки

МПК: B01J 15/00, C01B 33/02

Метки: кремния, непрерывного

Опубликовано: 20.03.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-745069-ustrojjstvo-dlya-nepreryvnogo-polucheniya-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для непрерывного получения кремния</a>

Похожие патенты