Способ получения пленок оксида кадмия
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1649956
Авторы: Александров, Баранов, Дягилева, Лебедев, Цыганова
Формула
Способ получения пленок оксида кадмия путем осаждения из парогазовой смеси, содержащей элементоорганическое соединение кадмия и окислитель на поверхность подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности пленок за счет снижения температуры осаждения, в качестве элементоорганического соединения используют диметилкадмий, а в качестве окислителя пары воды, при этом осаждение пленок проводят при атмосферном давлении, температуре подложки 20 40oС, давлении паров диметилкадмий 28 87 мм рт.ст. и давлении паров воды 12 20 мм рт.ст.
Описание
Целью изобретения является повышение однородности состава за счет снижения температуры осаждения.
Сущность изобретения заключается в том, что пары диметилкадмия взаимодействуют с парами воды в потоке инертного газа-носителя в температурном диапазоне 20 40oC. При этом молекулы диметилкадмия подвергаются гидролизу, а затем окислительному пиролизу с образованием оксида кадмия. При этом пленки оксида образуются только при вполне определенных соотношениях давлений паров диметилкадмия и воды, которые составляют соответственно 28 37 и 12 20 мм рт. ст. Выход за указанные пределы приводит к резкому ухудшению качества осажденных пленок. Проведение процесса при достаточно низких температурах обеспечивает низкое содержание углерода в сформированных пленках оксида кадмия.
Пример. Систему эвакуируют до остаточного давления 1
10-1 мм рт.ст. Подложку нагревают до 40oC. После этого пропускают над подложкой диметилкадмия (P 28 мм рт.ст.) и пары воды (P 15 мм рт.ст.) в струе гелия VHe 30 мл/мин) при атмосферном давлении в течение 30 мин. Пленки имеют атомное отношение Cd/O2 1,05, содержание углерода 0,5 ат. структура пленки аморфная. Пленки ровные, прозрачные, имеют хорошую адгезию к подложке.Изобретение относится к электронной технике, а именно к технологии получения пленок оксида кадмия на инородных подложках, и может быть использовано при формировании структур, содержащих тонкие слои полупроводниковых материалов с широкой запрещенной зоной в оптоэлектронике. Пленки формируют из парогазовой смеси, содержащей диметилкадмий, пары воды при 20 - 40oC при определенных содержаниях реагентов в парогазовой смеси.
Заявка
4722838/25, 24.07.1989
Научно-исследовательский институт химии при Горьковском государственном университете им. Н. И. Лобачевского
Александров Ю. А, Баранов Е. А, Дягилева Л. М, Лебедев С. А, Цыганова Е. И
МПК / Метки
МПК: H01L 21/205
Опубликовано: 10.03.1997
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1649956-sposob-polucheniya-plenok-oksida-kadmiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения пленок оксида кадмия</a>
Способ изготовления светочувствительного материала
Номер патента: 1151118
Опубликовано: 07.12.1987
Авторы: Гаврилюк, Гуменюк, Мансуров, Чудновский
МПК: G03C 1/74
Метки: светочувствительного
...невозможно, так какэто - давление насьпценных паров используемых органических соединенийпри комнатной температуре,35Отжиг пленок на воздухепри температуре, меньшей 80 ОС, или менее10 мин, не приводит к уменьшению вуали,Отжиг пленок на воздухе при температуре выше 1 ООС или более 20 минуменьшает уровень вуали, но приводитк обмену адсорбированных органических соединений на воду и, вследствиеэтого, уменьшению стабильности оптического разрешения записанного изоб:ражения и к потере фотохромной чувствительности при хранении,куумирования; 3 - напыленной при давлении паров диметилформамида 3 10 4 мм рт.ст, без вьдержки в парах диметилформамида до ревакуумирования;4 - напыленной при давлении паров диметилформамида 3 10 мм рт.ст. с выдержкой в...
Способ пайки изделий
Номер патента: 1107971
Опубликовано: 15.08.1984
Авторы: Краснопевцев, Перевезенцев, Тюнин
МПК: B23K 1/00
Метки: пайки
...элемента на паяемом изделии, улучшающая смачивание припоем. Все это имеет особое значение при пайке трудно О паяемых сплавов или в атмосфере, содержащей большое количество окислительных компонентов.При нанесении антикоррозионного покрытия из легкоиспаряющегося эле мента температуру навески его при охлаждении изделия после пайки поддерживают выше температуры изделия.В этом случае обеспечивается конденсация легкоиспаряющегося элемента на поверхности паяного изделия, что создает условия наибольшего проникновения легкоиспаряющегося элемента в глубину паяемого металла, так как диффузия идет из сплошного слоя легкоиспаряющегося элемента на поверхности. Этот же прием позволяет защитить поверхность изделия от окисления при...
Устройство для регулирования давления отбора пара для регенеративного подогрева воды на паровозе
Номер патента: 71261
Опубликовано: 01.01.1948
Автор: Лисовенко
МПК: F01K 7/36
Метки: воды, давления, отбора, пара, паровозе, подогрева, регенеративного
...переключателя Уб поступает через штуцер 27 и трубопровод 22 в цилиндр б, а другая часть - через клапан 23 и трубопровод 24 в цилиндр 7, Из цилиндров б и 7 по трубопроводам 25 и 2 б воздух направляется в пространство над уравнительными поршнями 3 и 5, обеспечивая соответствующее давление пара в начале и в конце отбора. Для получения необходимых давлений воздуха в трубопроводах 22 и 24 имеются дроссельные клапаны 27, 28, 20, 30, 31 и 32, приключенные к переключателю подачи воздуха 7 б трубопроводами 33, 34, 35, Зб, 37, 38,Клапаны отрегулированы так, что при соответствующем положении ручки 77 переключателя 7 б в трубопроводах 22 и 24 обеспечиваются необходимые давления. Предмет изобретения Устройство для регулирования давления отбора пара...
Способ определения давления насы-щенного пара легкоконденсирующейсяпримеси b неконденсируемой газовойсмеси
Номер патента: 800868
Опубликовано: 30.01.1981
Авторы: Петухов, Сагайдак, Туманов
МПК: G01N 31/08
Метки: газовойсмеси, давления, легкоконденсирующейсяпримеси, насы-щенного, неконденсируемой, пара
...тем,очто при пропускании чистойисследуе,-. мой среды над кристаллами не происходит полного насыщения ее парами возможен унос кристаллов исследуемого вещества потоком, есть необходимость охлаждения фильтра-вымораживателя .до температуры существенно ниже заданной. При использовании весового метода количественной регистрации значительно искажаются результаты определения давления эа счет влияния многих посторонних примесей.Цель изобретения - повышение точности анализа и расширение диапазона применения способа в области низких температур (ниже 200 С.Указанная цель достигается тем, что в способе определения давления насыщенного пара легкоконденсирующейся примеси в неконденсируемой газовой смеси, включающем приготовление насыщенной...
Способ определения размера частиц аэрозоля с жидкой дисперсной фазой
Номер патента: 1130769
Опубликовано: 23.12.1984
МПК: G01N 15/02
Метки: аэрозоля, дисперсной, жидкой, размера, фазой, частиц
...способ основан натом, что жидкие дисперсные системывсегда содержат микропримеси, достаточные для ик обнаружения в электронном микроскопе. При испарении осажденных на подложку частиц эти примеси оседают на подложку с образованием характерного кольца, и, как показали многочисленные эксперименты, диаметрэтого кольца совпадает с диаметром, по которому капля касалась подложки до качала испарения. На чертеже дан график, объясняющий необходимые режимы, при которых происходит полное испарение частиц,Кривая 1 графика соответствует обычному режиму шлюзования, который широко используется в электронной микроскопии, кривая 2 - режиму, при котором испарение частиц идет с образованием колец. Видно, что отличие состоит в наличии полочки...
Предыдущий патент: 7-метилимидазо4, 5-с1, 2, 4-триазоло4, 3-апиридин
Следующий патент: Способ формирования выемки канала
Случайный патент: Погрузочно-разгрузочное устройство для транспортного средства