Ханс-Эрих

Способ получения кремния -типа проводимости

Загрузка...

Номер патента: 747403

Опубликовано: 23.07.1980

Авторы: Карл, Манфред, Ханс-Эрих, Эрнст

МПК: B01J 17/40

Метки: кремния, проводимости, типа

...стекла, подобранные по размеру отверстия поглощающих дисков, Выполнение Р -профиля зависит от раэ - личной длины диафрагмирующих трубок 13 и 14, от их внутреннего диаметра и различной толщины поглощающего материала. Это устройство (см, фиг. 5) для легиронания Фосфором посредствомоблучения нейтронами монтируется нреакторе, который на рисунке не изображен.Изображенное на Фиг, 5 устройствоможет быть ныполнено, как показано на фиг, 6. Здесь для облучения дисков кремния 15 (причем на рисунке изображена заполненной только одна камера), применяется открытая с двух концов трубка 8 с незсущими элементами для дисков кристалла кремния, которые могут быть выполнены иэ поглощающего нейтрона материала в виде колец 16, Эти элементы размещаются на...