Способ получения пленок твердых материалов

Номер патента: 615787

Авторы: Александров, Ловягин

Описание

Способ получения пленок твердых материалов путем распыления материала мишени ионами инертного газа с последующим осаждением на подложку в высоком вакууме триодной системы, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества наносимых пленок, на подложку подают потенциал термокатода, к мишени прикладывают напряжение 500 - 1000 В относительно подложки, а плазму формируют в области под подложкой, при расстоянии между подложкой и мишенью 0,5 - 1 см.

Заявка

2439158/25, 07.01.1977

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Александров Л. Н, Ловягин Р. Н

МПК / Метки

МПК: H01L 21/31

Метки: пленок, твердых

Опубликовано: 20.05.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-615787-sposob-polucheniya-plenok-tverdykh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения пленок твердых материалов</a>

Похожие патенты