Способ разделения лучей с ортогональными поляризациями

Номер патента: 351267

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Васильев, Лебедев, Левинсон, Меркулов, Сверидов, Усольцев

МПК: H01L 21/78

Метки: отдельные, пластины, разделения, элементы

...относится к электронной технике, в частности к технологии разделению пластин полупроводникового материала на кристаллы.Известны различнуяе способы разделения пластин на кристаллы. Наибольшее применение получил способ разделения посредством скрайбирования, т. е, механического нанесения, например, алмазным резцом, на поверхность пластины прямолинейных рисок, по которым производится последующее разделение пластин на кристаллы, например, резиновым роликом.Основным недостатком известного способа является возникновение сколов и выкрашивание материалов, приводящее к нарушению геометрической формы кристаллов, ухудшению характеристик выделяемых элементов.Цель изобретения - улучшение параметров отдельных элементов.Цель достигается...

Номер патента: 1535702

Опубликовано: 15.01.1990

Авторы: Русальская, Тозик, Яркович

МПК: B24B 27/06

Метки: пластин, разделения, элементы

...обеспечивают формитягивающих остаточных нап ендикулярно линии раэде(54) СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПЛАСТИН НАЭЛЕМЕНТЬ(57) Изобретение относится к производству интегральных схем, Цельюизобретения является повышение качества поверхности разлома эа счетснижения количества сколов и трещин.Перед скрайбированием пластину сжимают в ее плоскости перпендикулярнолинии разделения и растягивают вдольлинии разделения нагрузками, определяемыми по приведенным формулам, Затем производят скрайбирование, освобождают деталь от нагрузок и раскалывают по линии разделения приложением изгибающего момента. 2 ил.,1 табл При этом если при скрайбировании абраэивйым кругом обычно формируются растягиваюцие остаточные напряжения, то в данном случае их величина возрастает на...

Номер патента: 1630907

Опубликовано: 28.02.1991

Автор: Беккер

МПК: B28D 5/00, H01L 21/70

Метки: кристаллы, пластин, разделения

...чтобы надрезпри скрайбировании алмазным резцом былсвежий. Скрайбирование пластины производят при коматной температуре. Проскрайбированную пластину, надрезы которой наполнены расклинивающей жидкостью, помещают в ванну, содержащую такую же жидкость - раствор гексана в нитробензоле. Затем включают ультразвуковойвибратор и возбуждают в жидкости ультразвуковые колебания,Для расчета собственных частот колебаний кристаллов следует пользоватьсяформулой для пластины с опорой по контуру-- (Гц),2 л 7 па 2где 1. = 9,87(1+ - ):раи Ь - соответственно длинная и короткая стороны кристалла;0= - жесткость кристалла на12 (1 - о )изгиб; .Е - модуль упругости;й - толщина кристалла;а- коэффициент Пуассона;а - масса, отнесенная к единице площади поверхности...

Номер патента: 1747285

Опубликовано: 15.07.1992

Авторы: Баранов, Елизаров, Пылаев

МПК: B28D 5/00

Метки: двухдисковым, инструментом, кристаллы, пластин, разделения

...Так, например для обработки пластин диаметром 76 мм необходим инструмент длиной минимум 38 мм,Целью изобретения является повышение качества обработки при сохранении производительности,Это достигается тем, что в способе разделения пластин на кристаллы двухдисковцм инструментом, заключающемся в совмещении. первого по направлению подачи диска инструмента с первой ближней дорожкой разделения пластины и прореэке дорожек, перед каждым очередным проходом перемещают инструмент на шаг, соответствующий удвоенному расстоянию между соседними дорожками разделения на пластине, причем при этом перемещении между дисками оставляют по одной проре; занной и одной непререзанной дорожкам разделения,На чертеже показана схема разделейия пластины с шагом...

Номер патента: 92560

Опубликовано: 01.01.1951

Автор: Попов

МПК: G09B 23/40

Метки: демонстрации, зависимости, земной, лучей, наглядное, нагревания, падения, поверхности, пособие, различной, солнечных, степени, угла, учебное

...южный склоны степной балки фиг. 3), на другой - северные и южные склоны горных хребтов фиг. 4). К каждому экрану прикреплена пара металлических, Окрашенных г черный цвет пластинок 6 и 7 под прямым углом друг к лру и перпепдпкулярно и плос 1(ости э 1(рана.113 кяжлОЙ пластинке псрпе 1 Дику;ярно к ее плоскости укрепл 1 етс 1 штифт 8, Чтос)ы лучше было видно тень от штифтов, около каждого пз цих пк:1 с 1 Бдется узенькая по;Оскд ОелОЙ бумаги, длинная д:,151 ссвсрной экспозиции и короткая - для южной, Экран вращается в вертикальной пло:кости и здкре;ля(.тся в требуемом положении при помощи ЯЙ(и . 11 д подсЯвкс приоорд рско)с 1 дуется укрепить штиф 10 и провести и Обе сгоропы ст пего прямую лшшопараллельную плоск)си рисиков П 2 лоске, Это Оулст...