Номер патента: 623298

Авторы: Александров, Ловягин, Симонов

Описание

Способ обработки кремния n-типа проводимости, включающий выдержку пластин при 1250-1300oC в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения качества поверхности кремния, обрабатываемую пластину экранируют кремниевой пластиной n-типа проводимости с образованием микрополости и создают между пластинами температурный градиент 100-200o град/мкм с поддержанием максимальной температуры на обрабатываемой пластине.

Заявка

2405629/26, 08.09.1976

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Александров Л. Н, Ловягин Р. Н, Симонов П. А

МПК / Метки

МПК: C30B 29/06, C30B 33/02

Метки: кремния

Опубликовано: 27.05.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-623298-sposob-obrabotki-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ обработки кремния</a>

Похожие патенты