Способ лазерно-стимулированного травления полупроводников

Номер патента: 671978

Опубликовано: 05.07.1979

Авторы: Борисоглебский, Елесин, Чинилина

МПК: B23P 1/16

Метки: образцов, травления, электролит, электрохимического

...такому составу достигается значительное уменьшение тепловых деформацийобразца, что приводит к повышению точностиопределения остаточных напряжений,Наличие в данном электролите фосфорнойкислоты способствует хорошему качеству поверхности, которая постоянно обновляется вслед.ствие непрерывного процесса травления, Хлорис.671978 Формула изобретений Компоненты Электролит для электрохимического травле.2 О ния образцов на водной основе фосфорной кислоты и хлористого натрия, отличающийся тем,что, с целью повышения точностй определенияостаточных напряжений, компоненты электролитавзяты в следующем соотношении; вес.%: .25 Фосфорная кислота 70-80Хлористый натрйй . 0,1 - 1,0Вода,Остальное. ая ки с Источники инние при эксперти инятые во ации...

Номер патента: 1518662

Опубликовано: 30.10.1989

Автор: Жильцов

МПК: G01B 7/16

Метки: напряжений, непрерывном, образца, остаточных, травлении

...образца с электролитом 3, датчик 10 45 деформации образца, предназначенный для установки на образце и взаимодействия с ним, электронно-вычислительный блок 11, входы которого соединены с датчиками 8 и 10 перемещения и деформации образца, регистратор 12, соединенный с выходом электронно-вычислительного блока 11, сменные грузы 13 и 14 установленные соответственно наРпонтонах 4 и 5 и источник 15 постоянФ55 ного тока с шинами 16 и 17 и электро- . дом 18,Устройство работает, следующим образом,Образец 19 устанавливают в приспособление 9 для крепления образца так,чтобы одна из его боковых поверхностей взаимодействовала с электролитом3. На противоположной боковой поверхности образца 19 закрепляют датчик10 деформации, С помощью сменных...

Номер патента: 567088

Опубликовано: 30.07.1977

Авторы: Кузюшин, Садчиков

МПК: G01B 7/16

Метки: напряжений, непрерывном, образца, остаточных, травлении

...слоя, на выходе датчиков установлены два выпрямителя 6, включенных на вход электронного вычислительного блока 73выполненного в виде двух блоков 8 запаздывания, двух инверторов 9, двух сумматоров 10, к каждому из которых подключен соответственно датчик 4 деформаций и датчик 5 толщины стравленного слоя, Выход сумматора 10, подключенного к датчику 4 деформаций, соединен через блок 11 умножения с одним входом блока 12 деления, выход сумматора 10, подключенного к датчику 5 толщины, соединен с другим входом блока деления 12, выход блока 12 деления через масштабные преобразователи 13 подключен к регистратору 14 (см. фиг. 1). На фиг. 2 масштабный преобразователь в канале датчика толщины подключен между выходом выпрямителя и входом...

Номер патента: 877394

Опубликовано: 30.10.1981

Авторы: Абрамов, Багиров, Волченков, Малин, Осколонов

МПК: G01N 1/32

Метки: образцов, пленочных, полимерных, травления

...Это приводитк образованию на границе участка ступенек с высотой где Ч и Ч - скорость эрозии на двухучастках.Высота ступеньки увеличивается со временем экспозиции образца в потоке атомарного кислорода. При этом данные ИК-спектроскопии показывают, что при действии потока атомов кислорода в объеме образца не наблюдается заметных структурных изменений,773944 т.е. его действие локализовано в тонком поверхностном слое. Скорость эрозии остается постоянной во все время обработки, что позволяет довести глубину в обрабатываемом объекте до требуемой величины.Это дает воэможность добиться нре" дельно мягкой и контролируемой (с помощью варьирования, в основном, времени/ обработки, при которой удаление материала осуществляют. слой за слоем, причем...

Номер патента: 994909

Опубликовано: 07.02.1983

Автор: Соколов

МПК: G01B 7/16

Метки: напряжений, образца, остаточных, травлении

...виде двухкоординатного самописца и соединенный с датчиками 4 и 8 деформации иусилияПо другому варианту устройство снабжено также механизмом 10подъема щупа датчика 4 толщины образца 3 и реле 11 времени, связаннымс приводом механизма 10 подъема щупадатчика,30Устройство работает следующим образом.В захват 2 устанавливается оГразец 3 и опускается в травильную ванну 1. Предварительно одна сторона образца 3 покрывается изоляционным покрытием, предотвращающем его травление по этой поверхности. После стравливания незащищенной поверхности с образца 3 слоя определенной толщины образец деформируется и датчик 5 де 40 формации вырабатывает сигнал рассогласования, который поступает в блок 6 управления, Блок 6 управления подает команду на нагружающий...