Русальская

Номер патента: 1535702

Опубликовано: 15.01.1990

Авторы: Русальская, Тозик, Яркович

МПК: B24B 27/06

Метки: пластин, разделения, элементы

...обеспечивают формитягивающих остаточных нап ендикулярно линии раэде(54) СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПЛАСТИН НАЭЛЕМЕНТЬ(57) Изобретение относится к производству интегральных схем, Цельюизобретения является повышение качества поверхности разлома эа счетснижения количества сколов и трещин.Перед скрайбированием пластину сжимают в ее плоскости перпендикулярнолинии разделения и растягивают вдольлинии разделения нагрузками, определяемыми по приведенным формулам, Затем производят скрайбирование, освобождают деталь от нагрузок и раскалывают по линии разделения приложением изгибающего момента. 2 ил.,1 табл При этом если при скрайбировании абраэивйым кругом обычно формируются растягиваюцие остаточные напряжения, то в данном случае их величина возрастает на...